结构设计和导出加工数据

"6Hjji@A   内容简介： ~BYEeUo;%v   {*=5qV}   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； )>A%F L9   px(1Ppb9   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 bM3'm$34   0,D9\ Ebd   结构设计 /RULPd PH   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 8-g$HXqs_#   *.;}OX^X   7_'k`J@_   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ~zOU/8n ,F   ;uo|4?E:\(        9787uj]Y}H   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 WZO 0u   r'JK$9   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 qP.VK?jF|   BxN#Nk~   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 wCEfR!i   6V_5BpXt   U>M>FZ   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Mud\Q["   '`A67bdq)   P*^UU\x'4I   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 GH)+yD[o   d5W[A#}   F9G$$ %Q-Z   YwTtI ID%   导出加工数据 sVl:EVv   E6IL,Iq9   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ewlc ^`   [zt&8g   A E@Rn(1.   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 <qj@waKw4   E]Gq!fA&<   Fl(ZKpSZU   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 (YH{%8 Z0          a+Qj[pS   z&G3&?Z   nLLHggNAV   rlh6\Fa   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 YO4ppL~xe   KE1@z]   [~H`9Ab=   .\\#~r`t3   5) 进入光学界面数据导出窗口 "+"dALX{3K   L7'X7WYf&   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ,UJPLj^   CZno2$8@e   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 %[F;TZt   ^rb7`s#G   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Z s!q#qM   TgG)btQ   wA+4:CF@   导出加工数据列表 jS)-COk   [9Hm][|Ph   Zl/+HU~   ?O]gFn   导入加工数据 9K_HcLO%y   Xst}tz62F   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ;{u#~d}   e"09b<69   ({62GWnn_   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) }{PtQc6RL!   Xq$0% WjG   E0'6!9y   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) }=R|iz*,!   o{,(`o.1O   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 PltPIu)F   [_GR'x'0x   g)Uh    dTNgrW`4   :njUaMFoMA   :~(^b;yhZ   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 )7TTRL   unB "dE   -Euy5Y   6) 导入完成，观察3D视图 s7gf7E#Y   !T1i_   B9 {DO

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