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infotek 2023-03-16 09:11

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 F}B/-".^  
E"1 ;i  
任务/系统视图 9MtJo.A  
h,'mN\6t  
;*4tVp,  
FSwgPIO>  
亮点 [OoH5dD  
@2~O^5[>  
-m'3L7:  
e7bT%h9i  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 >H1|c%w  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 [mB(GL  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ,4>WLJDo  
\, %o>M'  
说明:光源 8/>wgY  
gLxT6v5wk.  
f0mH|tI`  
22Y!u00D  
Ss<_K>wk  
`^&15?Wk  
说明:透镜系统 K* _{Rs0P  
Z}K.^\S9  
o9T@uWh+  
说明:样品结构 L=$?q/=-  
X6Nm!od'  
!7kLFW  
1IF'>*  
说明:探测器 dp UdFuU"  
@!&Jgg53G  
}[KDE{,V  
tJ h3$K\  
;vI*ThzdD  
YM`:L  
结果:3D光线追迹 D*XZT{1g  
-lP )  
||'i\X|[  
lC /Hib  
qr'x0r|<>  
N o_$!)J.  
结果:光线追迹 PzMlua  
C)J_lI{^  
4Wi8 $  
n?ZL"!$  
结果:光线追迹衍射级数 kyRh k\X  
 \8>  
#Cg}!38  
\tiUE E|k  
结果:场追迹采样平面 +3/k/W  
+gbX}jF0%  
z\Pe{J  
2,8/Cb  
结果:场追迹焦平面 KJ0xp h f  
(c(-E|u.  
wO2V%v^bp  
P0'e"\$  
结果:减小光栅周期 nJtEUVMt  
9S:{  
随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 Ism^hyL  
/-!&k  
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J{Y6fHFi  
   p@?7^nIR*u  
   L;1$xI8tx  
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