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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 jr[<i\!  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: S}m$,<x  
(! 0j4'  
[attachment=122100]
J~iOP  
首先,检查该光学系统的MTF。 ` Y{>2UFX  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 s,$Z ("B  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 YH'$_,8peM  
mZbWRqP[|_  
[attachment=122101]
@3 -,=x  
[attachment=122102]
Gq0]m  
显示的是短波的MTF。 @ kJ0K  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 7>'uj7r]=  
%qS]NC  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 Q$|^~  
有两种方法可供选择: 2<[ eD`u  
d`9W  
(1) 局部相干图像分析 Ue{vg$5||  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 })o~E  
Wa[x`:cT?u  
[attachment=122103]
S]e j=6SP  
[attachment=122104]
+9CEC1-l  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 <$ i"zb  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 >Lw}KO`  
@,x_i8  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 .1.J5>/n  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 )YzHk ;(  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 )|w*/JK\Z  
lX98"}  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 {J,6iP{>ZN  
<#+oQ>5s  
[attachment=122105]
*'9)H 0  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 5:Yck<  
~Na=+}.q_  
(2)图像模拟 G3RrjWtO  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 ?w+ QbT  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 )p$\gwr=2  
您也可以创建自己想仿真的图像。 ^Yj"RM$;N  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 zVM4BT(  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 ds*m6#1b  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 ,c4c@|Bh?  
R* s* +I  
[attachment=122106]
Xw7{R  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 N#(jK1` y  
.M DYGWKt  
[attachment=122107]
],;D2]<s  
按照以下参数对仿真进行设置, )\{'fF  
gw_|C|!P  
[attachment=122108]
g3|BE2?  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 #*!+b  
输入0.3作为视场的高度。 1<xcMn0et  
输入0.3作为视场的高度。 |h5kg<Zgo  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 Gs[Vu@*  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 0o=!j3RjH  
仿真的图像如下所示。 Dn~Z SrJ  
P3'2IzNw  
[attachment=122109]
Tr}R`6d$  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 oi7 3YOB  
这种现象被称为 "伪像"。 9*#$0Y=  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 '5'3_vM  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 MV%Xhfk  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 - #3{{  
Q]< (bD.7  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 12idM*  
h^}_YaT\  
[attachment=122110]
LO"_NeuL  
t,RyeS/  
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天蓝色3230 2023-11-09 09:07
学习一下Zemax运用,
谭健 2023-11-09 10:59
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