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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 @.Pe .\Z
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 bl; C =n
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建模任务 K)C9)J <
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仿真干涉条纹 `:XrpD
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走进VirtualLab Fusion hw [G
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ;nbUbRb
*VF UC:
•设置输入场 Qr4c':8
−基本光源模型[教程视频] 420cJ{;A
•使用导入的数据自定义表面轮廓 qUY QN2wG
•定义元件的位置和方向 p Rn vd|
− LPD II：位置和方向[教程视频] g6kVHxh-
•正确设置通道以进行非序列追迹 "=uphBZog
−非序列追迹的通道设置[用例] [p+6HF
•使用参数运行检查影响/变化 =sk]/64h``
−参数运行文档的使用[用例] $DOBC@xxzT
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VirtualLab Fusion技术 )kSE5|:pi
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