利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

g7pFOcV   关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ?#' qY6 ^   Y'P8`$   1. 描述 t65!2G"<   ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 gM8eO-d   ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SV~xNzo~   ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E$T#o{pai   U7W ct %   2. 系统 ]8#{rQ(   文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 4R]|   vl D]!]V:h   3. 透镜系统组件编辑 z}%to 0W   eIO}/npT]Q   ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 aj\'qRrU$   ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 #%5>}$   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 d7&PbITN   ■ 包括序列光学表面和光学介质。 i0P+,U   ;Cwn1N9S   C9z{8 ;   4. 光线追迹系统分析器-选项 U;31}'b   \=@}(<4   +%yh@X6   ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 d09 GD[5   ■ 可以选择选取光线的方法： L81"W`?   — 在x-y-网格 ( 7IF5g\   — 六边形 b7 n~z1$   — 自由选取 zR4huo   ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 I4*N   Xk3Ufz]QN   5. 系统的3维视图 IkvH8E   ;(sb^O   ]8^2(^3ct   6. 其他系统参数 Z_;' r|c   ■ 系统由单色平面波照明 )sQbDA|p   ■ 照明波长266.08nm FR <wp   ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： #wo_   — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 23>?3-q   — 一个虚拟屏位于焦平面 s[g1ei9   — 光束尺寸探测器置于焦平面 5Ql6?UHD   ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 yF:fxdpw    D;5RcZ   DFiexOb   eD}Ga4   f9$98SI   7. 光线追迹系统分析器的结果 )*uI/E   光线经过整个光学系统的三维视图 Mk?9`?g.   光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） ~$@I <= L   y`N1I   5mV'k"Om#"   6Q V/8IX   D,7! /u'   <Z5prunov   vL><Y.kOEs   8. 透镜系统后虚拟屏的结果 QEVjXJOt0   :sn}D~   -{<%Wt9   ■ VirtualLab可用于计算点列图。 N&n{R8=^"   ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j04Q3d \f   ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 C/E3NL8   ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色  [W;14BD7   D Lu]d$G   9. 焦平面上的结果 y0Tb/&xN   a }fW3+>   { sZrI5   ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \h yTcFb   ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 &8(2U-   ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm j_{gk"2:d`   ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Vf:t!'WD?2   ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 OS!47Z /q   iCHZ{<k   10. 总结 l"-D@]"   ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~(^ [TuJC   ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 (d (whlF   ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cx$Oh`-Car   ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。

[]Z6<rC|

F[+sc Mx!G