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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 MNT~[Z9L5G 6&3,fSP [attachment=125990] >J"IN I 8^mE< 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 |dRVSVN {C1crp>q 仿真任务 JJ.8V72;!Z )7q$PcY [attachment=125991] =Q#I@SVp2$ 5>532X(0 连接建模技术:倾斜光栅 K g@'mG %E?Srs}j [attachment=125992] A|A~$v("R [K{{P|(q 可用的微结构建模技术: Hxu5Dx5![ &$"#hGg [attachment=125993] %&ejO=r Q PH=`s 光栅阶数分析仪 ]5Cr$%H= sJHVnMA [attachment=125994]
J~~\0 u OV>&`puL 参数变化分析仪 &(F
c .3m `FHudSK [attachment=125995] %Ymi,o> ~o}:!y 参数优化 -Cf)`/ <'y<8gpM [attachment=125996] d\z6Ob"t )'shpRB;1 优化结果-平均效率 =?sG~ w,{h9f [attachment=125997] ]lWqV -H|
982= 优化结果-对比度 IUMv{2C uU
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