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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 OjJlGEl w
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ~S"G~a(&j
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建模任务 zhHQJcQ.
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模拟&设置：单平台互操作性 KDRIy@[e
建模技术的单平台互操作性 >/1.VT\E
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 {-Yp~HQF
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[attachment=122055] ZN%$k-2
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平面波光源 qa`bR%eH
微透镜阵列 FK @rZP
彩色滤光片(吸收介质) eoTOccb!
通过基底传播 l:j9l BS
探测 hd/5*C{s
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连接建模技术：微透镜 )l [ +7
z[ z'.{;D
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连接建模技术：彩色滤光片 ; oob
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连接建模技术：可编程介质 KkJcH U
dE/Vl/ :
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连接建模技术：自由空间传播 WAqR70{KM
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G xm+5q
连接建模技术：堆栈 8{%/!ylJz
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 t8]u#bx"?
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微透镜阵列 8N c i 1o
彩色滤光片(吸收介质) UO<uG#FB
通过基底传播 99 :`58G
探测 & [R&@l Y
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元件内场分析器：FMM <`-"K+e!J
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模拟结果 :T%,.sH
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ScZ$&n
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .N/4+[2p(
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) IGu*#>h
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[attachment=122064] pA+Qb.z5z
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3D仿真与结果比较 Og30&a!~F
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3D仿真与结果比较 nez5z:7F
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