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infotek 2023-11-08 15:30

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 ] 73BJ  
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ahm@ +/2  
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设计任务 P6o-H$ a+  
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VirtualLab Fusion一瞥 ['rqz1DL5  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 _o-D},f*e  
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构建光栅结构 l4s_9  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] h_Cac@F0  
−倾斜光栅高级设定[用例] Y l1sAf/  
•光栅衍射效率分析 =D2x@ank[  
−光栅阶序分析器[用例] *PjW,   
•使用参数优化进行光栅参数优化 kM T73OI>_  
•使用参数运行的容差分析 RZeU{u<O  
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VirtualLab Fusion技术 HrZ\=1RB  
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