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2023-03-28 08:50 |
线下培训课程——从薄膜原理设计到工艺
w2) @o>w 时间地点主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 ~7>D>!! 授课时间: 2023 年 6 月 9 日(五)-11 日(日) AM 9:00-PM 16:00 5ENEx 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ctMH5"F&1 课程讲师:讯技光电高级工程师&资深顾问 d]K$0HY 课程费用:4800RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) \YPvpUg 课程概要 /8wfI_P>M" 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如 OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。该课程一天会全面讲解光学薄膜分析软件 Essential Macelod 的操作方法,第二天和第三天会讲解薄膜设计和工艺上面的应用 D@)L?AB1f 课程大纲 L./{^) 1. Essential Macleod 软件介绍 oc"7|YG 1.1 介绍软件 4+J>/ xiZ 1.2 运行程序 8?LHYdJ 1.3 创建一个简单的设计 tz9"#=}0 1.4 绘图和制表来表示性能 y&(pt!I 1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 6w4HJZF~ 1.6 创建一个默认设计 'Pe;Tp>` 1.7 文件位置 * .g[vCy 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 f0{j/+F_o 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 5KTPlqm0qF 1.10 厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) FE dFGT 1.11 单位定义 eig{~3 1.12 软件如何进行数据插值 'fYF1gR4 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) _+OCI%=: 1.14 特定设计的公式技术 Pq,iR J 1.15 交互式绘图 /\MkH\zg 2. 光学薄膜理论基础 $;rvKco)% 2.1 介质和波 1<Vke$ 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 |W*5<2Q9 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 W~FU!C?] 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 TN/y4(j 2.5 光学薄膜设计理论 Q^8/"aV\ 3. 理论技术 M'VJE|+t 3.1 参考波长与 g3.2 四分之一规则 Xp9 ]
9H. 3.3 导纳与导纳图 WWTRB +1> 3.4 斜入射光学导纳 ~gaWZQXyu 3.5 对称周期 @F/,~|{iM 4. 光学薄膜设计 F*_+k 4.1 光学薄膜设计的进展 qJE_4/<^! 4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 5w%[|%KG:L 4.3 光学薄膜设计技巧 g>
m)XY 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 ?R_fg 4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 kGAB' 4.5.1 优化目标设置 :j? MEeu 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) R$`%<Y3) 4.5.3 膜层锁定和链接 \Hw*q| 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 v'm-A d+4t 5.1 减反射薄膜 h; 6G~D 5.2 分光膜 s4j]kH 5.3 高反射膜 t'Zv)Wu1E 5.4 干涉截止滤光片 .Rt~d^D@ 5.5 窄带滤光片 g_JQW(_ 5.6 负滤光片 ^r,0aNzAs 5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 u$FL(m4 5.8 Vstack 薄膜设计示例 y&/bp<Z 5.9 Stack 应用范例说明 <7! "8e 6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 S f6%A 6.1 背景介绍 nNeCi 6.2 产品特性 _St":9'uU 6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 6s>io%,: 6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 G'`^U}9V\ 6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 jrpki<D 7. 防雾薄膜 {yB0JL}n 7.1 自清洁效应 m6'9Id-:L 7.2 超亲水薄膜 mDk6@Gd@U 7.3 超疏水薄膜 OO</d: 7.4 防雾薄膜的制备 {-Gh 62hDg 7.5 防雾薄膜的性能测试 6uTC2ka[&R 8. 材料管理 -q8l"i>h= 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 dc0&*/`: 8.2 金属与介质薄膜 ^j@+!A_.Q 8.3 材料模型 $@l=FV_; 8.4 介质薄膜光学常数的提取 _.E{>IFw 8.5 金属薄膜光学常数的提取 !pC`vZG" 8.6 基板光学常数的提取 ]~~G<Yh:= 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 K4]#X" 9. 薄膜制备技术 5V~vND*
s 9.1 常见薄膜制备技术 OT(0~,.GJ 9.2 光学薄膜制备流程 e
tL?UF$ 9.3 淀积技术 7w]3D 9.4 工艺因素 |!/+T^u 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 zhbSiw 10.1 光学薄膜监控技术 #;5Qd' 10.2 误差分析与监控决策 X|&H2y|*7 10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 It<VjN9
10.4 膜系灵敏度分析 \RtFF 10.5 膜系容差分析 @eDs)mY 10.6 误差分析工具 lr[T+nQ 11. 反演工程 fwmXIpteK 11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差)
?!<Q8= 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 >&ZlCE 12. 应力、张力、温度和均匀性工具 P#Whh 12.1 光学性质的热致偏移 vexF|'!}0# 12.2 应力工具 O jNOvh&N 12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题)13. Function 功能扩展 ti$60Up 13.1 如何在 Function 中编写操作数 m`):= ^nC 13.2 如何在 Function 中编写脚本 oRJ!TAbD 14. 光学薄膜特性测量 C<(qk _ 14.1 薄膜光学常数的测量 W /*?y & 14.2 薄膜堆积密度的测量 ';!-a]N 14.3 薄膜微观结构分析 :_]0 8 14.4 薄膜成分分析 t)uxW
7 14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 8'_MCx( 14.6 薄膜表面粗糙度的测量 "q1S.3V; 15. 项目管理与应用实例 Om;aE1sW 15.1 项目管理 WW+F9~S 15.2 光学薄膜项目开发过程 mIp> ~ 15.3 客户需求分析 & | |