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2023-11-06 09:46 |
Ansys Zemax | 解像力仿真设计
本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 zCZ]` 作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: 9 -\.|5;: -^i[
[attachment=122100] b42"Y,sbB 首先,检查该光学系统的MTF。 2nL[P#r 分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 -hx' T6G% MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 tCFXb6Cz 9%i|_c}
[attachment=122101] M PhG:^g
[attachment=122102] o/grM+_ 显示的是短波的MTF。 dvWQ?1l_ 在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 ~|_s2T 6 6G$5 接下来,对解像力图进行图像模拟。 a9h K8e 有两种方法可供选择: aXAV`%b \J>a* (1) 局部相干图像分析 h JVy-] 选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 \^$g%a afVl)2h
[attachment=122103] s}NE[Tw
[attachment=122104] FwB}@)3 作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 KiXRBFo 在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 aNX M~;5~ 21b 在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 8<gYB$* S 该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 AATiI+\S 那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 5C}1iZEJ #bz#&vt$ 真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 V&i/3g 9~
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[attachment=122105] 2$)xpET MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 vkFq/+'U k
E^%w?C (2)图像模拟 gLyXe,Jp 这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 D%CKkQ<u2 许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 ;7jszs.6% 您也可以创建自己想仿真的图像。 bi^[Eh 例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 %r1NRg8 我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 ~]CQ
DR: 然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 z}'-gv\, T$p!IRPt
[attachment=122106] T d E.e( 分析→扩展光源分析→图像模拟。 _$g2;X > 6:Fb>|]*PY
[attachment=122107] f6\`eLG i1 按照以下参数对仿真进行设置, !^~
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[attachment=122108] M0+xl+c+ 使用自定义的图像文件作为输入文件。 ,".1![b 输入0.3作为视场的高度。 ULqFJ*nla 输入0.3作为视场的高度。 4=BIYC"Lu 因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 >(>,*zP<9 对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 k}MmgaT:5] 仿真的图像如下所示。 _6y#?8RMB 8dgi"/[3
[attachment=122109] 0Nvk|uI
V[ 你可以看到两条水平线(切线图像)。 Ol%KXq[ 这种现象被称为 "伪像"。 uq.!{3)8 用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 qK_jgj=w 然而,此后会有百分之几的对比度复现。 zv~dW4' 在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 AQx:}PO dF@m4U@L 如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 8>\tD 2=\} 0
[attachment=122110] $,@PY5r ';>]7oT` 武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 jN[P$}#b` 销售热线:027-87878386 xaPaK- 咨询邮箱:market@ueotek.com Fv| )[>z0 YadG05PDe
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