结构设计和导出加工数据

~;t/VsgGW   内容简介： L_M(Lj   y3P4]sq   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； w,0OO f   #TB 3|=   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。  7b8y   B& 5Md.h   结构设计 MaF4lFmS   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 E[FE-{B#   R\x3'([A5   on1B~?*D   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 &WS'Me   vu:] [2"0        0E@ *&Ru   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 >^ E*7Bf p   Z ?F_({im   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ghTue*A   K :>O X   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 '{)Jhl47    g#G ]}8C   &@w0c>Y   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 s'BlFB n   k/)h@K8@   tCv}+7)   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 hzA+,   RP k'1nD   Xwd9 -:   YhP+{Y8t   导出加工数据 .d?LR f   r$Oa   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) OMBH[_   !&5*H06   >.uIp4@(   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 hV fANbs   hUEA)c   dq0!.gBT2   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Ml'lZ)          F!- %v5.y   Z,V<&9a;   Zh`[A9I/   ,E"n7*6mr   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 -&lD0p>*g   s&XL{FE   W>'(MB$3   lAkg47i   5) 进入光学界面数据导出窗口 /<Z3x _c   [$#G|>x   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Lb{.}   NCgKWyRR   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 $oPc,zS-gL   RYdI$&]   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 2Ux mKp[   P( a}OlG   as@? Kv   导出加工数据列表 by\Sq}   FrE#l.)?!   Mh{>#Gs   X8wtdd]64   导入加工数据 `$q 0fTz   tq51;L   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI [X*u`J   $VF$Ok>   kdaq_O:s   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) qd<I;*WV   RE1M4UV.   *, ~L_)vWO   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) WpRM|"CF   (6b0rqPF   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 }7_$[r'_oI   Xg;;< /Z   ^x_$%8   M+b?qw   CyXaHO   h\Q@zR*0a   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 S)/548=`   WBb*2   qh6rMqq   6) 导入完成，观察3D视图 hDQk z qW   ZB}A^X   JpxQS~VX

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