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2023-10-23 08:06 |
光栅阶次分析器
摘要 JW!.+
Q ?N(<w?Gat 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ,+5:}hR+ wn;)La [attachment=121468] U\u07^h[ Gj?$HFa 光栅详细说明 'b0r?A~c= _, E/HAX [attachment=121469] ,5x#o ;80^ GDk~S •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 L6ap|u •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 kno[ !A7_6 9GRQ^E 光栅阶次分析器设置 ,kf.'N Wb>;L@jB7 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 @mJ~?d95v •可以指定各种输出选项。 yM `u]p1 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Vm[F~2+HX C5~n^I| [attachment=121470] |RXQ_| /z_]7] 常规设置 P@keg*5@ Z+u.LXc|c [attachment=121471] m8;w7S7,j~ $_iE^zZaU^ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 *`rfD* •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ,/%'""`w aU~?&] 单个阶次设置 $4^SWT. @gfW*PNjlP [attachment=121472] *FktI\tS -|Zzs4bx •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 _-lE$
O •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 2lO(f+ 641P) 单个阶次设置 8]Tv1Wc */l;e<E [attachment=121473] K"x_=^,Yu* XPU>} 4{ [attachment=121474] tfN[-3)Z swxX3GR 探测器标签页中的输出 ;Y[D#Ja- Q3(ulgl] [attachment=121475] +]nIr'V :-5[0Mx= •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 F3EAjO)ch •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 Y+UJV6 6^WNwe\ 极坐标图中的输出 yKoZj K6t"98 [attachment=121476] tc0;Ake-& mf3,V|>[\ •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 4`,7tj •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 Uffwzd! NJQ)Ttt 极坐标图设置 AU3Rz&~ 5XUm} D$ [attachment=121477] VaY#_80$s )\#*~73 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 h AAh •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 7H5VzV E<Zf!!3 阶次汇集输出 zXx/\B$&d* X2@Ef2EkM [attachment=121478] C[<}eD4bV •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 Ai1"UYk\\Y •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 rP3tFvOH _i}b]xfM 阶次汇集设置 @T~XwJ~ V!+iq*Z|= [attachment=121479] ()IZ7#kL? 8&G9 ?n`I5 [attachment=121480] 6[3Xe_ iR nj N 阶次汇集设置 s|e.mZk/ S>0%jCjW [attachment=121481] x[)-h/&Fh <Z:FY|'s •在属性浏览器的视图选项卡中,用户可以设置其他视图参数。 (s,& | |