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2023-10-13 15:06 |
线下课程-衍射及微纳光学系统的分析、设计及加工
时间地点: jr:drzr{I 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 8F)=n \ 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 8yvJ`eL- 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 Q K j1yG0i 课程讲师:讯技光电高级工程师 V(DjF=8 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) s.KOBNCFa 课程概要: 0JyqCbl 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 r.?+gW!C [attachment=121142] 2]3G1idB RPY6Wh|4 [attachment=121143] w a2~C [ 课程大纲: ExQ--!AC= 1.波动光学基础 H6{Rd+\Z □ 双光束干涉及杨氏干涉 @BXaA0F4 □ 相干及非相干光源的传播特性 w0aHEvH/ □ 衍射光学与傅里叶变换 .01TTK * 2.衍射元件概述 FbuKZp+ □ 衍射光学元件概念 g4Bg6<; □ 衍射光学元件优点 [d\#[l_ □ 光束分束、整形、扩散 $6Z[|9W^A □ 傅里叶变换 =uS8>.Qj □ 角谱理论 TD%WJ9K\ □ 工作装置类型 bje'Oolc 3.衍射光学元件理念及设计 [:B W+6 □ 基本理念 kHZKj!!R □ 透镜和衍射光学元件的作用 5uzpTNAMM1 □ 分束、整形和扩散的实质 Xz"
JY □ 衍射光学元件的特征尺寸 ?nY/, q& □ 衍射光学元件优化设计方法 $:P[v+Uy 4.IFTA简介 ypxC1E □ 基本设计步骤 ^,>}%1\ □ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 ,d5ia4\K □ 参数估算——周期和线宽的估算 bnIf}ut-G □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 >[hrJn[ □ 配置设计过程的优化评价函数 oUCVd}wH 5.衍射元件设计案例 } cRi
A □ 衍射分束器参数选择 UX?X]ZYVR □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 1/!nV □ 衍射整形器参数选择 lf}?!*V`+ □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 POkXd^pI □ 衍射扩散器参数选择 /oB K&r[( □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 f7K8m| 6.光栅模拟分析 \A~4\um □ 构建stack ;wfH^2HxE) □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 N{|[R
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 Ogn,1nm% □ 2D光栅表面镀膜分析 S".owe$\ )_WH#-} □ 3D表面具有减反结构的光栅分析 Sv~PXi^`H □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 [@jp9D
H 7.光栅概述 Z5 w`-# □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 RiwEuY □ 标量衍射和傅里叶变换 m21QN9(i% □ 矢量衍射和傅里叶模态法 F@oT7NB/n □ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 f45x%tha % 8.微纳光学元件制作 j@s=ER □ 多阶器件加工 !N@Yh"c □ 连续器件加工 ^a: Saq-} □ 传统套刻法 @fUX)zm> □ 激光直写法 }Z<D^Z~w □ 纳米光子器件制作概述 T
"ZQPLg □ 衍射光学元件公差分析 \nn56o@eN 9.答疑 "87O4
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