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infotek 2023-05-06 08:21

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 0 ChdFf7  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 l>?k>NEpP  
x>MY_?a  
建模任务 (6~~e$j  
1'YksuYx6f  
系统构建块-扫描源                                                
:'K%&e?7s  
9p%8VDF=  
How to Set Up a Scanning Source "Rq)%o$Z  
                                                                               r  |JZU  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 #_4JTGJ  
-:  8[  
系统构建块-参数耦合 5}he)2*uD  
   {aYCrk1  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion &J}w_BFww  
                                                                              
&46 Ro|XE`  
系统构建块-失真分析仪 .+2@(r  
                                                                      
SAtK 'Jx[  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Q??nw^8Hi  
(  V H0+  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               K0z@gWGE  
i~;Yrc%AEX  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
^laf!kIP  
JN<IMH  
c(!8L\69V}  
g@B,0JRh  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: G8Sx;Xi  
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Universal Detector .80L>0  
                                                                               h;Se.{  
总结-组件 TP?HxO_C  
Fc.1)yh.  
Sp^jC Xu  
系统观感   nk-V{']  
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通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 us3fBY'  
3FpSo+  
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性能评估-点位偏差 XbL\l  
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性能评估-光斑直径测量                                                       /;\{zA$uC=  
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u@eKh3!  
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此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 &0QtHcXpR  
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VirtualLab Fusion技术 Gp5=cV'k  
    
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