用于光学检测的斐索干涉仪

n^%u9H   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 [<`+9R   ' FK"-)s   ie,{C   ;'Q{ ywr   建模任务 d{m 0uX56   z?a DOh   HkN +:   *o#`lH   测试表面 i,HAXPi   KqUFf@W   o&O!Ur   QezK&iJg   非序列追迹 CP'-CQ\Q   hJ@nW5CI   X ,   =3:ltI.'*I   通用探测器和探测器附加组件 s^ a`=kO   *k}d@j,*"   L;  ~=(   :+=*   总结-组件… )?WoLEjq   ;$i'A&)OC   IW#(ICeb   ;:4puv+]   \2`U$3Q   观测下的倾斜平面 jZ;T&s   sm U+:~   upr Qy<I@   $3ILVT   被观测圆柱面 _6' g]4   'FhnSNT(4=   [ZbK)L+_   I}WJ0 }R   被观测球面 +=_Pl7?   Sf8d|R@O

k.ZfjX"

Xwi&uyvU&