| infotek |
2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 VZ y$ 0*
m|t\w|B2
[attachment=122053] c&{= aIe w
6Z2|j~
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 3K/ 'K[~
wu &lG!#
建模任务 i\gt
@
L/I ]
NA!U
[attachment=122054] =6i+K.}e
@LDs$"f9=
模拟&设置：单平台互操作性 +DR{aX/ll
建模技术的单平台互操作性 Z glU{sU
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 hY !>>
W:6#0b"_#
[attachment=122055] T!HAE#xC
"r3h+(5
平面波光源 v\qyDZ VV
微透镜阵列 mFxt +\
彩色滤光片(吸收介质) HDKY7Yr
通过基底传播 ]=I2:Rb
探测 QD%6K=8Q
8 G|?R#&
连接建模技术：微透镜 _x#y
/ C5py&#-I
[attachment=122056] Q2* 8 c$
jG)66E*"
连接建模技术：彩色滤光片 rO O10g
\Y!=O=za]
[attachment=122057] yOvV"x]
[7[Qw]J
连接建模技术：可编程介质 ~ _ tK.m3
`T ^0&#
[attachment=122058] B I<9xl]a
es\
qnq
连接建模技术：自由空间传播 Zr A*MN
GC3d7
[attachment=122059] B r&&#
@~N"MsF3
连接建模技术：堆栈 )1R[X!KQ7
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 a|[f%T<<
[;F! \B-
[attachment=122060] X*d!A
>s
:?m"kh
~
微透镜阵列 Eb 63O
彩色滤光片(吸收介质) b&1hj[` )
通过基底传播 O:RN4 /17
探测 a|3+AWL%
)FIFf ;r
元件内场分析器：FMM O#C0~U]dDW
nGc'xQy0
[attachment=122061] ^T1caVb|>
zcH"Kh&
模拟结果 T2 )CiR-b
t7xJ "
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) wN/v-^2
uGW#z_{(n
[attachment=122062] q D=b+\F
k]RQ 7e
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ba
,n/yH
7M5H vG#w%
[attachment=122063] p } eO
FYe fn3b
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) +>[zn
*`/4KMrq
[attachment=122064] Qm"~XP
p-rQ'e
3D仿真与结果比较 f><V;D#
D@[#7 :rHL
[attachment=122065] $ kMe8F_
vQn hb %
3D仿真与结果比较 V|HO*HiB3
CD^@*jH9"
[attachment=122066]
|
|