用于光学检测的斐索干涉仪

f ;n3&e0eC   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 q_58;Bv   4tBYR9|   kffcm/   kuP(r   建模任务 f-Z/tfC   YaqJ,"GlT   |CyE5i0   ~4'$yWG   测试表面 a:w#s}bL   iH@UTE;   =Xr.'(U   NgPk&niM   非序列追迹 ?Ir:g=RP*   InI$:kJ   \9T7A&   nu%*' .   通用探测器和探测器附加组件 OneY_<*a<   ~t~|"u"P   WpvhTX   &};zvo~P.   总结-组件… +ZP7{%   t?FBG4   K[YyBEid   sW\!hW1*x   |FRg\#kf%   观测下的倾斜平面 p!%pP}I   h<QY5=SF   ~k5W@`"W   C3g_!dUs   被观测圆柱面 )^hbsMhO   t]G:L}AOl   N;%6:I./   [:*)XeRK   被观测球面 !&E-}}<   om>KU$g

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