| infotek |
2023-10-11 08:07 |
用于光学检测的斐索干涉仪
摘要 }R{ ts
Sn|BlX rey
[attachment=120983] \RG8{G,
5;YMqUkw
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 2%_vXo=I
o6uJyCO
建模任务 Vc Xq?f>\
:s7m4!EF
[attachment=120984] :0Rx# %u}#
6 |PrX
L&
观测倾斜平面 xjKR R?
fR(d
[attachment=120985] tg<EY!WY
N(F p0
观测柱面 T[g[&K1Y
=ACVE;L?
[attachment=120986] v]B 3m
A\ HxDIU
观测球面 F9,DrB,B{
&B6E p6QS
[attachment=120987] ~Vr. J}]J
sTn< #l 6
走进VirtualLab Fusion xHD=\,{ig
}&w Ur>=
[attachment=120988] % H]ptH5
8Dj c
c
z
VirtualLab Fusion的工作流程 n[lJLm^(_C
设置输入场 R#%(5-Zu#R
- 基本光源模型 [教学视频] 7/I, HxXp!
使用表面构造真实元件 w k 5s)%V
Brf5d T49
定义元件的位置和方向 ~a ]+#D
- LPD II：位置和方向 [教学视频] RBs-_o+ %
为非序列场追迹设置合适的通道 /`wvx KX
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] % C| n9*
_V7s#_p
[attachment=120989] j +$rj
X-K=!pET
VirtualLab Fusion技术 DtXrWS/
|)(VsVG&
[attachment=120990]
|
|