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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 3['aK|qk.  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: p i ;,?p-  
O<A$,<67  
[attachment=122100]
v]"W.<B,  
首先,检查该光学系统的MTF。 @S69u s}  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 7=$@bHEF#*  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 vr/O%mDp  
D..dGh.MY  
[attachment=122101]
\S]"nHX  
[attachment=122102]
B@v\tpR  
显示的是短波的MTF。 .X D.'S  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 O8&=qZ6T  
oCl $ 0x  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 3J^"$qfSn  
有两种方法可供选择: 3^ct;gz  
r2KfZ>tWg"  
(1) 局部相干图像分析 ?{@UB*  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 \0K3TMl)J  
RmR-uQU-c  
[attachment=122103]
C'6 yt  
[attachment=122104]
yvPcD5s5  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 9VEx0mkdd  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 f)~j'e  
h92'~X36  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 0|1)cO}Dy  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 Q]Kc< [E  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 -r.Qy(}p  
# :^aE|s  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 -?m"+mUP  
1@xmzTC  
[attachment=122105]
{8!\aYI  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 *.4VO+^  
,Z2fVz~9  
(2)图像模拟 t`b!3U>I  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 5Op|="W.  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 _$&C$q$1y  
您也可以创建自己想仿真的图像。 j_3X 1w)k  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 y:C=Ni&,"  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 {LwV&u(  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 ,YEwz3$5u  
5_|Sm=  
[attachment=122106]
scXY~l]I*  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 2J>v4EWC  
~9[^abz  
[attachment=122107]
1 P0)La#  
按照以下参数对仿真进行设置, 91|0{1  
1E1oy( \V  
[attachment=122108]
yvQRr75  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 X&s@S5=r]  
输入0.3作为视场的高度。 *OX;ZQg0  
输入0.3作为视场的高度。 JO|%Vpco  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 IB'gY0*  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 E41ay:duAl  
仿真的图像如下所示。 ( 04clU^F  
D-v}@tS'  
[attachment=122109]
W7\s=t\  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 ;ui=7[ Us  
这种现象被称为 "伪像"。 5{`a\;*  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 nm8XHk]  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 `$fKS24u  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 ><l|&&e-  
&8w MGahp  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 \dB)G<_  
>[$j(k^  
[attachment=122110]
{.,-lFb\  
Hzn6H4Rc  
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