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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 JOBhx)E
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ENY+^7
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建模任务 _v]MsT-q
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仿真干涉条纹 ;t`&n['N>
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走进VirtualLab Fusion sCHJ&>m5-
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VirtualLab Fusion中的工作流程 u\JNr}bL
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•设置输入场 uM6+?A9@l
−基本光源模型[教程视频] =_u4=4
•使用导入的数据自定义表面轮廓 JqiP>4Uwm^
•定义元件的位置和方向 N ZSSg2TX#
− LPD II：位置和方向[教程视频] du^J2m{f
•正确设置通道以进行非序列追迹 bA->{OPkT
−非序列追迹的通道设置[用例] 5/Uy{Xt
•使用参数运行检查影响/变化 [ !OxZ!
−参数运行文档的使用[用例] sD wqH.L
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VirtualLab Fusion技术 VW4r{&rS
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