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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 ;E0aTV)Zp  
                                    
C_q@ixF{  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 i{.%4tA4  
(I7s[  
建模任务 BL?Bl&p(  
+PfXc?VU  
系统构建块-扫描源                                                
lf?dTPrD  
0Xx&Z8E  
How to Set Up a Scanning Source 0g&#hW};[6  
                                                                               }k7t#O  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 )*tV  
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系统构建块-参数耦合 d> OLnG> F  
   Okt0b|=`1*  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion FvTc{"w /  
                                                                              
gdKn!; ,w#  
系统构建块-失真分析仪 IA&NMf;{  
                                                                      
=FfxHo1k  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 hCvK2Xu   
l*(Ml= O{  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                                WPnw  
M,V~oc5  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
ZT'VF~  
m?4L>'  
dd&n>A3O=  
? ^l{t4  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Yfotq9.=+  
o:x,zfW  
Universal Detector 'L1=:g.\i  
                                                                               LFHzd@Y7"  
总结-组件 c@&-c[k^W  
y53f73Cg  
Rx\.x? &  
系统观感   l]wjH5mz=i  
n9p_D  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 T)Ohk(jK1  
X_tc\}I]  
5OS|Vp||b  
性能评估-点位偏差 ML9nfB^z!  
4x;vn8 yh  
                              
`Fn6*_n  
性能评估-光斑直径测量                                                       =iZj&B X  
fP :26pK^  
 I0v$3BQ4  
}/cMG/%  
S="teH[  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 =!pfgE  
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VirtualLab Fusion技术 wAn}ic".b  
    
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