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2023-02-27 08:35 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
"uCO?hv0 内容简介 =mR~\R(
I Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Hb}O/G$a* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 i(T[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 YTpiOPf DW(
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讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 '41'Gn 目录 &1/OwTI4J Preface 1 a+'k#m 内容简介 2 M~%P1@% 目录 i Q$+6f,m#W 1 引言 1 y0vJ@ %` 2 光学薄膜基础 2 RW~!)^ 2.1 一般规则 2 v[;R(pt? 2.2 正交入射规则 3 |RjAp.pm 2.3 斜入射规则 6 }1fi# 2.4 精确计算 7 n%|og^\0 2.5 相干性 8 Q,nJz*AJ 2.6 参考文献 10 wZ4w`|' 3 Essential Macleod的快速预览 10 "@z X{^: 4 Essential Macleod的特点 32 )]}G8A 4.1 容量和局限性 33 r>: ~!o* 4.2 程序在哪里? 33 >``sM=W at 4.3 数据文件 35 ?f}?I`S, 4.4 设计规则 35 U$yy7}g 4.5 材料数据库和资料库 37 3rVfBz 4.5.1材料损失 38 GP>\3@> 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O&dBLh!G 4.5.2 材料库 41 |`ya+/ff+ 4.5.3导出材料数据 43 7|5X> yt 4.6 常用单位 43 0=0,ix7?# 4.7 插值和外推法 46 8)lrQvZ 4.8 材料数据的平滑 50 3daI_Nx> 4.9 更多光学常数模型 54 lArKfs/ 4.10 文档的一般编辑规则 55 C@`rg ILc 4.11 撤销和重做 56 LZ34x: ,C 4.12 设计文档 57 *
N]^(+/A 4.10.1 公式 58 y'aK92pF: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 M>E~eb/ 4.10.3 沉积密度 59 @)\4 $#+- 4.10.4 平行和楔形介质 60 "1YwV~M5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 fB80&G9 4.10.4 性能 61 V&*|%,q 4.10.5 保存设计和性能 64 ZDG~tCh=@ 4.10.6 默认设计 64 yky%+@2q 4.11 图表 64 (xfh 9=. 4.11.1 合并曲线图 67 Zg$S% 1(Q 4.11.2 自适应绘制 68 V408uy-M 4.11.3 动态绘图 68 MaPOmS8? 4.11.4 3D绘图 69 #f [}a 4.12 导入和导出 73 @U3:9~Q 4.12.1 剪贴板 73 ph}%Ay$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 78 w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yR?./M! 4.13 背景 77 ~-<MoCm! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 jDb"|l 4.15 生成Rugate 84 WkiPrQ0]: 4.16 参考文献 91 'W,*mfB 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a:8 MoH 4 5.1 Jobs 92 cZJ5L>ox 5.2 创建一个新Job(工作) 93 =A!rZG 5.3 输入材料 94 ]#Cc7wa
5.4 设计数据文件夹 95 ),CKuq> 5.5 默认设计 95 [YP{%1*RM 6 细化和合成 97 55' 6.1 优化介绍 97 HKr}"`I. 6.2 细化 (Refinement) 98 -)Bvx>8fq- 6.3 合成 (Synthesis) 100 T/A2Y+@N; 6.4 目标和评价函数 101 _p>F43%p 6.4.1 目标输入 102 IU<lF) PF$ 6.4.2 目标 103 dQ:F 5|p 6.4.3 特殊的评价函数 104 ufCpX>lNF 6.5 层锁定和连接 104 k 3H0$1 6.6 细化技术 104 Jz=|-F(Sy 6.6.1 单纯形 105 XmD(&3;v- 6.6.1.1 单纯形参数 106 ; >>n#8` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^B0Qk:%P^N 6.6.2.1 Optimac参数 108 >+Ig<}p 6.6.3 模拟退火算法 109 AT)b/ycC 6.6.3.1 模拟退火参数 109 jz`3xFy *] 6.6.4 共轭梯度 111 Ml$<x"Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z3]W # 6.6.5 拟牛顿法 112 ?m5EXe 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]Zt ]wnL+ 6.6.6 针合成 113 63 'X#S 6.6.6.1 针合成参数 114 aW*k,\:e 6.6.7 差分进化 114 ~;?<OOt|wG 6.6.8非局部细化 115 ^GAJ9AF@( 6.6.8.1非局部细化参数 115 DI8<0.L 6.7 我应该使用哪种技术? 116 e@qH!.g) 6.7.1 细化 116 Rw%%
9 6.7.2 合成 117 $'I&u 6.8 参考文献 117 r88De=* 7 导纳图及其他工具 118 g0bYO!gCr 7.1 简介 118 nj0sh"~+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m3BL 7.2.1 四分之一波长规则 119 O>pv/Ns 7.2.2 导纳图 120 FLs$ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 f+Acs*.GQ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C+uW]]~I) 7.5 斜入射导纳图 141 *<W8j[? 7.6 对称周期 141 /zt M' 7.7 参考文献 142 _crhBp5@T3 8 典型的镀膜实例 143 SF&2a(~s 8.1 单层抗反射薄膜 145 g\fj6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 bq9w@O 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 s:7/\h 8.4 W-膜层 148 tnaFbmp 8.5 V-膜层 149 'Gqv`rq& 8.6 V-膜层高折射基底 150 RSe4lw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 E0R6qS:' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {@vnKyf^K 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?9a%g\`?: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^e_LnJ+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8'zZVX D< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5gtf`ebs/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Q8%_q"C 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ] re=8s6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t$z[ja= 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 E I zy 8.17 1/4波长堆栈 162 ;5bd<N 8.18 陷波滤波器 163 ?' .AeoE- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 IO)#O< 8.20 褶皱 165 ^APtV6g 8.21 消偏振分光器1 169 2^=.j2 8.22 消偏振分光器2 171 4_kN';a4Q 8.23 消偏振立体分光器 172 ,JE_aje7 8.24 消偏振截止滤光片 173 `,-mXxTNT 8.25 立体偏振分束器1 174 ];LFv5" 8.26 立方偏振分束器2 177 -p&u= 8.27 相位延迟器 178 8^>c_%e} 8.28 红外截止器 179 <mE`<-$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 B6Kl_~gT 8.30 49层长波带通滤波器 181 "vSKj/] 8.31 55层短波带通滤波器 182 Ha `N 8.32 47 红外截止器 183 Y@0'0 8.33 宽带通滤波器 184 ^~;ia7V&2 8.34 诱导透射滤波器 186 X+aQ 7^"s 8.35 诱导透射滤波器2 188 WHY/x /$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 R~4X?@ZB 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _ \6v@ 8.35 增益平坦滤波器 193 n?.; *: 8.38 啁啾反射镜 1 196 gHLI>ew*QR 8.39 啁啾反射镜2 198 <ToBVGX 8.40 啁啾反射镜3 199 Zk%@GOu\ 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;"Kgg:K>W 8.42 增加铝反射率膜 201 }+9?)f{?@ 8.43 参考文献 202 Wr%ov6: 9 多层膜 204 A/>Q5) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 N s +g9+<A 9.2 内部透过率 204 ki9&AFs2X 9.3 内部透射率数据 205 &/? Ct!_ 9.4 实例 206 z6iKIw
$ 9.5 实例2 210 F'Y ad 9.6 圆锥和带宽计算 212 c4Zpt%:}h 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 X ha9x, 10 光学薄膜的颜色 216 ?eIb7O 10.1 导言 216 HeAXZA, 10.2 色彩 216 LpU}. 10.3 主波长和纯度 220 6P1s*u 10.4 色相和纯度 221 Tu#;Y."T 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 P C_! 10.6 色差 226 WR)=VE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 zl@^[km{ 10.8 颜色渲染指数 234 0N,<v7PX 10.9 色差计算 235 l(?B0 10.10 参考文献 236 G%erh}0~ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 R&Y_ 11.1 短脉冲 238 32[}@f2q 11.2 群速度 239 X&pYLm72; 11.3 群速度色散 241 8%7%[WC# 11.4 啁啾(chirped) 245 qNQ54# 11.5 光学薄膜—相变 245 8}B 11.6 群延迟和延迟色散 246 gF{ehU% 11.7 色度色散 246 4!/JN J 11.8 色散补偿 249 U>E:
Ub0r 11.9 空间光线偏移 256 1ML L 11.10 参考文献 258 ~T1W-ig4[* 12 公差与误差 260 I\.|\^ 12.1 蒙特卡罗模型 260 fg^25g'_ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Tc6cBe, 12.2.1 误差工具 267 LTWkHyx 12.2.2 灵敏度工具 271 _uQ]I^ 'D 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Hb=#` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 E=s,- 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 y&NqVR= 12.3 参考文献 276 5*YoK)2J 13 Runsheet 与Simulator 277 +~^S'6yB 13.1 原理介绍 277 : ,l7e 13.2 截止滤光片设计 277 c{=Sy;i@ 14 光学常数提取 289 "6f`hy 14.1 介绍 289 0|P=S|%~ 14.2 电介质薄膜 289 E]@&<TFq 14.3 n 和k 的提取工具 295 (9]Uuvfp6" 14.4 基底的参数提取 302 ic2D$`M 14.5 金属的参数提取 306 BsQ;`2 14.6 不正确的模型 306 \;{ ]YX 14.7 参考文献 311 b>07t!; 15 反演工程 313 ,{_i{WV 15.1 随机性和系统性 313 / FcRp ," 15.2 常见的系统性问题 314 ;kgP:n 15.3 单层膜 314 VE )D4RL 15.4 多层膜 314 3( BL 15.5 含义 319 }'oU/@yG 15.6 反演工程实例 319 Xh@K89`uX 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %B%_[<B 15.6.2 反演工程提取折射率 327 cJo%j -AM 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 OIblBQ! 16.1 光学性质的热致偏移 329 >yO/p(/;jR 16.2 应力工具 335 #J[g
r_ 16.3 均匀性误差 339 jx}&%p X 16.3.1 圆锥工具 339 #1<m\z 7l 16.3.2 波前问题 341 N*Aw-\Bk 16.4 参考文献 343 b"I#\;Ym 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 f;e#7_ 17.1 引言 345 V[tebv! 17.2 操作数 345 Tv ``\< 18 如何在Function中编写脚本 351 %N8I'*u 18.1 简介 351 *qpu!z2m|| 18.2 什么是脚本? 351 )4g_S?l= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 C>Ik ; 18.4 基础 352 -"[4E0g0 18.4.1 Classes(类别) 352 /@9Q:'P 18.4.2 对象 352 :5k* kx#y 18.4.3 信息(Messages) 352 h"`\'(,X 18.4.4 属性 352 uMcI'= 18.4.5 方法 353 m%|\AZBA# 18.4.6 变量声明 353 C[^VM$ 18.5 创建对象 354 B"4 3o7C 18.5.1 创建对象函数 355 {<-s&%/r 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `cGks 18.5.3 丢弃对象 356 jX7K-L 18.5.4 总结 356 mA(kq 18.6 脚本中的表格 357 TNu %_
34 18.6.1 方法1 357 q%3VcR$J 18.6.2 方法2 357 /~"-q 18.7 2D Plots in Scripts 358 ZdW+=;/# 18.8 3D Plots in Scripts 359 3qWrSziD 18.9 注释 360 5U?O1}P 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 uX7L1~s- 18.11 一个更高级的脚本 362 <-`bWz=+ 18.12 <esc>键 364 a
,mgM&yD 18.13 包含文件 365 ioi/`iQR 18.14 脚本被优化调用 366 0F$|`v"0 18.15 脚本中的对话框 368 534pX7dg 18.15.1 介绍 368 t#(NfzN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 2"6L\8hd2 18.15.3 输入框函数 370 &GH[$( 18.15.4 自定义对话框 371 +Nn >*sz 18.15.5 对话框编辑器 371 k5RzW4zq; 18.15.6 控制对话框 377 wX] _Abk 18.15.7 更高级的对话框 380 <$nPGz)} 18.16 Types语句 384 "@x(2(Y& 18.17 打开文件 385 :V9Q<B^ 18.18 Bags 387 LW=qX%o{ 18.13 进一步研究 388 \9+,ynJH8z 19 vStack 389 %<yW(s9{ 19.1 vStack基本原理 389 e{8C0= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 gc4o
|x 19.3 五棱镜 393 rVabkwYD 19.4 光束距离 396 W8<QgpV* 19.5 误差 399 }cz58% 19.6 二向分色棱镜 399 0hS&4nW 19.7 偏振泄漏 404 m0G"Aj 19.8 波前误差—相位 405 Md6u4c 19.9 其它计算参数 405 u8"s#%>Ny 20 报表生成器 406 H;=yR]E 20.1 入门 406 hTBJ\1
- 20.2 指令(Instructions) 406 % 3#g- 20.3 页面布局指令 406 1^k}GXsWmE 20.4 常见的参数图和三维图 407 9^Xndo]y 20.5 表格中的常见参数 408 mpYBMSLM 20.6 迭代指令 408 S(=@2A+; 20.7 报表模版 408 cJSNV*< 20.8 开始设计一个报表模版 409 (
%sfwv 21 一个新的project 413 B~o3Z 21.1 创建一个新Job 414 j Hq+/\ 21.2 默认设计 415 2K~v`c*4 21.3 薄膜设计 416 CQ!D{o= 21.4 误差的灵敏度计算 420 PCCE+wC6 21.5 显色指数计算 422 HtN:v 21.6 电场分布 424 /8Lb_QH{ 后记 426 0,0WdJAe 有兴趣可以扫码联系[attachment=116484] Xp;'Wa"@
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