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2023-11-15 08:22 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 a(`@u&]WZ mw&)j R$& 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 [O(8izv )}jXC4 [attachment=122629] *f$wmZ5A Sj<WiQ%< 建模任务 B@2VI
1% }W k!):=y [attachment=122630] + %07J6 2N:|B O> 1阶的参数优化 <Xr{1M D P ||:?3IH [attachment=122631] ]J7.d$7T |\MgE.N 结果-容差分析 T#e ;$\ qA6;Q$ [attachment=122632] pT` oC& [<M~6] 结果-容差分析 7}e73 mxJ& IV [attachment=122633] 3ud_d> lUd;u*A 在VirtualLab Fusion中查看 fSFb)+ Vyqj)1Z8> [attachment=122634] Xn
1V1sr B#T4m]E/ VirtualLab Fusion的工作流程 OWRT6R4v CQx#Xp>=s •构造光栅结构 zg2}R4h - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] a.yCd/ - 倾斜光栅的高级配置[用例] _c4kj •分析光栅衍射效率 $Dm2>:Dmt - 光栅级次分析器[用例] OF)G2>t •使用参数优化优化光栅参数 $kA'9Y •使用参数运行进行容差分析 EBX+fzjQo - 参数运行文档的用法[用例] Z4 +6' ZCAdCKX| [attachment=122635] :"9P {xe^ AD=vYDR+ VirtualLab Fusion技术 N1 }#6YNw MM*B.y~TxZ [attachment=122636]
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