| infotek |
2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 =A"Abmx|
(g##wa) L
[attachment=122053] KUI{Z I
@j46Ig4~b
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 cI=6zMB
%6m/ve
建模任务 Mg2+H+C~:
!m@cTB7i
[attachment=122054] 8 1,N92T5
:5t4KcQ
模拟&设置：单平台互操作性 nQF& ^1n
建模技术的单平台互操作性 HXLnj Xoe
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 i GW|j>N
0]DOiA
[attachment=122055] %rW}x[M%w?
xVx s~p1
平面波光源 n2U
&}O
微透镜阵列 ;2f=d_/x
彩色滤光片(吸收介质) 6V;Dcfvi
通过基底传播 Xoe|]@U`
探测 ]*2),H1
c
O<m46mw M
连接建模技术：微透镜 &`^(dO9
jB LTEb
[attachment=122056] +IdM|4$\1
{?qfH>oFA
连接建模技术：彩色滤光片 EmNVQ1w
_H+]G"k/r
[attachment=122057] +b|F_
;d?BVe?
连接建模技术：可编程介质 PQH z tS"
GkAd"<B
[attachment=122058] jD
S?p)&
S^QEc tXU
连接建模技术：自由空间传播 X5)D [aE6
{wS i?;[Gq
[attachment=122059] e{)giJY9
1c$pz:$vX
连接建模技术：堆栈 E?w#$HS
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 8F sQLeOE
R`j"iC2
[attachment=122060] iJ>=!Q
i q;\},
微透镜阵列 9{pT)(Wnb
彩色滤光片(吸收介质) |_53So: g
通过基底传播 UylIxd
探测 }<Ydj .85
vl (``5{
元件内场分析器：FMM }e 7Rpgu
(Jq m9
[attachment=122061] L$ T2 bul
2[lP ,;!
模拟结果 B:zx 9
+)c<s3OCE
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Xu{y5 N
\' O/3Y7?X
[attachment=122062] _S_,rTf&
uP9b^LEoN
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Bc=(1ty)
XpAJP++
[attachment=122063] |!o C7!+0^
l$u52e!7
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) MW wqon|
B> u`%Ry&
[attachment=122064] -@AhJY.
tB;PGk_6
3D仿真与结果比较 h7]+#U]mi
4" ?`p;{Z
[attachment=122065] _a&gbSQv
|gk NhxzB
3D仿真与结果比较 +*.*bo
CI*JedO]
[attachment=122066]
|
|