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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             }>>lgW>n,;  
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[attachment=125990] p=V (_  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             E80C0Q+V  
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仿真任务                                                                             B>Mr /'  
   :%~+&qS  
[attachment=125991] :Em[> XA  
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连接建模技术:倾斜光栅 4Bsx[~ u&  
3~iIo&NZ  
[attachment=125992]                                                                     <H::{  
"hdc B 0  
可用的微结构建模技术: 8&\<p7}=h  
>LRt,.hy6  
[attachment=125993] Ox#%Dm2  
                                                                                 S;[9 hI+  
光栅阶数分析仪 R-+k>_96|  
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[attachment=125994] 4{7O}f  
GcmN40  
参数变化分析仪                                                                             Ii_X^)IL(  
   -}_-#L!Q  
[attachment=125995]                                                                             x'tYf^Va28  
Ze[ezu  
参数优化                                                                             c;C:$B7  
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[attachment=125996]                   GdVq+,Ge  
}D-h=,];  
优化结果-平均效率 Y5M>&}N  
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[attachment=125997]                                                   Z<T%:F  
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优化结果-对比度 3C{3"bP  
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