非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 K+2<{qwh
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任务 4 ZSc'9e9
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 L >Y%$|4
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 .\" .}4qQ
连接建模技术：衍射光束分束器 *FmY4w
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 .T#h5[S2x
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将传输函数转化为结构 D!^&*Ia?2
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衍射光束分束器表面 . =yF
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 3"!h+dXw
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[attachment=123489] #{-B`FAQ
光栅级数 & 可编程光栅分析器 z.P<)[LUc
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设计与评估结果： #Ie/|
• 相位函数设计 t<h[Lb%{T4
• 结构设计 wa T'|9{
• TEA 评估 n
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• FMM 评估 oG{0 {%*@
• 高度缩放检查（用于优化/容限） o"wvP ~H
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仅相位传输设计 (JenTL`%u
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结构设计 5e1 ;m6
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使用TEA进行性能评估 ]L)l5@5^
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使用FMM进行性能评估 %La<]
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进一步的分析（优化后，容差分析） N_L ~oX _
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 HV2 1=W
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 }ZqnsLu[)
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 y$$|_
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