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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 mP-+];gg
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 p0/I}n4<5n
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建模任务 0Z\ fK>yw
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模拟&设置：单平台互操作性 v1: 5 r
建模技术的单平台互操作性 `is6\RH
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 q7;)&_'
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平面波光源 p|Ln;aYc
微透镜阵列 #f[yp=uI:
彩色滤光片(吸收介质) y ^YrGz.
通过基底传播 Z?~7#F~Z`
探测 g+f{I'j
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连接建模技术：微透镜 UuN(+&oD-
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连接建模技术：彩色滤光片 ) , n?"
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连接建模技术：可编程介质 P~~RK& +i
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连接建模技术：自由空间传播 Si;e_ a
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fx*Swv%r
连接建模技术：堆栈 U-k6ZV3&8
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ohwQ%NDl
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微透镜阵列 Tu x~4W
彩色滤光片(吸收介质) a+MC[aFr
通过基底传播 }ts?ZR^V,
探测 Rq;R{a
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元件内场分析器：FMM *FO']D
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模拟结果 xe
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]E`DG
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) *@n%K,$v
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) _c`Gxt%
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3D仿真与结果比较 anv_I=
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3D仿真与结果比较 V<+ d o|@F
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