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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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1. 描述 8c+i+gp!
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *|$s0ga C
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2b1LC!'U
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %S>lPt
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2. 系统 :@_CQc*yB
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ]ZO^@sH
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3. 透镜系统组件编辑 @[zPN[z .
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 BEPDyy
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 A &w)@DOe
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 &[S)zR=?
■ 包括序列光学表面和光学介质。 y+Q!4A
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4. 光线追迹系统分析器-选项 5[I> l
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sdS<-!
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■ 可以选择选取光线的方法： z(1h ^.
— 在x-y-网格 ~<v`&Gm?"
— 六边形 ^ 9;s
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— 自由选取 M P0ww$(
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 6g akopZO
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5. 系统的3维视图 w' M0Rd]
 A!iH g__/t
6. 其他系统参数 {!^HG+
■ 系统由单色平面波照明 ?3KI}'}EM
■ 照明波长266.08nm n0Ze9W+<
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ?/#HTg)!B
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ( }JX ]-
— 一个虚拟屏位于焦平面 Kh<v2
— 光束尺寸探测器置于焦平面 y*Ex5N~JC
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 9Od
Kh\F (
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7. 光线追迹系统分析器的结果 {j:{wW .
光线经过整个光学系统的三维视图 j nI) n*
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） %*}JDx#@
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 K3
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 OY"{XnPZ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Pq7YJ"Z?:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 BvX!n"QIb
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >2VB.f
Q~-g tEv+&
9. 焦平面上的结果 o6vm(I%
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C=PBF\RkKu
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D eXnE$XH
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 b GwLfU
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PjsQ+5[>
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 deeOtco$LT
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ( ''`Ce
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10. 总结 GueqpEd2
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Iupk+x>
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 I9>1WT<Yy
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y/@4|9!
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
