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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 !JT<(I2 ~z\pI|DQ [attachment=125990] 6&i[g lH6Cd/a 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 h-z%C6 0lLr[ 仿真任务 _DNkdS
[[ ,\|n=T, [attachment=125991] yC9:sQ'k `77;MGg* 连接建模技术:倾斜光栅 U92B+up- ;cS~d(% [attachment=125992] sRkz
WMl -L^0-g 可用的微结构建模技术: ')C_An>X6 GQYtH#
[attachment=125993] -~rr<D\ c]cO[T_gGa 光栅阶数分析仪 [# H8= Apw-7*/ [attachment=125994] A-AN6. kVB}r.NHP 参数变化分析仪 FM@W>+ ,b2O^tJF# [attachment=125995] S`'uUvAA S7\|/h:4 参数优化 he#Tr'j h!JjN$ [attachment=125996] Bv
|jo&0n Poylq]F 优化结果-平均效率 ^<5^9]x YA8yMh*4D? [attachment=125997] aaqjE
b`;b}ug 优化结果-对比度 _UbR8 .+yJh [attachment=125998]
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