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infotek 2023-03-16 09:09

导出制造数据

光整形>衍射光学 pHO,][VZ  
0i%r+_E_  
任务说明 ;.dyuKlI  
vxN,oa{hf  
?4QX;s7  
YS$42J_T  
灵活地导出制造数据: "}/$xOl"  
- 平滑的界面 Ky:y1\K1^K  
- 量化界面 ~%.<rc0  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 @ ={Hx$zL  
B}O M:0  
亮点 b9 Gq';o  
 导出各种表面形状的制造数据 $eqwn&$n  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 y+jOk6)W75  
     YC,)t71l{  
_'OXrT#Q  
一般界面的制造数据 kx3?'=0;5  
IhRWa|{I  
uu5L9.i9  
(j>a?dKDS  
支持文件格式: 3fdx&}v/  
- 纯文本 w^/jlddF  
- ASCII码 <4{Jm8zJ  
- 点云 cZVVJUF  
- CAD格式(例如,STL,IGES) coG_bX?e  
{`KRr:w  
STL导出平滑界面(例如Asphere) vZ0K1UTEXY  
]?1n-w.}r  
采样高度剖面的STL导出 16pk4f8  
u[Ij4h.  
q`u^ sc  
1ha 8)L  
量化界面的GDSII导出 p]lZ4#3  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2*[Gm e  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 y'{*B(  
OQ=0>;>  
:b~5nftr  
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