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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
4u%AZ<-C}m 内容简介 rEC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 qpCaW0]7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *c/V('D/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 D]}~` SO g}R Cjl4
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 {6RA~ 目录 x7<l*WQ Preface 1 PI`Y%! P 内容简介 2 pL;e(lM 目录 i W'"?5} ( 1 引言 1 w6X:39d 2 光学薄膜基础 2 b1i~F45h 2.1 一般规则 2 _/}$X"4 2.2 正交入射规则 3 '<<@@.(f 2.3 斜入射规则 6 0uW)&>W 2.4 精确计算 7 G/#<d-}_ 2.5 相干性 8 z;?jKE p 2.6 参考文献 10 6|f8DX%3V 3 Essential Macleod的快速预览 10 8,[ *BgeX 4 Essential Macleod的特点 32 ]S@T|08b 4.1 容量和局限性 33
uM\\(g} 4.2 程序在哪里? 33 K39I j_3 4.3 数据文件 35 "j?x gV 4.4 设计规则 35 2}/r>]9^- 4.5 材料数据库和资料库 37 X o9vE3 4.5.1材料损失 38 w42{)S" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O{\<Izm`D 4.5.2 材料库 41 Hf_
pe 4.5.3导出材料数据 43 OAW_c.)5D 4.6 常用单位 43 |zP~/ 4.7 插值和外推法 46 047PlS 4.8 材料数据的平滑 50 @}!?}QU 4.9 更多光学常数模型 54 uuD2O )v 4.10 文档的一般编辑规则 55 &1^~G0Rh\ 4.11 撤销和重做 56 `RE>gX 4.12 设计文档 57 %@)q=*=y 4.10.1 公式 58 .-&
=\}^2l 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 PHIc7*_ 4.10.3 沉积密度 59 R[v<mo[s 4.10.4 平行和楔形介质 60 tB`"gC~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 i>CR{q 4.10.4 性能 61 ^/%Y]d$ 4.10.5 保存设计和性能 64 ,%xat`d3,3 4.10.6 默认设计 64 c?c\6*O 4.11 图表 64 V/"RCqY4 4.11.1 合并曲线图 67 noa+h<vGb 4.11.2 自适应绘制 68 _:tS-Mx@5 4.11.3 动态绘图 68 Bd=K40Z: 4.11.4 3D绘图 69 P(8
u L|^ 4.12 导入和导出 73 VZ`YbY 4.12.1 剪贴板 73 mr#.uhd.z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
fB]2"( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !- QB>`7$ 4.13 背景 77
ip{b*@K 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )c9Xp: 4.15 生成Rugate 84 #EE<MKka 4.16 参考文献 91 l,b,U/3R. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Nr,I`x\N 5.1 Jobs 92 upk_;ae 5.2 创建一个新Job(工作) 93 tCR~z1 5.3 输入材料 94 !qlk-0&` 5.4 设计数据文件夹 95 iY2q^z/S 5.5 默认设计 95 ~.U\Y 6 细化和合成 97 qyKR]%yzi 6.1 优化介绍 97 4Jc~I 6.2 细化 (Refinement) 98 w^nA/=;r 6.3 合成 (Synthesis) 100 7iM@BeIf 6.4 目标和评价函数 101 Q7v1xBM 6.4.1 目标输入 102 &X`
lh P 6.4.2 目标 103 G}NqVbZ9] 6.4.3 特殊的评价函数 104 Lp|n)29+du 6.5 层锁定和连接 104 oVbs^sbRH 6.6 细化技术 104 2Y[n 6.6.1 单纯形 105 ..'"kX:5 6.6.1.1 单纯形参数 106 T5T[$%]6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :ntAU2)H 6.6.2.1 Optimac参数 108 \k=%G_W 6.6.3 模拟退火算法 109 0
.T5%
_/ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #{?RE?nD 6.6.4 共轭梯度 111 0Db=/sJ> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 wEI?
9 6.6.5 拟牛顿法 112 ZXiJ5BZ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Q\xDAOEL 6.6.6 针合成 113
;Q/1l=Bn 6.6.6.1 针合成参数 114 \fI05GZ 6.6.7 差分进化 114 N;!!*3a9= 6.6.8非局部细化 115 j8^#698X 6.6.8.1非局部细化参数 115 u:W/6QS 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "66#F 6.7.1 细化 116 c`lL&*] 6.7.2 合成 117 &><b/,] 6.8 参考文献 117 xc`O\z_) 7 导纳图及其他工具 118 BAi0w{ 7.1 简介 118 Rd]<591 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 {o*$|4q4 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^vxNS[C`; 7.2.2 导纳图 120 .V_5q:tu 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 QpoC-4F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .Xe_Gp"x 7.5 斜入射导纳图 141 Z }>;@c 7.6 对称周期 141 *a{WJbau] 7.7 参考文献 142 @PQd6%@ 8 典型的镀膜实例 143 q%vel.L]% 8.1 单层抗反射薄膜 145 f$dIPt( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 #RSUChe7w 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 seP h%Sa_ 8.4 W-膜层 148 JlRNJ#h> 8.5 V-膜层 149 ~P~q' 8.6 V-膜层高折射基底 150 -GB,g=Dk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]8Xip/uE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 /?TR_> 8.9 四层抗反射薄膜 153 Up_"qD6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ZUz7h^3@ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 oY; C[X 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4mX?PKvbn 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;7H^;+P 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,zK E$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Co=Bq{GY 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 U+E9l?4R 8.17 1/4波长堆栈 162 "i*gJFW| 8.18 陷波滤波器 163 c"1Z,M;G 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @+y,E-YTdV 8.20 褶皱 165 'W("s 8.21 消偏振分光器1 169 YZtd IG 8.22 消偏振分光器2 171 JZ:yPvJ 8.23 消偏振立体分光器 172 0B}2~}# 8.24 消偏振截止滤光片 173 }*qj,8-9 8.25 立体偏振分束器1 174 +~y>22Zfg 8.26 立方偏振分束器2 177 =1
S%E 8.27 相位延迟器 178 91q 8.28 红外截止器 179 d:#tN4y7( 8.29 21层长波带通滤波器 180 jPZpJ: 8.30 49层长波带通滤波器 181 kh#fUAt 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^7=7V0>,: 8.32 47 红外截止器 183 iY&I?o!Ch 8.33 宽带通滤波器 184 H5:f&m 8.34 诱导透射滤波器 186 asCcBp 8.35 诱导透射滤波器2 188 M1*bT@6 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qn |~YXn 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8B(v6(h 8.35 增益平坦滤波器 193 "QiLu=Rq 8.38 啁啾反射镜 1 196 >&7^yXS 8.39 啁啾反射镜2 198 O(D2F$VlL 8.40 啁啾反射镜3 199 e:C4f 8.41 带保护层的铝膜层 200 r=54@`O! 8.42 增加铝反射率膜 201 ]bpgsW:Xu 8.43 参考文献 202 /5j5\F:33 9 多层膜 204 %*Uc,V 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +PKsiUJ| 9.2 内部透过率 204 m&'!^{av 9.3 内部透射率数据 205 *-Vr=e<8 9.4 实例 206 Z;RUxe|<k 9.5 实例2 210 wQ@:0GJH 9.6 圆锥和带宽计算 212 6f
?,v5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $z 5kA9 10 光学薄膜的颜色 216 M:iH7K 10.1 导言 216 OIjSH~a. 10.2 色彩 216 zZ<* 10.3 主波长和纯度 220 (hQi { 10.4 色相和纯度 221 RU~ku{8? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 uhp.Yv@c 10.6 色差 226 j F/S2Ty2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 0 ]L
10.8 颜色渲染指数 234 W}MN-0 10.9 色差计算 235 oDi+\0 10.10 参考文献 236 ZKpJc'h 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Zzz94` 11.1 短脉冲 238 1KBGML-K3 11.2 群速度 239 lCl5#L9 11.3 群速度色散 241 u|.7w2 11.4 啁啾(chirped) 245 R:R<Xt N`5 11.5 光学薄膜—相变 245 [K'gvLt1 11.6 群延迟和延迟色散 246 _:p-\Oo. 11.7 色度色散 246 i*@PywT"i3 11.8 色散补偿 249 D3P/: 4 11.9 空间光线偏移 256 }<l:~-y| 11.10 参考文献 258 >TBXT+ 12 公差与误差 260 oM
Z94,3 12.1 蒙特卡罗模型 260 Pw thYy 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ftl?x'P% 12.2.1 误差工具 267 `ZI -1&Y3 12.2.2 灵敏度工具 271 '\xE56v)F 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $gD8[NAIx= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 VO=Ibu&X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dl6U]v= 12.3 参考文献 276 V %D1Q}X 13 Runsheet 与Simulator 277 gt02Csdt 13.1 原理介绍 277 kw]?/s` 13.2 截止滤光片设计 277 83gWA>Odh 14 光学常数提取 289 3JBXGT0gJ 14.1 介绍 289 ar}-~~h 5 14.2 电介质薄膜 289 =y)K er 14.3 n 和k 的提取工具 295 N)R5#JX 14.4 基底的参数提取 302 n_9Ex&?e 14.5 金属的参数提取 306 QKlsBq 14.6 不正确的模型 306 [0]A-#J 14.7 参考文献 311 [wnp]'+! 15 反演工程 313 >$E;."a 15.1 随机性和系统性 313 B%MdJD> 15.2 常见的系统性问题 314 JTm'fo[ 15.3 单层膜 314 *KY:U&*
15.4 多层膜 314 J@6j^U 15.5 含义 319 jlU6keZh` 15.6 反演工程实例 319 GQ7uxdqWBQ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [3nWxFz$R 15.6.2 反演工程提取折射率 327 C c:<F_UI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 dpylJ2 16.1 光学性质的热致偏移 329 s8>y&b. 16.2 应力工具 335 ; teM^zyI 16.3 均匀性误差 339 -eyF9++` 16.3.1 圆锥工具 339 *qk7e[IP 16.3.2 波前问题 341 "NGfT:HV 16.4 参考文献 343 >V27#L2:J 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 t&J A1|q 17.1 引言 345 M\{\WyeX 17.2 操作数 345 !|H,g wqU 18 如何在Function中编写脚本 351 +,LWyvc' 18.1 简介 351 @*Ry`)T 18.2 什么是脚本? 351 %'2.9dB 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 W.jXO"pN 18.4 基础 352 Y_+#|]=$B 18.4.1 Classes(类别) 352 "V26\ 18.4.2 对象 352 H)7v$A,5% 18.4.3 信息(Messages) 352 Zp~yemERr 18.4.4 属性 352 2tpu v(H; 18.4.5 方法 353 L8Tm8) 18.4.6 变量声明 353 /r"<:+ 18.5 创建对象 354 .7gh2K 18.5.1 创建对象函数 355 ~o"=4q`> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :ZIa 18.5.3 丢弃对象 356 Ue
>]uZ| 18.5.4 总结 356 @=dv[P"jn 18.6 脚本中的表格 357 p8%qU>~+4 18.6.1 方法1 357 Y'iyfnk 18.6.2 方法2 357 6{1=3.CL 18.7 2D Plots in Scripts 358 $KGMAg/H 18.8 3D Plots in Scripts 359 j_N<aX 18.9 注释 360 I@/
G#3Zr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 C:5-h(# 18.11 一个更高级的脚本 362 qfE0J;e 18.12 <esc>键 364 /[FDiJH2 18.13 包含文件 365 i:0v6d 18.14 脚本被优化调用 366 gI;"P kN 18.15 脚本中的对话框 368 8lYA6A 18.15.1 介绍 368 {Fw"y %a^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 PD0&ep1h7G 18.15.3 输入框函数 370 hDJG.,r 18.15.4 自定义对话框 371 U,EoCAm> 18.15.5 对话框编辑器 371 {&IB[Y6 18.15.6 控制对话框 377 Nb&j?./ 18.15.7 更高级的对话框 380 ya8p
4N{_ 18.16 Types语句 384 S7f.^8 18.17 打开文件 385 VbvP!<8 18.18 Bags 387 _90D4kGU 18.13 进一步研究 388 Y|fD)zG_ 19 vStack 389 K!&W} _@l 19.1 vStack基本原理 389 lTMY|{9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 v-3VzAd=*& 19.3 五棱镜 393 P>X[} 19.4 光束距离 396 j}ob7O&U'w 19.5 误差 399 c.IUqin 19.6 二向分色棱镜 399 VGeTX 4h 19.7 偏振泄漏 404 zY_J7,0g 19.8 波前误差—相位 405 AF{uFna 19.9 其它计算参数 405 jL\j$'KC 20 报表生成器 406 Qq`S=:}~x 20.1 入门 406 :kR>wX 20.2 指令(Instructions) 406 iv~R4;;) 20.3 页面布局指令 406 u_^mN9h 20.4 常见的参数图和三维图 407 ^:{8z;w!( 20.5 表格中的常见参数 408 Q/4-7 20.6 迭代指令 408 >S7t 20.7 报表模版 408 ]|CcQ1#|H 20.8 开始设计一个报表模版 409 m1pA]}Y/5o 21 一个新的project 413 K'Ywv@ 21.1 创建一个新Job 414 mufGv%U2 21.2 默认设计 415 -a)1L'R 21.3 薄膜设计 416
)Ri! 21.4 误差的灵敏度计算 420 9AVj/?kmU 21.5 显色指数计算 422 +Pl)E5W!=` 21.6 电场分布 424 H_RfIX)X 后记 426 DlUKhbo$g 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] #kM|!U=
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