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bilong	2023-12-12 17:41
更换完修正板后材料参数异常请教哪位大佬知道，新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异（实线是模拟曲线，虚线是实测曲线，H4镀了5000，伞差可以，就是与模拟不拟合，是修正板太宽的原因吗） Met]\|& yb`PMjj15 [attachment=123739] 5;aXf%V P%3pM. 请各位大佬赐教！

ouyuu	2023-12-16 00:32
为啥要换修正板？换了离子源栅网？ EW `hL~{ 感觉像是栅网的问题，离子源能量不够

bilong	2023-12-16 11:55
ouyuu:为啥要换修正板？换了离子源栅网？ - x 感觉像是栅网的问题，离子源能量不够 (2023-12-16 00:32) v] m/$X2 Blpk n1 原修正板固定孔变大了，又重新做了一个，比原来的板稍微宽一点，没用离子源，镀的AR膜

谭健	2023-12-17 12:17
路过看看了 IskL$Y ^

wflney	2023-12-19 14:28
材料折射率和软件的有差异

bilong	2023-12-19 14:35
wflney:材料折射率和软件的有差异 (2023-12-19 14:28) {cK<iQJ ]H1mj#EWU 是的，看结果应该是实际镀出来的曲线有问题，曲线谷值应该都在一条线上，但实际镀出来的不是在一条线上 OSu&vFKz

嘤击长空	2023-12-21 13:37
修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降

bilong	2023-12-21 17:58
嘤击长空:修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降 (2023-12-21 13:37) /~LE1^1&U -H?c4? 5 请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度

ouyuu

2023-12-22 09:36

照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚，
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。

如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。
是不是修正板做的很长？

bilong

2023-12-22 11:41

ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 dIC\U
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， :8b'HhjM
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。 p%I)&- 8
如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 ).KA0-
....... (2023-12-22 09:36) _c-3eQ1

受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常

bilong	2023-12-22 11:42
bilong:受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常 (2023-12-22 11:41) /1OCK= `Gio 2gl9 用手电在坩埚处打上去，没有遮挡晶控

度魔银	2023-12-22 12:51
是不是充氧过大又吸收了

bilong	2023-12-22 14:11
度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51) :8`A xO\|r<R7d7 应该是的，有一槽充氧有点大

嘤击长空	2024-02-29 17:41
bilong:请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58) Z!g6uV+.5 ]Q"T8drL 调好单层之后用膜系去试，用膜系判断不同材料的均匀性

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