光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 lq;
[attachment=126746] >_rzT9gX& 目录 f1)HHUB _`TepX R 第1章光学非球面测量概述 or?0PEx\ ,h3269$J 1.1光学非球面的应用 &mX5&e /p[|DJoM 1.2光学非球面的分类及数学描述 8dV.nO pw0Px 1.2.1非球面分类 !Sh^LYqn $ \? N<W 1.2.2非球面方程 szf"|k! ?| D$#{^ 1.3光学非球面检测及评价指标 lt@ 5}vRo;- 1.3.1面形误差和参数误差
N BV}4 ap Fs UsE 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 Fpy6"Z?z $sU5=, 1.4光学非球面检测方法 BP )q6?Mz _myg._[ 1.4.1接触式测量法 Qv9*p('~A u Y?/B~ 1.4.2几何检测法
3MNhH T0@](g 1.4.3干涉检测法 \_m\U.* ib5;f0Qa 参考文献 "#mXsp-ut Cfv L)f 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 ?aK'OIo p)?qJ2c| 2.1激光束偏转法 F&W0DaH !Z<mrr;T@ 2.1.1测量光路方案 /0B07B 9_M H 2.1.2光斑位置测量 2*~JMbm Uv
@!i0W 2.1.3斜率计算 q7 %=`l LY@1@O2@ 2.2逆向哈特曼波前检测法 IqvqvHxLX Zd[y+$> 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 lfU"SSQ 1S*8v 7 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 Bo](n*i v7{ P].M 参考文献 !uj! UA69_E{JCH 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 _Ep{|]:gw Sah<sb= 3.1概述 fd!pM4"0 vxbH^b 3.2部分补偿法 7':5
g[=\KrTSg 3.2.1基本原理 _H^^2#wc/ gZ`#tlA~ 3.2.2非球面部分补偿镜设计 I&'S2=s uJ|5Ve 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 .v
#0cQX+. k$$S!qi# 3.3数字莫尔移相干涉法 n3HCd-z #whO2Mv 3.3.1虚拟干涉仪的建立 =B/s HN 26('V `N 3.3.2莫尔合成与滤波 ~$y#(YbH "EOk^1,y 3.4系统标定和校正 , IMT '* %b-;Rn 3.4.1干涉仪标定 (<>Sz( [kp7LA"` 3.4.2部分补偿镜标定 T,xVQ4J? R
uFu,H- 3.4.3被测非球面标定 ?4wehcZz iaa (ce 参考文献 M$>WmG1~D g1hg`qBBW 第4章非球面参数误差干涉测量
Skk3M? 6M<mOhp@}n 4.1相关概念 R<0!?`b #r:Kg&W2FO 4.1.1非球面的法线像差 UQji7K } M*T# 5 4.1.2斜率非球面度 b]s1Q
]V ("P mB?20 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 bbPd&7 bcx{_&1p 4.2.1最佳补偿位置的定义 yS.fe[ k`4\.m"& 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 c&I,eds BI]ut|Qw 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 $qyM
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f{? 4.2.4非球面参数误差测量原理 M:Y!k<p t+)GB=C 4.3非球面参数误差测量方法 +KwF
U 2DBFXhP 4.3.1非球面参数误差测量系统 ;Q,).@<C /qQ2@k 4.3.2非球面参数误差测量流程 :c/=fWM% eS# 0- 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 kA:;c}p I3[RaZ2z{ 4.4.1实验系统搭建 O>):^$-K% b+j_EA_b 4.4.2实验结果与分析 H><mcah ,c %gwzU 参考文献 y2% ^teXk
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第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 8}`8lOE7 v5bb|o[{K 5.1高陡度非球面检测的意义 A)a+LW'=u xcRrI|?eC 5.2两步载波拼接干涉测量 3bL2fsn5 pO+wJ|f 5.2.1数字莫尔移相法的局限 {rJF)\2 UlZ)|Ya<M 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 0YRYCO$ {[y"]_B4 5.2.3仿真分析 ,ui'^8{gK {j4:.fD 5.2.4实测验证 X_S]8Aa @%85k/( 5.2.5TCSM算法应用讨论 bN%MT#X >d[vHyA~!D 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 6C}Z1lZl R,Uy3N 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 \V\ET h0QQP 5.3.2仿真分析与比较 g[)hm`{? -+Ji~;b 5.3.3实测验证 Ekp
0.c8: .y/?~+N^ 参考文献 D)$k{v#~ 8j+;Xlh 索引
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