结构设计和导出加工数据

Sp8Xka~5*#   内容简介： ~Vq<nkWS   Bwv@D4bii   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； [!9dA.tF   v).V&":   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 -{H;w=9   )vVt{g   结构设计 mNS7/I\   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Pl(+&k`}   .1R:YNx{/   2K?~)q&t*   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 0ant0<   dER#)bGj        ^~~&[wY   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 J!r,ktO^U?   d3Dw[4   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 *PQu9>1w   y+D 3(Bsn   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {.c(Sw}Eo   ^wesuW@=   `;Qw/xl_N   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ?Ne@OMc   +%vBDcf   Us4J[MW<   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 242dT/j   n^<3E; a   zs#s"e:jeR   ie4keVlXc   导出加工数据 Uawf,57v<   fh~"A`d   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) .KiJq:$H   a#H2H`%   vd>K=! J   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 n#@/A   c`: hE Qs   7w}D2|+   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 u{Jv6K,          jtqH3xfy   r(sQI# P   A)9[.fhx   2kg<O%KA`c   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 0Y rdu,c   d&S4`\g? 8   b~F(2[o   scmn-4j'{   5) 进入光学界面数据导出窗口 mmk]Doy?#   dD6I @N)X   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 GdZ_   z{h#l!Edh   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 8`bQ,E+2   f8]Qn8   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Hx;ij?   LxqK@Q<B   <~aQ_l   导出加工数据列表 qk}(E#.>F\   kOfq6[JC   QuuR_Ao?c'   Uh.XL=wY   导入加工数据 5#jna9Xc   om3$=   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI (hywT)#+   rNzsc|a:   {"<6'2T3   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) c&zZsJ"~   @V$,H/v:   cY/!z   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) -fF1vJ7L   5`:+NwXS2   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 0,)Ao8   {0(:7IY,   a }6Fj&hj   }z/;^``   8?qEv,W   %(4G[R[   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 BoZG^   tT7< V{i4   gI^);JrTE   6) 导入完成，观察3D视图 /m,0H)w1   StUiL>9T#   )tQG5.to

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