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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 }b5omHUE%
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1. 描述 _0cCTQ E
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^C=dq(i=[
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 18^#:=Z
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Hs:0j$
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2. 系统 xzi_u.iOP
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd e{EC# %x_
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3. 透镜系统组件编辑 -F. c<@*E
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ) $`}~
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 9^L{)t>
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ^h $^j
■ 包括序列光学表面和光学介质。
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4. 光线追迹系统分析器-选项 0BwxPD#6bv
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ZveNe~D7C
■ 可以选择选取光线的方法： HNRAtRvnY
— 在x-y-网格 TU6(Q,Yi|
— 六边形 .@Lktc
— 自由选取 C'y4 ~7
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 pCf9"LLer
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5. 系统的3维视图 f,|g|&C
 3'Hz,qP
6. 其他系统参数 upL jkQ)_
■ 系统由单色平面波照明 *HsA.W~2W
■ 照明波长266.08nm BM~6P|&qD
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ew \WV "
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *rgF[
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— 一个虚拟屏位于焦平面 _l"=#i@ L
— 光束尺寸探测器置于焦平面 <NEz{ 1Z
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .L9g*q/}
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7. 光线追迹系统分析器的结果 ~,_@|,)
光线经过整个光学系统的三维视图 m-qu<4A/U|
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） > ~0~h:M+
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U(PW$\l
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A'0'M
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;PB_ @Zg
E/hT/BOPK
%Z+ **>1J
■ VirtualLab可用于计算点列图。 L PS,\+
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 * ;(^)Sj4Q
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 J )^F
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 76o3Sge:
K_AdMXF9
9. 焦平面上的结果 $|g
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YV _ 7 .+A
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 L|Xg 4Z
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ' )}itS8
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Q_Br{
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■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ^D]J68)#a
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10. 总结 S[g ACEZ =
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 W':b6}?
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 qX`Hi9ja
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )+"5($~
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
