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2023-10-25 09:32 |
线下培训-衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术
时间地点: ?ew]i'9( 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 v=^)`C6Ma 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 CUM~* 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 |?Uc:VFF 课程讲师:讯技光电高级工程师 \O4=mJ 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) F?4'>ZW 课程概要: g5'bUYsa 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 *wx^mB9 [attachment=121620] U}h
|Zk akoKx)(< [attachment=121621] <GR: 5pJ% 课程大纲: tH!z7VZ 1.波动光学基础 _!vbX
mb □ 双光束干涉及杨氏干涉 j;vaNg|vQ □ 相干及非相干光源的传播特性 jC7XdYp □ 衍射光学与傅里叶变换 "61n?Z#,M[ 2.衍射元件概述 c9k,Dc □ 衍射光学元件概念 t,YAk
?} □ 衍射光学元件优点 06O □ 光束分束、整形、扩散 sP8B?Tn1W □ 傅里叶变换 (J#3+I □ 角谱理论 );LwWKa □ 工作装置类型 $cCB%} 3.衍射光学元件理念及设计 -|mRJVl8 □ 基本理念 5eJd$}Lbc □ 透镜和衍射光学元件的作用 rKq]zHgpo □ 分束、整形和扩散的实质 wxrT(x| □ 衍射光学元件的特征尺寸 &Gl&m@-j □ 衍射光学元件优化设计方法 &GAx*.L 4.IFTA简介 g#*N@83C □ 基本设计步骤 F*H}5yBp_: □ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 \x}UjHYIc& □ 参数估算——周期和线宽的估算 RPQ)0.O7 □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 [5-5tipvWp □ 配置设计过程的优化评价函数 x.Y,]wis 5.衍射元件设计案例 =%`" □ 衍射分束器参数选择 nm.d.A/]Z □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 WBIS □ 衍射整形器参数选择 ?0X.Ith^. □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 I 3PnyNZ □ 衍射扩散器参数选择 v;7u"9t □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 D?R z| 6.光栅模拟分析 J^cDa|j □ 构建stack ;iVyJZI □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 vP!gLN]TV □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 Z "u/8 □ 2D光栅表面镀膜分析 q6dq@ □ 3D表面具有减反结构的光栅分析 Rx.0P6s □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 e9hQJ
1{)x 7.光栅概述 _=b[b]Ec$s □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 R0WJdW# □ 标量衍射和傅里叶变换 pFh2@O □ 矢量衍射和傅里叶模态法 tP9}:gu □ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 ]So%/rOvX 8.微纳光学元件制作 P<1zXs.H □ 多阶器件加工 UZ$p wjC □ 连续器件加工 w[iQndu □ 传统套刻法 E+gUzz5 □ 激光直写法 W$W7U|Z9y+ □ 纳米光子器件制作概述 A+'j@c\&! □ 衍射光学元件公差分析 eL.S=" 9.答疑 <_5z^@N3$ 对此课程有兴趣的可以扫码加微咨询 d;z`xy(C [attachment=121616]
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