6t7FklM%
关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 c*\i%I#f2
? ?e|ec2%
1. 描述 >x%HqP#_V
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @BLB.=
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4r_*: $g
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;iYCeL (
L44|/~
2. 系统 AVLY|79#
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 3c#^@Bj(-e
hwUb(pZ
3. 透镜系统组件编辑 Y>3zpeQ!&
. 0yBI=QI
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 8aHE=x/TL
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 u= dj3q
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 W2- l_{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 {Pe&J2
+
q'7.lrKwa>
LkHH7Pd@
4. 光线追迹系统分析器-选项 ylos6]zS8
#*9 | \
8h)7K/!\
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 cg^~P-i@*
■ 可以选择选取光线的方法： shdzkET8N
— 在x-y-网格 Ie!">8."
— 六边形 VFawASwQ
— 自由选取 A- m IWTa
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 @VHstjos^V
R#Yj%$E1
5. 系统的3维视图 sa<\nH$_X
 G"3KYBN>
6. 其他系统参数 #s(ob `0|
■ 系统由单色平面波照明 8(-
29
■ 照明波长266.08nm /+B6oE>8
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ;Q&9 t
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fup?Mg-
— 一个虚拟屏位于焦平面 xc-[g t6
— 光束尺寸探测器置于焦平面 9 a@S^B>
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %OHWGac"i
/T {R\
Ki:t!vAO
zN5};e}^v
I AUc.VH
7. 光线追迹系统分析器的结果 };} N1[D
光线经过整个光学系统的三维视图 hF tjw6
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） L$"x*2[A
~x 4]p|)</
wPYeKOh'
dg*xo9Xi`
hN0h'JJ[7
v; ewMiK@E
nfZe"|d
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O5:U2o-
_qOynW
ro?.w
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ;H8`^;
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \I6F;G6
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )#4(4
@R h
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 t{s>B]i^_w
Omn $O>
9. 焦平面上的结果 ~#so4<A`3
.i?{ h/9y
.#sX|c=W
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 VR_/Vh ]@
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 P! j*4t
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]fh(b)8_,
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 bM_fuy55Op
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 o[ JZ>nm
N|"q6M !ZL
10. 总结 U4Y)Jk
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 X-bM`7'H
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 J^DyhCs
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ow`F 7
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
