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cyqdesign 2024-01-17 14:38

光学制造中的材料科学与技术

本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分:第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学,从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发,系统分析了从宏观到微观的材料去除过程,定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用——材料技术,详细叙述了工程应用的光学制造,汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法,剖析了多方面工艺优化的可行性,说明了各类新的抛光技术;针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件,书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 QB9A-U <J  
本书既是光学制造理论的梳理,也是现代光学制造技术与应用的汇总,涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的Z新理论与实践,是一部兼具理论、方法和实际应用价值的教科书和参考书。 xx6S`R6:  

[attachment=125215]
0w+5'lOg  
N=<=dp(  
目录 *sAOpf@M  
致谢 t}c v2S  
第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学 BUV/twU)  
第1章绪论 {)uU6z {'  
1.1光学制造工艺/2 /6smVz@O  
1.2光学制造工艺的主要特点/5 L3g9b53\  
1.3材料去除机制/8 ^Bn1;  
参考文献/10 ac3_L$X[  
第2章面形 PMsC*U,oe  
2.1普雷斯顿方程/12 <YSg~T  
2.2普雷斯顿系数/13 `+Xe'ey  
2.3界面摩擦力/16 LAos0bc)w\  
2.4运动和相对速度/18 cPm~` Zd  
2.5压力分布/22 `TkbF9N+  
2.5.1施加的压力分布/22 CY5w$E  
2.5.2弹性抛光盘响应/23 $oc9 |Q 7  
2.5.3流体动力/24 BZ}`4W'  
2.5.4力矩/26 .2/,XwIr  
2.5.5黏弹性和黏塑性抛光盘特性/29 ?|)rv  
2.5.6工件抛光盘失配/33 |C|:i@c H  
2.6确定性面形/54 `{%-*f^  
参考文献/57 &6Ns7w6*z  
第3章表面质量 srhFEmgN7)  
3.1亚表面机械损伤/63 qZ233pc  
3.1.1压痕断裂力学/63 22PGWSQ  
3.1.2研磨过程中的亚表面机械损伤/76 we }#Ru*  
3.1.3抛光过程中的SSD/91 # UjEY9"M  
3.1.4蚀刻对SSD的影响/99 VmMh+)UZ  
3.1.5最小化SSD的策略/107 SC]6F*  
3.2碎屑、颗粒和残留物/108 eC.w?(RB  
3.2.1颗粒/108 /^~p~HKtx  
3.2.2残留物/110 pAMo XJ`  
3.2.3清洁策略和方法/112 +&(J n  
3.3拜尔培层/114 BU'Ki \  
3.3.1通过两步扩散的钾渗透/116 q$3HvZP  
3.3.2化学反应性引起的铈渗透/118 oO8]lHS?@  
3.3.3拜尔培层和抛光工艺的化学结构机械模型/122 *1i?6$[ "  
参考文献/124 Q})t<l+L  
第4章表面粗糙度  .fbYB,0w  
4.1单颗粒去除功能/130 ]}_p3W "Y9  
4.2拜尔培层特性/137 w<btv]X1  
4.3浆料粒度分布/138 LPb]mC6#  
4.4抛光盘机械性能和形貌/141 ,!jR:nApE  
4.5浆料界面相互作用/144 ;B*L1'FF%t  
4.5.1浆料岛和 8TUF w@H%  
粗糙度/144 sw[<VsxjR  
4.5.2浆料中颗粒的胶体稳定性/148 5 Xk~,%-C  
4.5.3抛光界面处的玻璃抛光生成物堆积/150 LH bZjZ2  
4.5.4抛光界面处的三种力/152 d$4WK)U  
4.6浆料再沉积/154 O.]_Ry\OXA  
4.7预测粗糙度/157 )iT.A  
4.7.1集成赫兹多间隙(EHMG)模型/157 P>.Y)$`r  
4.7.2岛分布间隙(IDG)模型/164 vM5k4%D  
4.8降低粗糙度的策略/167 XSD"/_xD  
4.8.1策略1: 减少或缩小每粒子负载的分布/167 GU2]/\W*a  
4.8.2策略2: 修改给定浆料的去除函数/168 >3<&V{<K  
参考文献/170 "vv$%^  
第5章材料去除率 |}l@w +N3  
5.1磨削材料去除率/173 t)YFTO"Jj  
5.2抛光材料去除率/178 22l|!B%o  
5.2.1与宏观普雷斯顿方程的偏差/178 E=$7ieW  
5.2.2宏观材料去除的微观/分子描述/179 =ltbSf7  
5.2.3影响单颗粒去除函数的因素/185 ]}jgB 2x7  
参考文献/195 Iz 1*4@  
第Ⅱ部分应用——材料技术 J,CJPUf&  
r!"CH5dT  
第6章提高产量: 划痕鉴定和断口分析 jI@bTS o  
%Y#[% ~|(  
6.1断口分析101/200 >^M!@=/?J  
MBnK&GS  
6.2划痕辨识/204 Fcu Eeca  
,ivWVsN*]  
6.2.1划痕宽度/205 ]9bh+  
~ nLkn#Z  
6.2.2划痕长度/206 s^{{@O.  
gt].rwo"  
6.2.3划痕类型/207 : OS mr  
; |E! |w  
6.2.4划痕密度/208 :< KSf#O  
w*|=k~z  
6.2.5划痕方向和滑动压痕曲率/208 Requ.?!fG;  
%!N2!IiVs  
6.2.6划痕模式和曲率/208 ' lQ  
?yK%]1O  
6.2.7工件上的位置/209 RPa?Nv?e  
\i&vOH'  
6.2.8划痕辨识示例/209 3G:NZ)p  
A8A:@-e8A  
6.3缓慢裂纹扩展和寿命预测/210 ogkz(wZ  
6KBzlj0T+  
6.4断裂案例研究/213 .:#_5K  
s[vPH8qb  
6.4.1温度诱发断裂/213 //`cwnjp  
EU?&  
6.4.2带摩擦的钝性载荷/221 "(HA9:  
qr<-eJf  
6.4.3玻璃与金属接触和边缘剥落/223 (50[,:#  
8Izn'>"  
6.4.4胶合导致碎片断裂/225 RGx]DP$5G  
O>tC]sm%  
6.4.5压差引起的工件失效/226 B6Wq/fl/  
#w%a m`+  
6.4.6化学相互作用和表面裂纹/229 E)rOlh7  
W>t&N  
参考文献/233 S4aHce5PXA  
Bsih<`KF^  
第7章新工艺及表征技术 3<~2"@J  
5;sQ@  
7.1工艺技术/236 jx5[bUp4u  
{8*d;[X50  
!?us[f=g%  
7.1.1刚性与柔性固定块/236 o\=i0HR9  
.5#tB*H  
7.1.2浅层蚀刻和深蚀刻/240 Jfixm=.6  
8f6;y1!;  
7.1.3使用隔膜或修整器进行抛光垫磨损管理/241 @FnI?Rx  
:DJ7d  
7.1.4密封、高湿度抛光腔室/244 6Mf3)o2  
7.1.5工程过滤系统/244 yjM@/b  
7.1.6浆液化学稳定性/246 S$kuhK>W!  
7.1.7浆料寿命和浆料回收/250  i?i7T`  
7.1.8超声波抛光垫清洗/250 #<PA- y  
7.2工件表征技术/252 c|!A?>O?i  
7.2.1使用纳米划痕技术表征单颗粒去除函数/252 w$U/;C  
7.2.2使用锥形楔片测量亚表面损伤/253 Ql6ai  
7.2.3使用特怀曼效应进行应力测量/255 &xiDG=I#  
7.2.4使用SIMS对拜尔培层进行表征/255 :+%h  
7.2.5使用压痕和退火进行表面致密化分析/256 l:5CM[mZ  
7.2.6使用静态压痕法测量裂纹发生和扩展常数/258 /i~^LITH  
7.3抛光或研磨系统表征技术/258 /qz "I-a  
7.3.1使用SPOS分析的浆料PSD末端结构/258 BJ.8OU*9]S  
7.3.2使用共焦显微镜测量抛光垫形貌/259 5[j!\d}U  
7.3.3使用zeta电位测量浆料稳定性/259 rO?x/{;ai  
7.3.4红外成像测量抛光过程中的温度分布/261 2dd:5L,  
7.3.5使用非旋转工件抛光表征浆料空间分布和黏弹性研磨盘响应/261 R{OE{8;  
7.3.6使用不同盘面槽结构分析浆料反应性与距离/262 Y +_5"LV  
参考文献/263 @BHS5^|  
第8章新型抛光方法 QSs$   
8.1磁流变抛光/265 gt t$O  
8.2浮法抛光/271 N;`[R>Z~  
8.3离子束成形/273 (HrkUkw  
8.4收敛抛光/275 T m@1q!G  
8.5滚磨抛光/279 gHh.|PysW  
8.6其他子孔径抛光方法/285 &6^W% r  
参考文献/288 PVkN3J  
第9章抗激光损伤光学元件 -C'X4C+  
9.1激光损伤前体/296 64 \5v?C  
9.2减少激光光学元件中的SSD/300 QY\wQjwuW  
9.3高级缓解过程/301 L..X)-D2 n  
参考文献/306 ?"8A^ ^  

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