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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 x JQde 4  
\Azl6`Em  
任务/系统说明 6kK\nZ$o$  
z _~ 5c  
K, ae-#wgb  
9[N+x2q  
亮点 K'+GK S7.  
qPK3"fzH  
 :vz_f$=  
AF g*  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） RLOB  
 严格分析光栅衍射效率 UQgOtqL3  
 考虑入射光的方向分布 , |CT|2D>  
3@kiUbq7Eu  
说明：光源 h@7S hp  
!([Q1r{u  
M:z)uLDw  
WHk/Rg%<  
说明：光束分束器 lG;RfDI-  
^} P|L  
J?&lpsB3_l  
jbcJ\2  
说明：检测透镜系统 POwJhT  
4J Bm|Pf(  
.|}ogTEf  
d?C8rkV'  
说明：微型晶片 `X'-4/Y  
W|_ @ju  
}\k"azQ`  
S^? @vj  
说明：检测物镜 -K hXb  
i% 19|an  
<GC<uB |p  
+QT(~<  
说明：探测器 C2NJrg4(  
t33/QW r  
Nlemb:'eP3  
%B5.zs]Of  
结果：3D光线追迹（只有0级） ;|Id g"2  
[0U!Y/?6lA  
a@$U?=\e  
7K>FC T  
结果：3D光线追迹（所有级） Y0fX\6=h  
O3WhO@`6)  
rK )aR  
,TPNsz|Q  
结果：光线追迹 % \p:S)R  
 KoVy,@  
 7t=e"|^  
v*`$is+  
结果：场追迹 DP**pf%j  
12BTZ  
 H)S" `j  
6<jh0=$  
结果：线性偏振光的场追迹 (1p[K-J)r  
$BKGPGmh  
v1%rlP  
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