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2023-05-31 10:56 |
Zemax & Lumerical | 二维光栅出瞳扩展系统优化(下)
简介 K+ZJSfO6 '3TwrY?- 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 4QC"|<9R x)N$.7'9OJ 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 _0N=~`' Q97F5ru6 本篇文章分为上下两个部分(点此查看上部分) ,下将详细描述“第3步:优化设置的内容”。(联系我们获取文章附件) ;\ ^'}S|3Z s~
||Vv! 概述 @ol=gBU 1/X@~ 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 =r"-Pm{ .B?6 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 8,B?!%FP ?QxI2J [attachment=118188] YXz*B5R yMaU`z 图1 Lumerical通 过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 Le;;Yd}f )[fjZG[ 如图2所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 ;;e\"%}@=q <7'`N\a [attachment=118189] ~puXZCatN qTSyy= 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 `_%UK=m
ha[c<e]uo[ 第3步:优化设置(optiSLang) -#<6 KaVNRS 3-2.参数系统 # &zM.O1Q 准备好 Python 代码后,我们就可以开始在 optiSLang 中进行优化了。第一步是在 optiSLang 中打开一个空文件,拖动求解器向导,放入 scenery 中,然后选择 Python 集成。 YnM&t
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