LED光和镭射激光的均匀化和整形

("o<D{A   yd5r]6ej   均匀化的概念 punc'~   AS`0.RC-   VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： F6Zl#eL   • 微透镜阵列 :6PWU$z$7   • 衍射扩散器 y!GjC]/   • 计算机生成的全息图 z.oDH<1   • 相位板 )zI<C=])"   • 单元阵列 IJO`"da   红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 s0v?*GRX   +SkD/"5ng   光学仿真和设计包括: Sj(uc#   • 衍射 )ruC_)   • 干涉 qrO]t\   • 空间和时间相干度 c3&F\3   • 像差 ja70w:ja   • 偏振 "Q '#V!   • 光强 u].=b$wHHM   #*#4vMk<   应用 6%C:k,Cx{d   D<5)i)J"   用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： g}|a-   • 信息显示 ui`xgR\6Rh   • 测量系统  5.F.mUO   • 室内照明 Qbfm*JP~   • 汽车 au}rS0)+   • 军事 Q[scmP^$^   • 光刻 Tz+2g&+   用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 \bqNjlu   |M`B   优点Benefits Yi&;4vC   TbU\qcm]]   微光学元件的照明系统有以下几大优点： REB8_H"   • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. \`jFy[(Pa'   • 产生任意的二维图案. lZV]Z3=p'0   • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. #B"ki{Se*   • 非常紧凑的照明系统. yEtI5Qk   包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 m7z/@b[   ,W5pe#n

Crh5^?   微透镜阵列 F*>:~'%   26>e0hBh&   微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： JM -Tp!C>   • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 7!hL(k[   • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. -aLBj?N c[   • 可以产生一般的二维图案. M:6H%6eT   • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. %>Z=#1h/a   衍射扩散器 q`E6hm   ?*K;+@EH   衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： B@e,3:   • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. c%>t(ce`Tl   • 生成任意的二维图案. lg&"=VXx51   • 仅用于单色LED或准分子激光. FoWE<   4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 \K`AO{ D@   单元阵列 LPb43    /8Bh   光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： JxiLjvIq   • 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上.  UB&ofO   • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. bPC {4l   • 产生任意的二维图案. (k6=o';y   • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像