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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 .+3g*Dv{&  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 mZS >O_E  
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建模任务                                                         nLZTK&7}  
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光栅元件   wo;~7K  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~*&H$6NJS  
• FMM/RCWA )hn6sXo+  
• Diffractive Lens Component *eTqVG.  
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正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       P6'1.R  
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正弦光栅-传输相位形态     sk<3`x+  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         +aCv&sg  
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正弦光栅-衍射效率 <SAzxo:I  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       (?1y4M  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   ,hm\   
                                  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) HTv2#  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         aB2F C$z  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         *k7+/bU~~  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ]NQfX[  
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闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         -lr vKrt7  
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VirtualLab Fusion技术   TM__I\+Q  
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