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2023-10-30 08:19 |
用于光学测量的菲索干涉仪
摘要 %{^kmlO N;XJMk_ H 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 BZ@v8y _TA &6@e9ff0 [attachment=121757] QNCG^ub p|R]/C0f 建模任务 R,[+9U|4V e+P|PW [attachment=121758] ({p@Ay RaY=~g 倾斜平面下的观测条纹 C**kJ R3} Z" [attachment=121759] ' $X}' u %dA7`7j 圆柱面下的观测条纹 Y%]&h#F [bJAh ` I [attachment=121760] 6'vt
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