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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
[attachment=120796] l&VjUPz_ 内容简介 plu$h-$d Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 SjjIr ^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3($"q]Y 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 dUgrKDNyA G'zF)0oD
讯技科技股份有限公司 UmnE@H"t$\
2015年9月3日 ;?}l 目录 2-zT$`[]J Preface 1 5 )2:stT73 内容简介 2 =ItkFjhBc 目录 i ._wkj 1 引言 1 t&5%?QyM 2 光学薄膜基础 2 B()/.w?A 2.1 一般规则 2 =z?%;4'| 2.2 正交入射规则 3 OX%MP!#KU 2.3 斜入射规则 6 DcMJ^=r8O: 2.4 精确计算 7 kpbm4t 2.5 相干性 8 3Y)PU= 2.6 参考文献 10 .*$OQA 3 Essential Macleod的快速预览 10 =Cv/Y%DN 4 Essential Macleod的特点 32 ri C[lB 4.1 容量和局限性 33 ;U:
{/ 4.2 程序在哪里? 33 4ww]9J 4.3 数据文件 35 0w'j+ 4.4 设计规则 35 q'oMAM f} 4.5 材料数据库和资料库 37 V Km!Ri$ 4.5.1材料损失 38 /!}'t 4.5.1材料数据库和导入材料 39 j`
E +qk 4.5.2 材料库 41 .0 u/|Yx 4.5.3导出材料数据 43 E@a3~a 4.6 常用单位 43 P3
c\S[F 4.7 插值和外推法 46 wdzOFDA 4.8 材料数据的平滑 50 '^%~JyU 4.9 更多光学常数模型 54 NVIK>cT6 4.10 文档的一般编辑规则 55 wiOgyMdx 4.11 撤销和重做 56 Xd:7"/:r 4.12 设计文档 57 UgB'[@McS 4.10.1 公式 58 C=uZ1xg*, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 1tCQpf 4.10.3 沉积密度 59 0Iud$Lu 4.10.4 平行和楔形介质 60 m`4R]L] 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jNwjK0? 4.10.4 性能 61 d1!i(MaV! 4.10.5 保存设计和性能 64 #tt?!\8C 4.10.6 默认设计 64 H?}[r)|(3i 4.11 图表 64 k^$+n_ 4.11.1 合并曲线图 67 uUE9g 4.11.2 自适应绘制 68 FZd.L6q 4.11.3 动态绘图 68 $(s\{(Wn 4.11.4 3D绘图 69 sDgXU@ 4.12 导入和导出 73 d;Hn#2C 4.12.1 剪贴板 73 :ztr) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :"6q,W 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 rQ4*k'lA: 4.13 背景 77 sUl6hX4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %CZ-r"A 4.15 生成Rugate 84 lX:|iB 4.16 参考文献 91 Bhqft;Nuh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 s57N) 0kP 5.1 Jobs 92 H@X oqgI 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jk\ dG16 5.3 输入材料 94 M-NV_W&M 5.4 设计数据文件夹 95 71#I5*8 5.5 默认设计 95 -71dN0hWh 6 细化和合成 97 d#:3be{|&q 6.1 优化介绍 97 _FbC{yI8; 6.2 细化 (Refinement) 98 4@ILw 6.3 合成 (Synthesis) 100 _2fkb=2@ 6.4 目标和评价函数 101 &m3.h!dq 6.4.1 目标输入 102 kH*P n' 6.4.2 目标 103 1ju#9i`.Wg 6.4.3 特殊的评价函数 104 })vOaYT|- 6.5 层锁定和连接 104 /)N@M 6.6 细化技术 104 aI
zv 6.6.1 单纯形 105 p6EDQwlf 6.6.1.1 单纯形参数 106 d
"BW/%m|g 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^\ ?O4,L 6.6.2.1 Optimac参数 108 B bhfG64 6.6.3 模拟退火算法 109 a\kb^D=T 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Nd:R"
p*8 6.6.4 共轭梯度 111 ->-*]-fv[L 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 R7oj# 6.6.5 拟牛顿法 112 "_L?2ta 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 50jOA#l[ 6.6.6 针合成 113 P7r'ffA 6.6.6.1 针合成参数 114 hlvt$Jwq 6.6.7 差分进化 114 qv
3^5d 6.6.8非局部细化 115 @e~]t}fH 6.6.8.1非局部细化参数 115 :/YO ni1h 6.7 我应该使用哪种技术? 116 MFJE6ei 6.7.1 细化 116 f<i7@% 6.7.2 合成 117 N5|Rmfo1 6.8 参考文献 117 k1z$e*u&r 7 导纳图及其他工具 118 1`f_P$&Z_J 7.1 简介 118 ;y?);!g 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 B UUf;Vv 7.2.1 四分之一波长规则 119 VeiElU3 7.2.2 导纳图 120 WV;=@v 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [{[N( g&d 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7k{2Upg; 7.5 斜入射导纳图 141 iWX c 7.6 对称周期 141 (lA.3 4.p 7.7 参考文献 142 <dA8
'7^ 8 典型的镀膜实例 143 k>4qkigjc 8.1 单层抗反射薄膜 145 <Pqv;WI|R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u'Q?T7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~KjJ\b)R 8.4 W-膜层 148 78#!Q.## 8.5 V-膜层 149 c"YXxAJ 8.6 V-膜层高折射基底 150 PL0`d`TI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {B$2"q/~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
R)Q4 8.9 四层抗反射薄膜 153 V|Tud 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +%J\y^09kr 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 XR# ;{p+b 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 KHiFJ_3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 xc
1A$EY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Q.-*7h8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 l1_X(Z._V 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 qcB){p+UQ 8.17 1/4波长堆栈 162 &!.HuRiuC 8.18 陷波滤波器 163 r >{G`de4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U SOKDDm 8.20 褶皱 165 S[M4ukYK 8.21 消偏振分光器1 169 ";3*?/uM 8.22 消偏振分光器2 171 BWPP5X9 8.23 消偏振立体分光器 172 Hy;Hs# 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?v]-^X=& 8.25 立体偏振分束器1 174 Pd=,$UQp 8.26 立方偏振分束器2 177 ,#u\l>&$ 8.27 相位延迟器 178 q?{}3 dPC 8.28 红外截止器 179 %(m]) 8.29 21层长波带通滤波器 180 O_@2;iD^^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 0O@_cW 8.31 55层短波带通滤波器 182 X'sEE 8.32 47 红外截止器 183 d{+(Lpj^ 8.33 宽带通滤波器 184
I8m:3fL" 8.34 诱导透射滤波器 186 ~GB=Nz 8.35 诱导透射滤波器2 188 {gF0Xm% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 sLh0&R7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Dk)}|GJ()" 8.35 增益平坦滤波器 193 G"s0GpvQ 8.38 啁啾反射镜 1 196 tn<6:@T
8.39 啁啾反射镜2 198 :Z`4j 8.40 啁啾反射镜3 199 oN2=DYC41 8.41 带保护层的铝膜层 200 AY2:[ 5cm 8.42 增加铝反射率膜 201 ,TC~~EWq 8.43 参考文献 202 ?qHF}k| 9 多层膜 204 97~K!'/^+y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 kl7A^0Qrz 9.2 内部透过率 204 WO</Q6+ 9.3 内部透射率数据 205 - V) R< 9.4 实例 206 83;IyvbL 9.5 实例2 210 s"#]L44N 9.6 圆锥和带宽计算 212 d+2daKi 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9BON.` |_ 10 光学薄膜的颜色 216 cy3ww}) 10.1 导言 216 CmC0k-%w 10.2 色彩 216 sOC&Q&eg 10.3 主波长和纯度 220 Cw1(5 10.4 色相和纯度 221 $C_M&O} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ?C;JJ#Ho 10.6 色差 226 qc8Ta" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >]$aoA# 10.8 颜色渲染指数 234 |HbEk[?^s 10.9 色差计算 235 ey1Z/| 10.10 参考文献 236 Z!\@%`0$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }=GM?,7b 11.1 短脉冲 238 v[#)GB
_5 11.2 群速度 239 iBbbr, 11.3 群速度色散 241 cH"@d^"+q| 11.4 啁啾(chirped) 245 C ?7X"~~ 11.5 光学薄膜—相变 245 R{3CW^1 11.6 群延迟和延迟色散 246 =HE
m) 11.7 色度色散 246 gg]~2f 11.8 色散补偿 249 X%4h(7;v 11.9 空间光线偏移 256 <MZi<Z` 11.10 参考文献 258 b7$}JCn 12 公差与误差 260 0'yyfz 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~mH+DV3
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 J+2R&3;_O 12.2.1 误差工具 267 Pz473d 12.2.2 灵敏度工具 271 0n5UKtB 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -V=arm\#z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 k&GHu0z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 TETsg5# 12.3 参考文献 276 Q4%IxR? 13 Runsheet 与Simulator 277 ?0J0Ij, 13.1 原理介绍 277 zqGYOm$r 13.2 截止滤光片设计 277 f5?hnt`m 14 光学常数提取 289 L>nO:`>h 14.1 介绍 289 X<xqT 14.2 电介质薄膜 289 *Mi6 14.3 n 和k 的提取工具 295 )BLmoJOf 14.4 基底的参数提取 302 eTZ`q_LfI1 14.5 金属的参数提取 306 q<XcOc5 14.6 不正确的模型 306 w-:
D 14.7 参考文献 311 oQvFrSz 15 反演工程 313 4A~)b"j5 15.1 随机性和系统性 313 6y@<?08Q 15.2 常见的系统性问题 314 FOp_[rR
15.3 单层膜 314 "jGe^+9uT 15.4 多层膜 314 s1=u{ET 15.5 含义 319 7SHo%bA 15.6 反演工程实例 319 ngqUH 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~7BX@? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ayH>XwY6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 h544dNo& 16.1 光学性质的热致偏移 329 >@Khm"/T 16.2 应力工具 335 yS"0/Rm} 16.3 均匀性误差 339 mh8nlB 16.3.1 圆锥工具 339 KgU[ 16.3.2 波前问题 341 `q1}6U/k 16.4 参考文献 343 [NR1d-Wg 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 N[{]iQ 17.1 引言 345 Kz^ hQd 17.2 操作数 345 Vx(;|/: 18 如何在Function中编写脚本 351 JOHp?3 "4 18.1 简介 351 "GB UQ} 18.2 什么是脚本? 351 |ZuDX87 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 8 )`5P\ 18.4 基础 352 F\P!NSFZV 18.4.1 Classes(类别) 352 {q2<KRU2+# 18.4.2 对象 352 Sl~C0eO 18.4.3 信息(Messages) 352 [r~~=b7*[ 18.4.4 属性 352 GD/nR4$ 18.4.5 方法 353 sp,(&Y]US 18.4.6 变量声明 353 %w%zv2d 18.5 创建对象 354 Es,0'\m& 18.5.1 创建对象函数 355 Xa\]ua_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Cj=J;^vf 18.5.3 丢弃对象 356 "lb\c 18.5.4 总结 356 vev8l\ 18.6 脚本中的表格 357 w5=EtKTi 18.6.1 方法1 357 KKMWD\ 18.6.2 方法2 357 rr6"Y&v 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;WPI+`- 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^:$j:w?j 18.9 注释 360 n7'<3t 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $o::PDQ? 18.11 一个更高级的脚本 362 ,P1G?,y 18.12 <esc>键 364 -hm9sNox 18.13 包含文件 365 !-@SS> 18.14 脚本被优化调用 366 @~Rk^/0 18.15 脚本中的对话框 368 /XC;.dLA# 18.15.1 介绍 368 ,7/\&X<`B 18.15.2 消息框-MsgBox 368 <C2c"=b 18.15.3 输入框函数 370 5"]aZMua 18.15.4 自定义对话框 371 |HT)/UZ| 18.15.5 对话框编辑器 371 @V*au: 18.15.6 控制对话框 377 sV;qpDXX 18.15.7 更高级的对话框 380 aw;{<?* 18.16 Types语句 384 <kk'v'GW@ 18.17 打开文件 385 .|tQ=l@I 18.18 Bags 387 ZlUFJ*pk 18.13 进一步研究 388 ">0 /8] l 19 vStack 389 g!z8oPT 19.1 vStack基本原理 389 FxMMxY,*% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 SlM>";C\ 19.3 五棱镜 393 )E_!rR 19.4 光束距离 396 qrOB_Nz 19.5 误差 399 *YMXiYJR 19.6 二向分色棱镜 399 &7JEb]1C 19.7 偏振泄漏 404 an #jZ[ 19.8 波前误差—相位 405 p PU 2ar 19.9 其它计算参数 405 30:HRF(: 20 报表生成器 406 yRSy(/L^+ 20.1 入门 406 (p}9^Y 20.2 指令(Instructions) 406 (gv=P>: 20.3 页面布局指令 406 4d,qXSKty 20.4 常见的参数图和三维图 407 75' Ua$ 20.5 表格中的常见参数 408 N2 M?5fF 20.6 迭代指令 408 pvK \fSr 20.7 报表模版 408 7 B4w.P,B 20.8 开始设计一个报表模版 409 pU[a[ 21 一个新的project 413 kjQIagw 21.1 创建一个新Job 414 <5C=i:6% 21.2 默认设计 415 * <Nk%` 21.3 薄膜设计 416 jTGS6{E 21.4 误差的灵敏度计算 420 w`w `q' 21.5 显色指数计算 422 >:(6{}b 21.6 电场分布 424 3g4vpKg6c 后记 426 $L $j
KNwf i|::vl 有兴趣可以扫码加微咨询 >&4I.nA /i\uwa, [attachment=120780]
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