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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 1dahVc1W
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ^&6'F E
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建模任务 (R)( %I1Oz
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仿真干涉条纹 Z:(yX0U,[
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走进VirtualLab Fusion t^zmv PDK
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VirtualLab Fusion中的工作流程 }+4^ZbX+:
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•设置输入场 J` J^C
−基本光源模型[教程视频] 43 h0i-%1
•使用导入的数据自定义表面轮廓 6(uK5eD(!n
•定义元件的位置和方向 #A '|O\RGP
− LPD II：位置和方向[教程视频] bijE]:<AE7
•正确设置通道以进行非序列追迹 SsE8;IGH
−非序列追迹的通道设置[用例] O8drR4 Pt
•使用参数运行检查影响/变化 tuF
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−参数运行文档的使用[用例] 8~>5k
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VirtualLab Fusion技术 &eHhj9
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