光栅结构中场分布的严格分析

{rwT 4]4   该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 x!6<7s   lPD&Doa   1. 建模任务1：金属光栅 4y.qtiIP>$   G+&p q   Vg(M ^2L    在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 /P xny3    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 u@;e`-@   R9 Y@I   2. 建模任务2：介质光栅 91-[[<   LLKYcy    在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 _'4S1    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 +` iJ+   (I#mo2   3. 建模任务 \XO'7bNu-   }>EWFE`   6FN#Xg    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 JLt%G^W>    通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 Omi/sKFMi    场分布计算能够检测结构内部的热点 0gGr/78    Ss0I{0   4. TE和TM照明线性光栅 5,4m_fBoW   @j"6f|d   5. 铬狭缝的分析 lwz\"8   LIrebz   %WC^aKfY    通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 h?H|)a<^9    左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 gm%cAme    对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 %P{3c~?DH    红线说明了结构的形状（手动添加） *U}ztH-+/   Uu52uR   6. 三角光栅的分析 Qm=iCZ|E^!    左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 fZ&' _   /2 hk9XM   5fMlOP_    如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 8.>himL    由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 gX7R-&[UD    红线说明了结构的形状（手动添加）。 1Vx5tOq    左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 kv6nVlI)B    Bnk'    与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 0qIg:+l+   f$tm<:)Y   7. 总结 RehraY3q   J .VZD    VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 i]s%tEZ1    内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 lD, ~%    对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 Yg,;l-1    光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

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