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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ^~A>8CQOU
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1. 描述 <N9[?g)
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 y7i* s^ys{
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 DY?Kfvef
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "
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2. 系统 w L:flH@
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd LmnymcH
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3. 透镜系统组件编辑 c. 2).Jt,
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 7F{3*`/6
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ^ cz(}N
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■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 KW^7H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &E=>Hj(dTG
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4. 光线追迹系统分析器-选项 c>)Yt^ q&K
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 w_{wBL[3e
■ 可以选择选取光线的方法： z\%Ls
— 在x-y-网格 rMhB9zB1
— 六边形 L>R P-x>
— 自由选取 \hEN4V[
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Nu?-0>
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5. 系统的3维视图 O2%?
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6. 其他系统参数 ZG Ku>yM
■ 系统由单色平面波照明 W|g4z7Pb
■ 照明波长266.08nm RpD=]y!5_
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： mh{1*T$fP
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [.uG5%fa
— 一个虚拟屏位于焦平面 |* ;B
— 光束尺寸探测器置于焦平面 )j0TeE1R
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /q` xCS
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7. 光线追迹系统分析器的结果 .G#8a1#
光线经过整个光学系统的三维视图 zPj HsulK
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） O4V.11FnW
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m ;GbLncA
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 |w<H!lGe!$
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Ne[7gxpu
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G2Qlt@.T
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 yEhTNBa*h{
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9. 焦平面上的结果 -v]Sr33L
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]);%wy{H o
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 j)/nKh4O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Y STv\y
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 "2) H'<
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ~nh:s|l6%M
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10. 总结 '+?"iVVo
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %}Ss,XJ
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 3W3ZjdV+
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &h^9}>rVjV
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 |
