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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 AM \'RHL
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 '@KEi%-^>
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建模任务 OX!tsARC@
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模拟&设置：单平台互操作性 lvz7#f L~
建模技术的单平台互操作性 8qTys 8
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 BC.87Fji/
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平面波光源 b5vC'B-!
微透镜阵列 Qn.om=KDs@
彩色滤光片(吸收介质) sI GMA$EK
通过基底传播 K7:)nv
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探测 oW*16>IN9l
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连接建模技术：微透镜 ;:g@zA V
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aP+X}r
连接建模技术：彩色滤光片 W+?4jwqw
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连接建模技术：可编程介质 w``ST
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连接建模技术：自由空间传播 >W+ % 8e
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连接建模技术：堆栈 #a,PZDaE
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 k(G^z
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微透镜阵列 ,m|h<faZL
彩色滤光片(吸收介质) {Gk1vcq
通过基底传播 T_5H&;a
探测 '4Bm;&6M
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元件内场分析器：FMM FGmb<z 2p
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模拟结果 _8UU'1d
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) \V~eVf;~
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) qqY"*uJ'
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) u `6:5k
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3D仿真与结果比较 0GCEqQy8
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3D仿真与结果比较 Feq]U?
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