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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 Y\ T*8\h_[  
ED/-,>[f  
任务说明 k~Pm.@,3o  
mm=Y(G[_%y  
LeW.uh3.  
1V`]sfRK  
灵活地导出制造数据: +k"dN^K]D  
- 平滑的界面 #{0DpSzE5  
- 量化界面 e>t9\vN#bx  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 $U jSP  
H/V%D O  
亮点 2vnzB8 "k  
 导出各种表面形状的制造数据 E|9LUPcb  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 w c%  
     T , =ga  
>B~jPU  
一般界面的制造数据 0iX qAa  
L1QQU  
*vhm  
n@L!{zY  
支持文件格式: A2&&iL=j/  
- 纯文本 `Ik}Xw  
- ASCII码 +$>ut r  
- 点云 LO61J_J<  
- CAD格式(例如,STL,IGES) ~v>w%]  
[/uKo13  
STL导出平滑界面(例如Asphere) na']{a 1K  
>q &ouVE  
采样高度剖面的STL导出 Dlj=$25  
5,AQ~_,'\  
)dL?B9d:  
xYu~}kMu  
量化界面的GDSII导出 QrA8 KSLC  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 GvzPT2E!  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 IVNNiNN*5  
&< Gq-IN  
A}y1v;FB  
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