光学制造中的材料科学与技术
本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分:第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学,从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发,系统分析了从宏观到微观的材料去除过程,定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用——材料技术,详细叙述了工程应用的光学制造,汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法,剖析了多方面工艺优化的可行性,说明了各类新的抛光技术;针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件,书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 QB9A-U<J 本书既是光学制造理论的梳理,也是现代光学制造技术与应用的汇总,涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的Z新理论与实践,是一部兼具理论、方法和实际应用价值的教科书和参考书。 xx6S`R6:
[attachment=125215] 0w+5'lOg
N=<=dp( 目录 *sAOpf@M 致谢 t}c v2S 第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学
BUV/twU) 第1章绪论 {)uU6z
{' 1.1光学制造工艺/2 /6smVz@O 1.2光学制造工艺的主要特点/5 L3g9b53\ 1.3材料去除机制/8 ^Bn1; 参考文献/10 ac3_L$X[ 第2章面形 PMsC*U,oe 2.1普雷斯顿方程/12 <YSg~T 2.2普雷斯顿系数/13 `+Xe'ey 2.3界面摩擦力/16 LAos0bc)w\ 2.4运动和相对速度/18 cPm~`
Zd 2.5压力分布/22 `TkbF9N+ 2.5.1施加的压力分布/22 CY5w$E 2.5.2弹性抛光盘响应/23 $oc9
|Q 7 2.5.3流体动力/24 BZ}`4W' 2.5.4力矩/26 .2/,XwIr 2.5.5黏弹性和黏塑性抛光盘特性/29 ?|)rv 2.5.6工件抛光盘失配/33 |C|:i@c
H 2.6确定性面形/54 `{%-*f^ 参考文献/57 &6Ns7w6*z 第3章表面质量 srhFEmgN7) 3.1亚表面机械损伤/63 qZ233pc 3.1.1压痕断裂力学/63
22PGWSQ 3.1.2研磨过程中的亚表面机械损伤/76 we
}#Ru* 3.1.3抛光过程中的SSD/91 # UjEY9"M 3.1.4蚀刻对SSD的影响/99 VmMh+)UZ 3.1.5最小化SSD的策略/107 SC]6F* 3.2碎屑、颗粒和残留物/108
eC.w?(RB 3.2.1颗粒/108 /^~p~HKtx 3.2.2残留物/110 pAMo
XJ` 3.2.3清洁策略和方法/112 +&(Jn 3.3拜尔培层/114 B U'Ki \ 3.3.1通过两步扩散的钾渗透/116 q$3HvZP 3.3.2化学反应性引起的铈渗透/118 oO8]lHS?@ 3.3.3拜尔培层和抛光工艺的化学结构机械模型/122 *1i?6$[
" 参考文献/124 Q})t<l+L 第4章表面粗糙度 .fbYB,0w 4.1单颗粒去除功能/130 ]}_p3W "Y9 4.2拜尔培层特性/137 w<btv]X1 4.3浆料粒度分布/138 LPb]mC6# 4.4抛光盘机械性能和形貌/141 ,!jR:nApE 4.5浆料界面相互作用/144 ;B*L1'FF%t 4.5.1浆料岛和 8TUF w@H% 粗糙度/144 sw[<VsxjR 4.5.2浆料中颗粒的胶体稳定性/148 5
Xk~,%-C 4.5.3抛光界面处的玻璃抛光生成物堆积/150 LH bZjZ2 4.5.4抛光界面处的三种力/152 d$4WK)U 4.6浆料再沉积/154 O.]_Ry\OXA 4.7预测粗糙度/157 )iT.A 4.7.1集成赫兹多间隙(EHMG)模型/157 P>.Y)$`r 4.7.2岛分布间隙(IDG)模型/164 vM5k4%D 4.8降低粗糙度的策略/167 XSD"/_xD 4.8.1策略1: 减少或缩小每粒子负载的分布/167 GU2]/\W*a 4.8.2策略2: 修改给定浆料的去除函数/168 >3<&V{<K 参考文献/170 " vv$%^ 第5章材料去除率 |}l@w+N3 5.1磨削材料去除率/173 t)YFTO"Jj 5.2抛光材料去除率/178 22l|!B%o 5.2.1与宏观普雷斯顿方程的偏差/178 E=$7ieW 5.2.2宏观材料去除的微观/分子描述/179 =ltbS f7 5.2.3影响单颗粒去除函数的因素/185 ]}jgB2x7 参考文献/195
Iz 1*4@ 第Ⅱ部分应用——材料技术 J,CJPUf& r!"CH5dT 第6章提高产量: 划痕鉴定和断口分析 jI@bTS o %Y#[%~|( 6.1断口分析101/200 >^M!@=/?J MBnK&GS 6.2划痕辨识/204 FcuEeca ,ivWVsN*] 6.2.1划痕宽度/205 ]9bh+ ~nLkn#Z 6.2.2划痕长度/206 s^{{@O. gt].rwo" 6.2.3划痕类型/207 :
OSmr ; |E! |w 6.2.4划痕密度/208 :< KSf#O w*|= k~z 6.2.5划痕方向和滑动压痕曲率/208 Requ.?!fG; %!N2!IiVs 6.2.6划痕模式和曲率/208 'lQ ?yK%]1O 6.2.7工件上的位置/209 RPa?Nv?e \i&vOH' 6.2.8划痕辨识示例/209 3G:NZ) p A8A:@-e8A 6.3缓慢裂纹扩展和寿命预测/210 ogkz(wZ 6KBzlj0T+ 6.4断裂案例研究/213 .:#_5K s[vPH8qb 6.4.1温度诱发断裂/213 //`cwnjp EU?& |