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infotek 2023-03-02 08:40

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 ; Q3n  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Qy^1*j<@&  
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建模任务                                                         E*.{=W }C  
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光栅元件   U1DXe h~V  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: A'q#I>j`  
• FMM/RCWA 2 ^mJ+v<  
• Diffractive Lens Component IE;~?W"  
                                                             G;v8$)Zj  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [`{Z}q&  
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正弦光栅-传输相位形态     l)Pu2!Ic  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         }Mf!-g  
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正弦光栅-衍射效率 #JgH}|&a$  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       x^kp^ /f  
(d(hR0HKE  
  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   2q3+0Et8  
                                  
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                                                             #0ETY\}ZD  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Sz^ veh?  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         CjlKMbnBH  
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MYla OT  
Po ZuMF  
闪耀光栅-衍射效率                                                         R]OpQ[k  
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                                                             V'kX)$  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         [x9KVd ^d  
IB[)TZ2m  
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                                                             /9HVY %n  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         :?/cPg'D  
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                                                             !P)O(i=  
VirtualLab Fusion技术   UD8op]>L  
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