光栅结构中场分布的严格分析

S)W(@R+@4   该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 3im2 `n   BBHoD:l   1. 建模任务1：金属光栅 G   ;   d;E (^l   D~r{(u~Ya    在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 _2rxDd1#.    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 dZ"d`M>o6   T74."Lo#   2. 建模任务2：介质光栅 cPg$*,]   R~d{Yv    在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 QR*{}`+l    对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 J%lEyU   z[*Y%o8-r   3. 建模任务 "-A@d&5.   W24n%Ps   apd"p{    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 kd+tD!:F(    通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 N3o kN8d    场分布计算能够检测结构内部的热点 zZI7p[A[3   0=c:O   4. TE和TM照明线性光栅 7,,#f&jP   cDqj& :$e   5. 铬狭缝的分析 [eZ'h8   _VI3b$   06fs,!Q@    通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 HFTDea+#    左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 ;ksxz    对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 0uO<7IW9    红线说明了结构的形状（手动添加） <7yn:   g%2twq_   6. 三角光栅的分析 AW /)R"+    左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 Mp)|5<%   F>c o#   5HMDu g;     如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 -KU@0G    由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 r!HB""w    红线说明了结构的形状（手动添加）。 Cswa5l`af    左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 IXt cHAgX   FaA7m    与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 ^9xsbv B0   4{J'p19   7. 总结 ?%RR+(2m   v m) 'CC    VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 77o&$l,A|    内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 eKek~U&    对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 $,#,yl ol    光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

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