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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 :^qUr`)
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 oLtzP C
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建模任务 ;mr*$Iu 7|
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仿真干涉条纹 DjiI*HLNR
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走进VirtualLab Fusion GO*D4<#u
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VirtualLab Fusion中的工作流程 3[?;s} 61
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•设置输入场 {9) HB:
−基本光源模型[教程视频] ({$rb-
•使用导入的数据自定义表面轮廓 56u_viZ=8
•定义元件的位置和方向 kIe)ocJg
− LPD II：位置和方向[教程视频] m?1r@!/y
•正确设置通道以进行非序列追迹 G)f!AuN=
−非序列追迹的通道设置[用例] ^r O!-
•使用参数运行检查影响/变化 uJ fXe
−参数运行文档的使用[用例] iSf Ro 31
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VirtualLab Fusion技术 \/nSRAk
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