更换完修正板后材料参数异常

ouyuu:为啥要换修正板？换了离子源栅网？ GDiyFTr  
感觉像是栅网的问题，离子源能量不够 (2023-12-16 00:32)  lF40n4}  

wflney:材料折射率和软件的有差异 (2023-12-19 14:28) G
K3T w  

嘤击长空:修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  UIg?3J}R  

ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 <1m`  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， YGs'[On8  
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。 ad47 42  
如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 F2_'U' a  
....... (2023-12-22 09:36)  -)Vy)hD,  

bilong:受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常 (2023-12-22 11:41)  +opym!\  

度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51)  7 H:y=?X6  

bilong:请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58)  ' ;nG4+K