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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 <v<TsEI  
ygm4Aj>  
任务说明 g%z?O[CN  
*uYnu|UQH  
76[O3%  
,|?-\?I  
灵活地导出制造数据: o'.6gZ gk  
- 平滑的界面 iqecm]Z0  
- 量化界面 Y21,!$4gb  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 :0BaEqX  
846j<fE  
亮点 F^ kH"u[  
 导出各种表面形状的制造数据 yb BLBJb  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~8'4/wh+8  
     `Q!|/B  
wAE ,mw  
一般界面的制造数据 k[oU}~*U+  
"rz|sbj  
#84pRU~  
Q2;zve&Dl  
支持文件格式: \XR%pC  
- 纯文本 ZOl =zn  
- ASCII码 q_Td!?2?  
- 点云 >'#G$f  
- CAD格式(例如,STL,IGES) >j1\]uo  
8ID fYJ  
STL导出平滑界面(例如Asphere) L|G!of[8n  
z^ +CD-  
采样高度剖面的STL导出 (j-[m\wF  
R4,j  
_5Q?]-M  
jqHg'Fq  
量化界面的GDSII导出 VXvr`U\  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Sc "J5^  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 M-KjRl  
P/._ tQu6  
-ecP@,  
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