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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 qp)Wt6 k?  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 !yVY[  
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建模任务 zd)QCq  
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系统构建块-扫描源                                                
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Xz)qtDN|(  
How to Set Up a Scanning Source }vh4ix  
                                                                               n1b:Bv4"]#  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 A)4XQF  
*Ti"8^`6  
系统构建块-参数耦合 |IV7g*J89  
   f>$RR_  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion %k32:qe  
                                                                              
jI0gf&v8  
系统构建块-失真分析仪 ~".@;Q  
                                                                      
Rzh.zvxTp  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 9P ACXW0  
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虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               {l5fKVb\C  
0M roHFh9`  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
T)OR HJ&,  
+&S6se4  
;Vc|3  
0^dYu /i5  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Z)$@1Q4P?1  
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Universal Detector cV0CI&  
                                                                               )qw;KG0F  
总结-组件 ,OubKcNg  
*Cf!p\7!  
/5/gnp C  
系统观感   1%*\*z  
9]w?mHslE  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 IQ_s]b;z  
Hnk&2bY  
}.&;NgZS  
性能评估-点位偏差 &mmaoWR  
OqDP{X:  
                              
k_,& Q?GtU  
性能评估-光斑直径测量                                                       pc0{  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ~gff{Nzk  
@`C'tfG/4  
VirtualLab Fusion技术 L;$>SLl,  
    
N'9T*&o+  
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