结构设计和导出加工数据

-x%`Wv@L   内容简介： n\ ',F   >\oJ&gdc   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； i6ypx    c'Tu,-   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 \gzwsT2&   <pl2 dxy   结构设计 w3bH|VnU8;   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 <%#y^_   |e[0Qo@   3;l>x/amk   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 gWv+i/,   \^(vlcy        tD0>(41K   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ?nSp?m;   E+c3KqM   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 &MQt2aL   1o8"== n%   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 UoS;!}l   F#bo4'&>@   DMxS-hl   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 %iS]+Sa.K   Y&!]I84]   2GKU9cV*`   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 #bZ =R   &b6@_C9   xv%USm   dQ|Ht[s=   导出加工数据 *|#JFy?c[   U9[A(   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) |QTqa~~B   3a)Q:#okD   59Q Q_#>   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Y6%OV?}v!   H1j6.i}q   6')SJ*|yS   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 qVe6RpS          z==}~|5   cBF%])!   (Dh;=xG   -LK(C`gB   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 o 4'4Hy   F20-!b   PZg]zz=V4   }ZVv   5) 进入光学界面数据导出窗口 78J.~v/   .:!x*v   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 B:#0B[   L= w Fo^N   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 !3Z|!JY   ]JPPL4wAT   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 I5OH=,y`   zYF&Dv/u/   |=}~>!!   导出加工数据列表 SA n=9MG   |A/_Qe|s2   ZjW| qb   PH%gX`N   导入加工数据 HtYR 0J   n >PM_W   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI JU1; /3(   "(&`muIc   ayz1i:Q|   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) WzbN=& C]h   YgOgYo{E!   PlRs-%d   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) =d.W'q|   @wJa33QT   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 f8jz49C   I>~BkR+u%o   J$*["y`+   L\CM);y   ?'m5)Z{   vUx$[/<   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 -+@~*$ d   '^3pF2lIw   |RXC;zt9s   6) 导入完成，观察3D视图 ]!o,S{a&   @7 HBXP   > BCX%<&

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