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2024-04-02 08:22 |
构造二维周期性光栅结构
复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。[attachment=127572] • 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 *s!T$oc • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 QS<)* • 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 C`\yc_b9Pf M2M&L,/O 初始化光栅工具箱 6}:(m#+ • 初始化 la{o<||Aq − 开始菜单栏 (Start) u4Z
Accj 光栅菜单栏(Grating) YGZa##i 通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) z[0t%]7l
[attachment=127573] • 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, ;RW5XnVx 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 `'ak/%Krh 图(三维光栅)(Pillar Grating Light 7qg. :h Path Diagram(3D Gratings)) n0w0]dJ&lc nW ]T-! 设置光栅结构 Cp#}x1{ uC"Gm;0 • 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 dEfP272M • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 |qb-iXW= • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。[attachment=127574] 3#h@,>Z; • 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 cFoeyI# v
[attachment=127575] 基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) {QT:1U\. 堆栈编辑器 =@.5J'! hD7Lgi-N)W J!iKW 在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 2XV3f$, H • 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 KvlLcE~`o
[attachment=127576] `W %R 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 jk5C2dy • 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。[attachment=127577] [attachment=127578] 柱形光栅介质 MQVEO5 W<H<~wf# • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 &FDWlrGg • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 Y%8[bL$
d • 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 S~{}jvc • 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 _@sSVh$+ (颜色越深,折射率越高)。 yj
mNeZ • 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。[attachment=127579] 3NrWt2? :qvaI, • 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 hFDo{yI • 选中的界面会以红色突出显示。 vVH*\&H\T
[attachment=127580] • 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 0|~3\e/QV 最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 Yu|L6#[E • 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。[attachment=127581] I(+%`{Wv Ml+O -
3T • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 -nk0Q_7N • 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。
-to 3I • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 zG~nRt{4 • 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 kDWvjT
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