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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             IUZ@n0/T  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             i*l-w4D^U  
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仿真任务                                                                             @!np 0#  
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[attachment=125991] tgpg  
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连接建模技术:倾斜光栅 V;-$k@$b.  
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[attachment=125992]                                                                     Xe. az  
zQ>|`0&8   
可用的微结构建模技术: Z8xKg  
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[attachment=125993] 8~@?cy1j!  
                                                                                 ~u^MRe|`  
光栅阶数分析仪 jwQ(E  
:`X!no; {  
[attachment=125994] ]hHL[hoFC  
yd+.hg&J  
参数变化分析仪                                                                             1[U`,(C1  
   c8<qn+=%?  
[attachment=125995]                                                                             xa&5o`>1G  
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参数优化                                                                             \.l8]LH  
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[attachment=125996]                   2M`:/shq  
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优化结果-平均效率 L!l`2[F|  
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优化结果-对比度 +>*! 3x+sE  
HCIS4}lQ  
[attachment=125998]
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