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2023-11-08 15:30 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 ]73BJ 30$Q5]T 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ahm@ +/2 m_r_4BP [attachment=122253] %-~T;_. }&Jml%F4uR 设计任务 P6o-H$
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[attachment=122256] 3ws}E6\D aqAWaO 结果-容差分析 ]o\y(! B0}f,J\ [attachment=122257] t&=]>blIs {9C+=v? VirtualLab Fusion一瞥 ['rqz1DL5 f,}]h~w\ [attachment=122258] fd Rw:K8 F,-S&d VirtualLab Fusion中的工作流程 _o-D},f*e V_"K 构建光栅结构 l4s_9 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] h_Cac@F0 −倾斜光栅高级设定[用例] Y l1sAf/ •光栅衍射效率分析 =D2x@ank[ −光栅阶序分析器[用例] *PjW, •使用参数优化进行光栅参数优化 kM
T73OI>_ •使用参数运行的容差分析 RZeU{u<O uk~4R@=&H [attachment=122259] }$ZcC_ ,pz^8NJAI VirtualLab Fusion技术 HrZ\=1RB 9V=bV=4: [attachment=122260]
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