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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 >/6 _ ^
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ;< 4a*;IO
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建模任务 M
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仿真干涉条纹 q ZZK#,Qb
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走进VirtualLab Fusion K:WDl;8 (d
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VirtualLab Fusion中的工作流程 #lO Mm9
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•设置输入场 $<O D31T
−基本光源模型[教程视频] TkF[x%o
•使用导入的数据自定义表面轮廓 l%=;
•定义元件的位置和方向 1xx}~|F?|
− LPD II：位置和方向[教程视频] 5~S5F3
•正确设置通道以进行非序列追迹 u$`a7Lp,n
−非序列追迹的通道设置[用例] Ew$C
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•使用参数运行检查影响/变化 `
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−参数运行文档的使用[用例] NCD04U5y
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VirtualLab Fusion技术 )YI(/*+]
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