| infotek |
2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 k#oe:u`<
6?BV J
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 : Yb_
fe3a_gYPz
[attachment=126229] +I <^w)
]4X08Cm^
建模任务 _?I6[Mz
aA6m5
[attachment=126230] j =up7395
,SF>$
.
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) /a .XWfu
%(X^GL
系统建模块 8
U<$u,WS
*-vH64e
[attachment=126231] Y(/y,bJ?jp
X t%y>'.
特定位置的Talbot图案 N f^6t1se
$ dR@Q?_{
[attachment=126232] A=f)ntH~
'3uN]-A>D
特定位置的Talbot图案 7%sx ["%@
tt0 3 gU`
[attachment=126233] ;u hpo
不同位置的Talbot图案 mD_sf_ 2>
C9j3|]nyL
[attachment=126234] Njmb{L]Cps
wZs jbNf`K
不同位置的Talbot图案 <*@!>6mS
Htm;N2$d
[attachment=126235] X EL~y
.P(A x:g
沿 Z 轴的强度 1Xkl.FcFw
nkO4~p
[attachment=126236] G@4n]c_
)~{8C:
VirtualLab Fusion技术 <Em|0hth
Ru~;awV?
[attachment=126237]
|
|