结构设计和导出加工数据

0_Y;r{3m"   内容简介： sB"]R%`_   [PU.lRq   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 9:esj{X    k/t4   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ZBnf?fU   CE+\|5u W   结构设计 dFS+O;zE\   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 K3@UoR   Aimgfxag   ?^6RFbke+   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 1 8&^k|   T0Gu(c`1d        yX)2 hj:s   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 a(<nk5   irL ehPX9   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 IYrO;GQ   O!|: ZMjF   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {j(,Q qB;f   k!!o!rBS   E>7[ti_p5   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 LUCpZ3F1   muY4:F.C(   b0 5h,   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 }t-{,0   0{jRXa-(   Nlo*vu   `zTVup&   导出加工数据 le1'r>E$   _E?(cWC   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) oinF<-(   ]pFYAe ?   _El=M0   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 qUVV374N   J \G8g,@   Qn6&M   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ni3^J5XW          WJhI6lu   4sG^bZ,   qf'uXH   iJ#sg+   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 +nZx{d,wt   x0 3|L!n   VdYu| w;v   _I75[W!   5) 进入光学界面数据导出窗口 2vK{Yw    2N>:GwN   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 (m@({   SB]|y-su   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 A]W`r}   Pxl7zz&pl=   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 `L0}^|`9   :xv"m {8+   6o {41@v(   导出加工数据列表 $n>.;CV   9.>v ;:vL   )x8Izn   \-c70v63X   导入加工数据 o-49o5:1   #W*5=Cf   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI & [4Gv61   `a   }oloMtp$   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) :+en8^r%   ~-|K5   -2bu`oD `   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) +Z/Pj_.o   D/Bb)]9I   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 >e'6RZRLA   W}XDzR'<   b,~6cDU   He~)i)co   4IIe1 .{   /+iU1m'(   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 XWH~o:0<2   5Z1b9.;.,   wxN'Lv=R   6) 导入完成，观察3D视图 3~%9;.I3!   6f{Kj)   eG=Hyc

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