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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 A#G a!a
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 d@8: f
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建模任务 wmMn1q0F
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仿真干涉条纹 gQ{<2u
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VirtualLab Fusion中的工作流程 sVnq|[ /
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•设置输入场 9)[)0 7
−基本光源模型[教程视频]
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 X rc{w Dn
•定义元件的位置和方向 bz,"TG[
− LPD II：位置和方向[教程视频] KB^GC5L>
•正确设置通道以进行非序列追迹 7)> L#(N
−非序列追迹的通道设置[用例] g C%$)4-:
•使用参数运行检查影响/变化 23+JuXC6>
−参数运行文档的使用[用例] cF iTanu
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VirtualLab Fusion技术 ,Cy&tRjR B
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