| infotek |
2023-03-16 09:09 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 pHO,][VZ 0i%r+_E_ 任务说明 ;.dyuKlI vxN,oa{hf ?4QX;s7 YS$42J_T 灵活地导出制造数据: "}/$xOl" - 平滑的界面 Ky:y1\K1^K - 量化界面 ~%.<rc0 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 @ ={Hx$zL B}OM:0 亮点 b9 Gq';o 导出各种表面形状的制造数据 $eqwn&$n 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 y+jOk6)W75 YC,)t71l{
_'OXrT#Q 一般界面的制造数据 kx3?'=0;5 Ih RWa|{I uu5L9.i9 (j>a?dKDS 支持文件格式: 3fdx&}v/ - 纯文本 w^/jlddF - ASCII码 <4{Jm8zJ - 点云
cZVVJUF - CAD格式(例如,STL,IGES) coG_bX?e {`KRr:w STL导出平滑界面(例如Asphere) vZ0K1UTEXY ]?1n-w.}r 采样高度剖面的STL导出 16pk4f8 u[Ij4h. q`u ^ sc
1ha
8)L 量化界面的GDSII导出 p]lZ4#3 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 2*[Gm e 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 y'{*B( OQ=0>;> :b~5nftr
|
|