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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 }>>lgW>n,; x~rIr#o [attachment=125990] p=V (_ ;"Q{dOvp 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 E80C0Q+V %s6|w=.1 仿真任务 B>Mr/' :%~+&qS [attachment=125991] :Em[>XA 3FR'N%+ 连接建模技术:倾斜光栅 4Bsx[~ u& 3~iIo&NZ [attachment=125992] <H::{ "hdcB
0 可用的微结构建模技术: 8&\<p7}=h >LRt,.hy6 [attachment=125993] Ox#%Dm2 S;[9
hI+ 光栅阶数分析仪 R-+k>_96| 6lpfk& [attachment=125994] 4{7O}f GcmN40 参数变化分析仪 Ii_X^)IL( -}_-#L!Q [attachment=125995] x'tYf^Va28 Ze[ezu 参数优化 c;C:$B7 :
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