| infotek |
2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 &02I-lD4+
ASU.VY
[attachment=122053] Kj{(jT
\?_M_5Nb
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 e0z(l/UB
[:BD9V
建模任务 '>:c:Tewy
b2r]>*Vc
[attachment=122054] UKpc3Jo:~
Jk=_8Xvr`
模拟&设置：单平台互操作性 4`[2Te>
建模技术的单平台互操作性 4 \Ig <C9
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 |MMaaW^"
Fm# `}K _
[attachment=122055] wrhGZ=k{
H.)Y*zK0.
平面波光源 M 8NWQ^Y
微透镜阵列 F%ffnEJg
彩色滤光片(吸收介质) ;.U<Lr^9#
通过基底传播 MUW&m2
探测 \=&F\E V
)&{<gyS1
连接建模技术：微透镜 `UD,ne
kxH`
c
[attachment=122056] `8lS)R!
H3 >49 ;`
连接建模技术：彩色滤光片
NIh?2w"\
5HC5
[attachment=122057] RRUv_s ff
"&% Lhyt
连接建模技术：可编程介质 Q+7+||RW
BV zMgn;
[attachment=122058] 34F;mr"yp
O|AY2QH\
连接建模技术：自由空间传播 JUCp#[q
V\nj7Gr:sF
[attachment=122059] Am@ :<J
-P:o ^_)g
连接建模技术：堆栈 XGb*LY+Db6
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 6an= C_Mb`
z'01V8e
[attachment=122060] U1;&G
-, uT8'
微透镜阵列 ZJ8"5RW
彩色滤光片(吸收介质) %Y-5 L;MI
通过基底传播 L\zyBfK}
探测 Oq*;G R(Q
yu}y ON
元件内场分析器：FMM b5)a6qt b
A5E^1j}h@
[attachment=122061] tx7B?/5D
f= A`{ 8^
模拟结果 5 t ,X;
Le V";=_n
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 3Z}v%=5
"
_0|@B8!J?
[attachment=122062] QlMv_|`9
N4l} 5(e
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) _<%YLv
>rX D Lj-e
[attachment=122063] YYhN>d$
12@Ge]
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) l5nm.i<M
WD@v<Wx)
[attachment=122064] Dkg^B@5Xr
w< u@L
3D仿真与结果比较 V an=dz G
BtrMv6
[attachment=122065] Rn*@)5
! u;gGgQF
3D仿真与结果比较 ~ycWc Zi>
mu2|%$C;$
[attachment=122066]
|
|