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2023-11-28 10:20 |
衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术
时间地点： <"t >! I
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 6PTD%Rf\
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 {u:DC4eut
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 3
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课程讲师：讯技光电高级工程师 ''V:+@T oh
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要： 55#H A?cR
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 rR7}SE a
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课程大纲： `'g%z: ~
1.波动光学基础 2nw P-i
□ 双光束干涉及杨氏干涉 y :457R2F
□ 相干及非相干光源的传播特性 -JcfP+{wS
□ 衍射光学与傅里叶变换 <$UY{"?
2.衍射元件概述 Ly ^r8I
□ 衍射光学元件概念 {6n B83BB
□ 衍射光学元件优点 t]Oxo`h=
□ 光束分束、整形、扩散 5T,`j=\
□ 傅里叶变换 YS;Q l\4
□ 角谱理论 IQR?n}ce
□ 工作装置类型 En[cg
3.衍射光学元件理念及设计 <%|2yPb]
□ 基本理念 3.8d"
□ 透镜和衍射光学元件的作用 WT1ch0~2
□ 分束、整形和扩散的实质 ^Zg"`&E
□ 衍射光学元件的特征尺寸 chxO*G
□ 衍射光学元件优化设计方法 v mL0H)q
4.IFTA简介 "_9Dau$
□ 基本设计步骤 ]/ U)<{6
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 )4DF9 JpD
□ 参数估算——周期和线宽的估算
snX5mD
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 Og^b'Kx/
□ 配置设计过程的优化评价函数 }VyD X14j
5.衍射元件设计案例 @c5TSHSL.
□ 衍射分束器参数选择 's JYt^
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 ,%Dn}mWu
□ 衍射整形器参数选择 ]81P<Y(7
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 p6|0JBm
□ 衍射扩散器参数选择 40mgB4I
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 XO219
6.光栅模拟分析 6tj +
□ 构建stack yw2sK7
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 IRD?.K]*
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 W* N^G p@
□ 2D光栅表面镀膜分析
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 gLU #\d]
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 &_G^=Nc,H
7.光栅概述 { "=d7i
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 Eufw 1vDa
□ 标量衍射和傅里叶变换 Bh<)e5lP:
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 {4\(HrGNk
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 <$/'iRtRzW
8.微纳光学元件制作 jgbE@IA@!'
□ 多阶器件加工 hj s[$ ,1
□ 连续器件加工 3y<;fdS7
□ 传统套刻法 g"^<LX-
□ 激光直写法 9*U3uyPi
□ 纳米光子器件制作概述 p%ek)tT
□ 衍射光学元件公差分析 !3E33
9.答疑 xXQDHc -Ba
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