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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 `U|7sLR  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: %16Lo<DPm  
S3M!"l  
[attachment=122100]
-E1-(TS  
首先,检查该光学系统的MTF。 !Ew ff|v"  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 "dP-e  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 0GxJja  
/-v ;  
[attachment=122101]
4Q0ZY(2 EO  
[attachment=122102]
p _[,P7  
显示的是短波的MTF。 .v(GVkE}  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 YzjRD:  
0U~$u  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 )Zr\W3yWX  
有两种方法可供选择: Ho&:Zs  
6!>p<p"Ns  
(1) 局部相干图像分析 2*Qi4%s#  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 y5F+~z }{  
?PWg  
[attachment=122103]
Eu' ;f_s  
[attachment=122104]
C jf<,x$  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 wxqX42v  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 ;4!H- qZ  
Xr=BxBttp  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 #&T O(bk  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 \t)va:y  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 kf>3T@  
|;NfH|43;  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 W6T4Zsg  
Pw<'rN8''  
[attachment=122105]
Dx1(}D  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 Soq#cl'll-  
R_B0CM<!  
(2)图像模拟 j7ZxA*  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 HSysME1X:/  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 }| MX=:@*  
您也可以创建自己想仿真的图像。 !O%!A<3  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 keLeD1  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 ["f6Ern  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 W]/J]O6  
|P]W#~Y-  
[attachment=122106]
P}~MO)*1  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 ymxA<bICS8  
"'bl)^+?,  
[attachment=122107]
=S{OzF  
按照以下参数对仿真进行设置, OC*28)  
_|["}M"?  
[attachment=122108]
`2]0 X#R  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 2c]"*Pb  
输入0.3作为视场的高度。 s>o#Ob@4'  
输入0.3作为视场的高度。 %?+vtX  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 pDlrK&;\z  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 mq[=,,#  
仿真的图像如下所示。 I3.. Yk%7  
H2BRI d  
[attachment=122109]
hUi@T}aA|  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 j yD3Sa3  
这种现象被称为 "伪像"。 : wS&3:h  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 sR1_L/.  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 s4_Dqm  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 UgAp9$=z  
,i6E L  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 OUUV8K  
<z\SKR[  
[attachment=122110]
FShjUl>mV  
=xm7i#1  
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