| infotek |
2023-10-19 09:03 |
使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
摘要 wpN3-D
G}^= (,jl
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 Lt=32SvTn
qT !lq
[attachment=121399] # =tw
,S
zL9~gJ
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） J{-`&I 'b
hc+B+-,
建模任务 KYtCN+vsG
1:<(Q 2X%
[attachment=121400] F]P s S(
'j <u0'K@
单次FMM仿真结果 ZQ+DAX*MS
Um 6}h@>
[attachment=121401] y.J>}[\&x
GCq4{_B\Q
参数扫描（1D） X-_VuM _p
R:YVmqd
[attachment=121402] 8cG`We8l&
0VSIyG_Z
参数扫描（2D） i9XpP(mf
aEvbGo
[attachment=121403]
|
|