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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 tFSdi. |G=
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1. 描述 ef. lM]cO
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -'0AV,{Z
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 g 764wl
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ' w!gQ#De
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2. 系统 ^GAdl}
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd =ddx/zN
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3. 透镜系统组件编辑 s7
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 #wd \&
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 B~aOs>1
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■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ~^euaOFU 6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &B 2c]GoW
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4. 光线追迹系统分析器-选项 F@*lR(4C
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xh6x
B|Z
■ 可以选择选取光线的方法： qN0#=X
— 在x-y-网格 P3yiJ|vP
— 六边形 u7C{>
— 自由选取 ygW@[^g
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 PHK#b.B>a8
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5. 系统的3维视图 @r]s9~Lx9
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6. 其他系统参数 ,%'0e /
■ 系统由单色平面波照明 m c+wRx
■ 照明波长266.08nm g"&bX4uD)
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ,SM- Z`'
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )ra66E
— 一个虚拟屏位于焦平面 N tn md
— 光束尺寸探测器置于焦平面 u/[]g+
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 GA_`C"mx
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7. 光线追迹系统分析器的结果 h u oKr
光线经过整个光学系统的三维视图 P{Z71a5
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） ?R]y}6 P$
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 J=X%
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■ VirtualLab可用于计算点列图。
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 IOkC [([
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 '=
<`@
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 i"]8Zw_D
un nx#e]
9. 焦平面上的结果 Hm
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, imvA5
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ING_:XpnJ
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 P"x-7>c>Y
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm eqZ+n o
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 uT} TSwgp
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 p,iCM?[|
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10. 总结 &@HNz6KO
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B`B%:#
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 {*
j^g6;
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 N+M&d3H`
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
