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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 VtN1 [}
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 4=~+B z
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建模任务 8g0VTY4$jP
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仿真干涉条纹 2 O
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走进VirtualLab Fusion 7tbY> U8
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VirtualLab Fusion中的工作流程 hYht8?6}m
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•设置输入场 bFIM 07
−基本光源模型[教程视频] O
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 Qhq' %LR
•定义元件的位置和方向 z"97A Xu
− LPD II：位置和方向[教程视频] T-LX>*
•正确设置通道以进行非序列追迹 @y '0_Y0-B
−非序列追迹的通道设置[用例] DL*vF>v
•使用参数运行检查影响/变化 L^jjf8_
−参数运行文档的使用[用例] 3=Q:{
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VirtualLab Fusion技术 ]rG/?1'^i
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