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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 sesr`,m.,  
<mjH#aSy  
任务/系统说明 -l+ &Bkf  
*/sVuD^b`  
wv>Pn0cO  
m3 C&QdjRp  
亮点 }0 0mJ]H(  
M p:c.  
 v%n'_2J =^  
s\_-` [B0  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） .\= GfF'  
 严格分析光栅衍射效率 %_;q<@9)  
 考虑入射光的方向分布 }`&#{>]2  
s Z(LT'}  
说明：光源 {>tgNW>)  
]|18tVXc  
9a9<I  
pXL_`=3Q  
说明：光束分束器 zuUf:%k}I  
z)xGZ*{=  
b)9bYkd  
q4@n pbx  
说明：检测透镜系统 A(X~pP &oF  
Zy,U'Dv  
`=Pn{JaD  
+6@".<  
说明：微型晶片 >DVjO9Kf  
pj;cL ]L  
\!j{&cJ  
8~AO~  
说明：检测物镜 I&Q.MItW  
I$xfCu  
\2 &)b  
_?#}@?  
说明：探测器 PeEf=3  
|VbF&*v`  
U4qp?g+:  
3ddH@Y|  
结果：3D光线追迹（只有0级） He}qgE>Us  
<\eHK[_*  
mG@xehH  
h~{TCK+I  
结果：3D光线追迹（所有级） e#JJd=  
ba& \~_4  
:"7V,UP @  
Bm2"} =  
结果：光线追迹 o#gb+[  
unKTa*U^q  
 ))V)]+  
f?kA,!  
结果：场追迹 Z12-Vps  
fiqeXE?E  
 ;W,XP#{W  
}D/0&<1  
结果：线性偏振光的场追迹 .P+om<~B  
Cp=DdmR  
-:b0fKn  
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