结构设计和导出加工数据

iTBhLg,   内容简介： + 1%^c(3   [ QL<&:s&   1.在VirtualLab中如何进行结构设计； {CyPcD'$s   cd%g]T)#1   2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 A,CPR0g%   _/w-gL{   结构设计 #,9TJ:~N   1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ;cHI 3V   ^DCv-R+p   ke6cZV5w   2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 EQ`t:jc{   r#w_=h)         eJ\j{-   3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Wa tLAn+   %+W >+xRb   目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 U\GZ   ~ai' M#   光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 B91PlM.   A =#-u&l   &B,& *Lp   光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 TK?+O}v-]!   xi^e =:;`   H 1X]tw.   4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 M@@O50~   g*imswj7   4'b]2Mn3    O;t?@!_   导出加工数据 5VoiDM=\c   w:+#,,rwzV   1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 0\^2HjsJ   &V{,D))6[   RteTz_z{   2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 C2i..iD   ?O Nw*"9   / {~h?P}   3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 !_!b\          wcT6d?*5   *lO+^\HXD   Yk&{VXU<   xhS/X3<th   4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ~riw7"   [ Ulo; #P   A@'W $p?5r   ]zY'w,?D\F   5) 进入光学界面数据导出窗口 3s`3}DKK   }dl(9H=4   在一般(General)标签进行如下图所示的设置 6<nO2GW   0VPa;{i/   在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 v}D!   KIJ[ cIw   在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 .x%SbG<k{   #9Z-Hd<   TD7ONa-,   导出加工数据列表 UkV] F ]   )_?$B6hf,&   :g";p.~=   yqwr0yDAl   导入加工数据 < .!3yy   A?zW! '   1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI eGil`:JY"   (C%'I   p3'+"sFU   2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) T-TH. R   ~T~v*'_h   }o4Cd$,8   3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Sj?'T@   cw\a,>]H   4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 .$iIr:Tc>   *&D=]fG   1F|+4   K~]jXo^M   d}Om?kn   rL=$WxdPU   5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 >. Y~F(   Ou^dI   BlUY9`VWh@   6) 导入完成，观察3D视图 ? &O$ayG77   d:D2[   uOQ5.S+

=%L^!//c

hk I$ow(