| hnzhang |
2007-03-31 10:28 |
OEBG-103A电子枪
电子枪主要技术指标： ^ .~ e
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1、 电子束偏转角：270°； P1$D[aF9$
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2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%； +u&3pK>f
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OcC|7s" ,
3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%； [O]rf+NZ(5
hyhm{RC?[
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r{Mn{1:O
4、 最大输出功率：10KW； 2{oQ
z('t#J!b
5、 灯丝电压：8V ` /B+
-q? ,
6、 电子溯流变化率：±3% ^^a%Lz)U
VG50n<m9
7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa s |o(~2j
3 `N SSS
8、 XY位置移动： ±20mm WfTl\Dxw
Re *~C:
9、 XY扫描宽度： ±20mm 0 c,!<\B
LIyb+rH#yg
10、X扫描频率：50Hz Y扫描频率：500Hz 4.~ <|T8
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此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象。 BD]o+ 96qP
K @:t6
扫描光斑大小可以任意调整，形状为方型，可根据用户镀膜工艺要求，蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内，在镀膜时自动提取扫描方式，实现自动镀膜。有存储扫描方式15种， ,,7 hVw
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