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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 lq;  

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>_rzT9gX&  
目录 f1)HHUB  
_`TepX R  
第1章光学非球面测量概述 or?0PEx\  
,h3269$J  
1.1光学非球面的应用 &mX5&e  
/p[|DJo M  
1.2光学非球面的分类及数学描述 8dV.nO  
pw0Px  
1.2.1非球面分类 !Sh^LYqn  
$ \? N<W  
1.2.2非球面方程 szf"|k!  
?|D$#{^  
1.3光学非球面检测及评价指标 lt@  
5}vRo;-  
1.3.1面形误差和参数误差 N BV}4  
ap Fs UsE  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 Fpy6"Z?z  
$sU5=,  
1.4光学非球面检测方法 BP)q6?Mz  
_myg._[  
1.4.1接触式测量法 Qv9*p('~A  
u Y?/B~  
1.4.2几何检测法 3MNhH  
T0@](g  
1.4.3干涉检测法 \_m\U.*  
ib5;f0Qa  
参考文献 " #mXsp-ut  
Cfv L)f  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 ?aK'OIo  
p)?qJ2c|  
2.1激光束偏转法 F&W0DaH  
!Z<mrr;T@  
2.1.1测量光路方案 /0 B07B  
9 _M H  
2.1.2光斑位置测量 2*~JMbm  
Uv @!i0W  
2.1.3斜率计算 q7 %=`l  
LY@1@O2@  
2.2逆向哈特曼波前检测法 IqvqvHxLX  
Zd[y+$>  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 lfU"SSQ  
1S*8v 7  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 Bo](n*i  
v7{ P].M  
参考文献 !uj!  
UA69_E{JCH  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 _Ep{|]:gw  
Sa h<sb=  
3.1概述 fd!pM4"0  
vxbH^b  
3.2部分补偿法 7':5  
g[=\KrTSg  
3.2.1基本原理 _H^^2#wc/  
gZ `#tlA~  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 I&'S2=s  
uJ|5 Ve  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 .v #0cQX+.  
k$$S!qi#  
3.3数字莫尔移相干涉法 n3HCd- z  
#whO2Mv  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 =B/s H N  
26('V `N  
3.3.2莫尔合成与滤波 ~$y#(YbH  
"EOk^1,y  
3.4系统标定和校正 , IMT '*  
%b-;Rn  
3.4.1干涉仪标定 (<> Sz(  
[kp7LA"`  
3.4.2部分补偿镜标定 T,xVQ4J?  
R uFu,H-  
3.4.3被测非球面标定 ?4wehcZz  
iaa (ce  
参考文献 M$>WmG1~D  
g1hg`qBBW  
第4章非球面参数误差干涉测量 Skk3M?  
6M<mOhp@}n  
4.1相关概念 R<0!?`b  
#r:Kg&W2FO  
4.1.1非球面的法线像差 UQji7K }  
M*T# 5  
4.1.2斜率非球面度 b]s1Q ]V  
("P mB?20  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 bbPd&7  
bcx{_&1p  
4.2.1最佳补偿位置的定义 yS.fe[  
k`4\.m"&  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 c&I,eds  
BI]ut |Qw  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 $qyM X[  
@9kk f{?  
4.2.4非球面参数误差测量原理 M:Y!k<p  
t+)GB=C  
4.3非球面参数误差测量方法 +KwF U  
2DBFXhP  
4.3.1非球面参数误差测量系统 ;Q,).@<C  
/qQ2@k  
4.3.2非球面参数误差测量流程 :c/=fWM%  
eS# 0-  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 kA :;c}p  
I3[RaZ2z{  
4.4.1实验系统搭建 O>):^$-K%  
b+j_EA_b  
4.4.2实验结果与分析 H><mcah  
,c %gwzU  
参考文献 y2% ^teX k  
 !+VN   
]}Hv,a   
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 8}`8lOE7  
v5bb|o[{K  
5.1高陡度非球面检测的意义 A)a+LW'=u  
xcRrI|?eC  
5.2两步载波拼接干涉测量 3bL2fsn5  
pO+wJ|f  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 { rJF)\2  
UlZ)|Ya<M  
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 0YRYCO$  
{[y"]_B4  
5.2.3仿真分析 ,ui'^8{gK  
{j4:. fD  
5.2.4实测验证  X_S]8Aa  
@%85k/(  
5.2.5TCSM算法应用讨论 bN %MT#X  
>d[vHyA~!D  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 6C}Z1lZl  
R,Uy3N  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 \V\ET  
h0QQP  
5.3.2仿真分析与比较 g[)hm`{?  
-+Ji~;b  
5.3.3实测验证 Ekp 0.c8:  
.y/?~+N^  
参考文献 D)$k{v#~  
8j +;Xlh  
索引 v^E2!X  

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