集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

1. 摘要

在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。

2. 建模任务

采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -U`]/
82O#Fe q

4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) xPl+ rsU
7j8nDX<

5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -]C3_ve
]2`PS<a2

6. 3D仿真与结果对比 F@~zVu3'
38ChS.(

7. 走进VirtualLab Fusion r+r-[z D(
n&DRh.@

8. VirtualLab Fusion的工作流程

 构造光栅结构
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例]
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]
 计算光栅结构内部的场分布

9. VirtualLab Fusion技术

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