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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 vX{J' H]u  
                                    
hXfQ)$J  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 o}$XH,-9&  
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建模任务 '= _/1F*q  
CUO+9X-<8  
系统构建块-扫描源                                                
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r#+d&.|  
How to Set Up a Scanning Source NV)!7~r}:  
                                                                               | h`0u'#  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 )hd@S9Z.Y  
]=.\-K  
系统构建块-参数耦合 )'Oh `$M  
   Gn\_+Pj$  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion C+?Hm1  
                                                                              
, `wXg  
系统构建块-失真分析仪 *-+&[P]m  
                                                                      
3 ;)>Fs;  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 CAWA3fcQp  
tkVbo.[8K  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               NS9B[*"Jl  
N8!cO[3Oh  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
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BHd&yIyI  
6Se?sHC>  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: R?v>Q` Qi  
g3Ec"_>P  
Universal Detector /|r^W\DV&x  
                                                                               /d0K7F  
总结-组件 e`@ # *}A  
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~u)}ScTp  
系统观感   x1Lb*3Fe  
$iI]MV%=  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 p%iGc<vHX  
R#xCkl-  
1)9sf0LyU  
性能评估-点位偏差 6S\C}U/   
-d8TD*^  
                              
8j Mk)-  
性能评估-光斑直径测量                                                       K2 he4<  
D Gr> 2  
<!L>Exh&r  
0FGe=$vD  
7bqBk,`9  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ]NjX?XdX<  
`o<' x.I  
VirtualLab Fusion技术 aF)1Nm[  
    
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