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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
RoG
`U 内容简介 Gs2|#*6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 uh][qMyLM 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &at^~o 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (.:!_OB0N '`/Qr~]
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
OMi_')J 目录 tML[~AZh Preface 1 2]$
7 内容简介 2 Jj_ t0" 目录 i fG+/p 0sJ? 1 引言 1 x8#bd{ 2 光学薄膜基础 2 ?8g*"&cn 2.1 一般规则 2 P|>pm]>C
2.2 正交入射规则 3 DRo?7_ 2.3 斜入射规则 6 cVx#dDdA 2.4 精确计算 7 7_HJ|QB 2.5 相干性 8 !,}F2z?4c 2.6 参考文献 10 s$V'|Pt 3 Essential Macleod的快速预览 10 LSR{N|h+) 4 Essential Macleod的特点 32 IfK%i/J 4.1 容量和局限性 33 d3$*z)12` 4.2 程序在哪里? 33 l"I
G;qO. 4.3 数据文件 35 }.nHT0l 4.4 设计规则 35 )}
I>"n 4.5 材料数据库和资料库 37 Gk!06 4.5.1材料损失 38 o@&Hc bN^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 BrWo/1b 4.5.2 材料库 41 @Kx@ 2#~b 4.5.3导出材料数据 43 ~^&]8~m*d 4.6 常用单位 43 O}Ipg[h 4.7 插值和外推法 46 cv .R`)l 4.8 材料数据的平滑 50 +@U}gk;#c 4.9 更多光学常数模型 54 B4hT(;k 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^
#6Ei9di 4.11 撤销和重做 56 2|LgUA?< 4.12 设计文档 57 hSg4A=y 4.10.1 公式 58 z'FpP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 aBBTcN%' 4.10.3 沉积密度 59 Rxg^vM* 4.10.4 平行和楔形介质 60 Uz;z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 bJ~@
k,' 4.10.4 性能 61 SuO@LroxTB 4.10.5 保存设计和性能 64 3gUGfedi 4.10.6 默认设计 64 9S.J%*F7 4.11 图表 64 ]r|nz~Aa$ 4.11.1 合并曲线图 67 /nbHin#we 4.11.2 自适应绘制 68 wM]j# 4.11.3 动态绘图 68 ^}F @*A;o 4.11.4 3D绘图 69 6lp.0B 4.12 导入和导出 73 D2060ze 4.12.1 剪贴板 73 >~nc7j
u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 2feiD?0 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X\Y:9^5 4.13 背景 77 )L,.KO 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [m}58?0~x 4.15 生成Rugate 84 %, U@ D4w 4.16 参考文献 91 Tlz $LI 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Y&G]M 5.1 Jobs 92 F$|Ec9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 -naj.omG| 5.3 输入材料 94 \Y>!vh X 5.4 设计数据文件夹 95 [K*>W[n 5.5 默认设计 95 w2o%{n\L 6 细化和合成 97 e=8z,.Xk 6.1 优化介绍 97 2[O\"a% 6.2 细化 (Refinement) 98 j06Xz\c 6.3 合成 (Synthesis) 100 _ ?\4k{ET 6.4 目标和评价函数 101 fsA-}Qc 6.4.1 目标输入 102 XOdkfmc+s' 6.4.2 目标 103 c`F~vrr)X 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^Hdru]A$2 6.5 层锁定和连接 104 +Kw&XRAd 6.6 细化技术 104 Hq>"rrVhx 6.6.1 单纯形 105 )\!-n]+A 6.6.1.1 单纯形参数 106 y[pU8QSt 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 S7I8BS[*v 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]]InD N 6.6.3 模拟退火算法 109 Ot^<:\<`G 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4X()D {uR 6.6.4 共轭梯度 111 , :10 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0cpI2 6.6.5 拟牛顿法 112 m^9[k,;K 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "G(^v?x:P 6.6.6 针合成 113 `:4\RcTb/ 6.6.6.1 针合成参数 114 M_ GN3 6.6.7 差分进化 114 2E*k@ 6.6.8非局部细化 115 m9&MTRD\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 Dd=iYMm7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 `H^?jX>7 6.7.1 细化 116 kY$vPHZpN 6.7.2 合成 117 q%RPAe 6.8 参考文献 117 0Xke26ga 7 导纳图及其他工具 118 U,Duq^l~s 7.1 简介 118 f<Co&^A 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +RuPfw{z 7.2.1 四分之一波长规则 119 G T3wJQ5N 7.2.2 导纳图 120 ~<)CI0= 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Gx$rk<;ZW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 UImd*;2TE 7.5 斜入射导纳图 141 \0^ZNa? 7.6 对称周期 141 LHS^[}x^1 7.7 参考文献 142 <f')] 8 典型的镀膜实例 143 5W(S~} 8.1 单层抗反射薄膜 145 WN_i-A1G/h 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _i-(`5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 PN +<C7/ 8.4 W-膜层 148 /=|5YxY 8.5 V-膜层 149 _kJ?mTk 8.6 V-膜层高折射基底 150 qXb{A*J 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 }'FNGn.~# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m V U(b, 8.9 四层抗反射薄膜 153 B F,rZZL 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +(*;F4> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =N+Ou5D 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 o
C5}[cYD` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \k8| 3Y~g 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ga%x(1U[& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |PI]v`[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +mr\AAFn 8.17 1/4波长堆栈 162 syseYt] 8.18 陷波滤波器 163 `!K!+`Z9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 n1Y3b~E?E 8.20 褶皱 165 T\Zq/Z\ 8.21 消偏振分光器1 169 yD0,q%B`} 8.22 消偏振分光器2 171 S!u`V3-s 8.23 消偏振立体分光器 172 cITF=Ez 8.24 消偏振截止滤光片 173 yXpU)|o 8.25 立体偏振分束器1 174 W/U_:^[- 8.26 立方偏振分束器2 177 bhIyq4N 8.27 相位延迟器 178 wl*"Vagb 8.28 红外截止器 179 o`!7~n 8.29 21层长波带通滤波器 180 <MPoDf?h 8.30 49层长波带通滤波器 181 vE9M2[TJA 8.31 55层短波带通滤波器 182 .hD2g" 8.32 47 红外截止器 183 icX$<lD 8.33 宽带通滤波器 184 <IX)D `mf 8.34 诱导透射滤波器 186 %?4G^f 8.35 诱导透射滤波器2 188 azUEp8`| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 G?y'<+Awt 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 zeXMi:X 8.35 增益平坦滤波器 193 Hko(@z 8.38 啁啾反射镜 1 196 >/kwy2 8.39 啁啾反射镜2 198 ice7J2r_ 8.40 啁啾反射镜3 199 Xgy)Z:R 8.41 带保护层的铝膜层 200 V<#E!MG 8.42 增加铝反射率膜 201 T@GR Tg 8.43 参考文献 202 qlUw;{;p 9 多层膜 204 R/yOy^< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )<6zbG 9.2 内部透过率 204 owA0I'|V-A 9.3 内部透射率数据 205 ~vCfMV[F 9.4 实例 206 +Rtz`V1d 9.5 实例2 210 cI5*`LML1 9.6 圆锥和带宽计算 212 j'?^<4i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 yxECK&&P0# 10 光学薄膜的颜色 216 +3c!.] o; 10.1 导言 216 !`BK%m\8 10.2 色彩 216 ^GXy:S$ 10.3 主波长和纯度 220 a=55bEn 10.4 色相和纯度 221 u%^Lu.l_c 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 J.`z;0]op 10.6 色差 226 jU#/yM"Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F4m Q#YlrS 10.8 颜色渲染指数 234 fs]9H K/@\ 10.9 色差计算 235 JJvf!] 10.10 参考文献 236 sFEkxZi< 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 cI)XXb4 11.1 短脉冲 238 g5EdW=Dt, 11.2 群速度 239 XsldbN^6 11.3 群速度色散 241 n0X_m@ 11.4 啁啾(chirped) 245 xHml"Y1 11.5 光学薄膜—相变 245 ~YIGOL"? 11.6 群延迟和延迟色散 246 N.J;/!%! 11.7 色度色散 246 @17hB h 11.8 色散补偿 249 C?n3J 11.9 空间光线偏移 256 CqXD z 11.10 参考文献 258 iL-I#"qT, 12 公差与误差 260 23/!k}G" 12.1 蒙特卡罗模型 260 (%fl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K8dlECy 12.2.1 误差工具 267
TA47lz q 12.2.2 灵敏度工具 271 ]Q\Ogfjp 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4>4*4!KR} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 7Q<uk[d0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lN,8(n?g 12.3 参考文献 276 q8:Z.<%8 13 Runsheet 与Simulator 277 K_V44f1f 13.1 原理介绍 277 PmtBu`OkV 13.2 截止滤光片设计 277 vqLC?{i+ 14 光学常数提取 289 <v?9:} 14.1 介绍 289 `Z{kJMS 14.2 电介质薄膜 289 bQ-5uFe~$B 14.3 n 和k 的提取工具 295 5Wj+ey^^w 14.4 基底的参数提取 302 $+IE`(Ckf 14.5 金属的参数提取 306 ]E66' 14.6 不正确的模型 306 j+3~ 14.7 参考文献 311 Sti)YCXH 15 反演工程 313 Q6y883>9 15.1 随机性和系统性 313 PXGS5, 15.2 常见的系统性问题 314 S;$@?vF 15.3 单层膜 314 &*
4uji 15.4 多层膜 314 NF1e>O:a< 15.5 含义 319 lz!F{mR 15.6 反演工程实例 319 [y
y D- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 TB] %?L: 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Xj^6ZJc 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 L<>;E 16.1 光学性质的热致偏移 329 #&.&Uu$ 16.2 应力工具 335 M}4%LjD 16.3 均匀性误差 339 j380=?7 16.3.1 圆锥工具 339 a z
7Vy- 16.3.2 波前问题 341 f>JuxX\G 16.4 参考文献 343 dtQ>4C"N 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |U?5%
L 17.1 引言 345 b=a&!r5M 17.2 操作数 345 m?-3j65z 18 如何在Function中编写脚本 351 KQ3]'2q 18.1 简介 351 c,KT1me 18.2 什么是脚本? 351 >Dpz0v 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 cA"',N8!5 18.4 基础 352 W|@EK E.k 18.4.1 Classes(类别) 352 4-[L^1%S[ 18.4.2 对象 352 ;$@7iL 18.4.3 信息(Messages) 352 QP|Ou*Qm) 18.4.4 属性 352 wKhuUZj{ 18.4.5 方法 353 OiX>^_iDt 18.4.6 变量声明 353 #Nxk3He]8 18.5 创建对象 354 )W'l^R4W 18.5.1 创建对象函数 355
S\GC^
FK 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5O&6 (Gaf 18.5.3 丢弃对象 356 *L8Pj`zR 18.5.4 总结 356 y3$i?}?A 18.6 脚本中的表格 357 d$s1l 18.6.1 方法1 357 k,M%/AXd 18.6.2 方法2 357 Pze$QBNoRd 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~#iRh6^98 18.8 3D Plots in Scripts 359 w!)B\l^+c 18.9 注释 360 Y((s<]7 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Zo`'xg 18.11 一个更高级的脚本 362 i]*Wt8~! 18.12 <esc>键 364 @(PYeXdV6& 18.13 包含文件 365 AwB ]0H 18.14 脚本被优化调用 366 } ab@Nd$ 18.15 脚本中的对话框 368 S pDVD 18.15.1 介绍 368 nnIBN4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 au2ieZZ[ 18.15.3 输入框函数 370 R-J\c+C>W 18.15.4 自定义对话框 371 A!s\; C 18.15.5 对话框编辑器 371 =)m2u2c M 18.15.6 控制对话框 377 d8Jy$,/`? 18.15.7 更高级的对话框 380 fi+u!Y*3Z 18.16 Types语句 384 6
k+FTDL 18.17 打开文件 385 ?"PUw3V3lB 18.18 Bags 387
wly#| 18.13 进一步研究 388 O^hWG ~o 19 vStack 389 B2VC:TG> 19.1 vStack基本原理 389 5+b[-Daz 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 i;c0X+[ 19.3 五棱镜 393 -WwFUm 19.4 光束距离 396 OwV>`BIwns 19.5 误差 399 =C8 t5BZ" 19.6 二向分色棱镜 399 vmL%%7 19.7 偏振泄漏 404 >|!F.W 19.8 波前误差—相位 405 KgX~PP> 19.9 其它计算参数 405 0Psp/H% 20 报表生成器 406 ji<b#YO4 20.1 入门 406 8I04Nx
20.2 指令(Instructions) 406 BFt?%E/] 20.3 页面布局指令 406 p!>FPS 20.4 常见的参数图和三维图 407 V0z.w:- 20.5 表格中的常见参数 408 !HL7a]PB 20.6 迭代指令 408 ;rJR+wpNa 20.7 报表模版 408 fLL_{o0T 20.8 开始设计一个报表模版 409 \%=\_"^? 21 一个新的project 413 MPA<? 21.1 创建一个新Job 414 Ek(.
[" 21.2 默认设计 415 _KC)f'Cx 21.3 薄膜设计 416 z$oA6qB) 21.4 误差的灵敏度计算 420 r9 'lFj 21.5 显色指数计算 422 %)8`(9J* 21.6 电场分布 424 d*Dq=.F( 后记 426 7kO5hlKeo
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