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2023-06-08 08:37 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 >Y44{D\` Id; mn}+~ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 nvw NjN E\W;:p,{A 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ,80jMs |P^ikx6f5 所需工具箱子:光栅工具箱 [<,0A]m
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tyhj 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 @fUX)zm> }Z<D^Z~w 建模任务 T
"ZQPLg \nn56o@eN 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 A632 :V ,%&
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J2*;XG 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 O(b"F?
w *)2x&~T*| yOn H&Jj 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 bL6L-S `\4 RFr$ :5q^\xmmq 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ";%e~
= >^2ZM ^d5gz0d 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 $sB48LJuU' &6=TtTp"9 qJe&jLZa 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 11^ {WF ljaAB+
*rujdQf X线偏振光模拟结果: 5x93+DkO\ [M,27 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 eHfG;NsV/ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *+4>iL*: d|D'&&&c 8=!rnJCav Y线偏光模拟结果 98"z0nI% w>1l@%Uo ==r? 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 dT*f-W 结论: js%4;
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 |1\dCE03}
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