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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 3',|HA /x  
A{ :PpYs  
任务/系统说明 St6U  
Zljj  
@} 61D  
y3 R+060\3  
亮点 F|3 =Cl  
u H}cvshv  
 f ,?P1D\  
ib4shaN`  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） lJfn3  
 严格分析光栅衍射效率 /GK1}h  
 考虑入射光的方向分布 b|cUKsL5  
f\ wP}c'  
说明：光源 7n-;++a5]  
nQ0g,'o  
4&Q.6HkL  
<23oyMR0  
说明：光束分束器 ? (&)p~o  
Qz+hS\yx  
F9sVMV  
+w ;2kw  
说明：检测透镜系统 cMCGaaLU  
a)+;<GZ~  
z*cC2+R}=  
88)F-St  
说明：微型晶片 Q1fJ`A=  
~mqiXr8  
r>=)Y32Q  
8\+Q*7~@i  
说明：检测物镜 HMQi:s7%  
m'))prl  
i)Hjmf3  
jpl"KN?X  
说明：探测器 =tJ}itcJ'  
$YM>HZe-  
*CHLs^)   
LRqBP|bjCD  
结果：3D光线追迹（只有0级） 6R%Ra  
;+%(@C51GE  
p#VA-RSUQ|  
2qY`*Y.2  
结果：3D光线追迹（所有级） zj ;'0Zu  
TG\3T%gH/s  
vZHm'  
`u%`N j  
结果：光线追迹 [ 7W@/qqv  
5 ",@!1ju  
 B 4pJg  
wHSas[4k  
结果：场追迹 v !~lVv&  
1 m)WM,L  
 pDGX$1O"  
WD=#. $z$  
结果：线性偏振光的场追迹 1}A1P&2>  
1m*fkM#  
+Ar=89  
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