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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 ?a% F3B  
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任务/系统视图 "9QZX[J|*  
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亮点 r6 3l(  
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 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ;]m;p,$  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 5Ww,vSCV)  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 r nr-wUW@  
se2Y:v  
说明:光源 hE`d@  
'Rsr*gX#  
phf{b+'#X  
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Qb>("j~Z  
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说明:透镜系统 (}>)X]  
<\Y(+?+uZ  
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说明:样品结构 0uW)&>W  
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X@tA+   
说明:探测器 U>.5vK.+  
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YlG#sBzl  
Y%eW6Y#  
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结果:3D光线追迹 +2 oZML  
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.|07IH/Di{  
vf<Dqy<M.  
结果:光线追迹 +$(y2F7|u-  
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SnXM`v,  
`fX\pOk~e  
结果:光线追迹衍射级数 SIR2 Kc0  
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结果:场追迹采样平面 2~g-k 3  
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结果:场追迹焦平面 ,Fkq/h  
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结果:减小光栅周期 tS3&&t  
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随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 xele;)Y  
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