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infotek 2023-02-27 08:26

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 lAM)X&}0  
gEsD7]o(=  
任务/系统说明  ..E_M$}  
s=-?kcoJ2d  
y>0 @.  
o.NU"$\?  
亮点 +58^{_k+%  
:*,!gf  
 ] 9C)F*r7  
>*gf1"  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） !{CIP`P1  
 严格分析光栅衍射效率 ?m2FN< S  
 考虑入射光的方向分布 Y\_mq d  
O0z-jZ,])  
说明：光源 1}|y^oB\-  
4 qsct@K,  
5]]QW3  
Bf00&PE;  
说明：光束分束器 d!:/n  
Zy3F%]V0  
8aVQW_m}  
D$)F X(  
说明：检测透镜系统 5OGwOZAj52  
 +qj Z;5(  
.Qn#wub  
!gLJBp  
说明：微型晶片 /];N1  
T+P{,,a/]  
cwaR#-#  
J+ :3== ,  
说明：检测物镜 XS@iu,uO  
HI D6h!  
mD +9/O!  
$aTo9{M^  
说明：探测器 M_E$w$l2<  
"[["naa  
~!TrC <ft  
nY1PRX\  
结果：3D光线追迹（只有0级） AM!P?${a  
4jZt0  
b4$.uLY  
fy>3#`T-  
结果：3D光线追迹（所有级） ;MYK TE>m  
(0 t{  
lxXF8c>U  
U/q"F<?.c  
结果：光线追迹 u_ :gqvC=  
M-QQ  
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o%]b\Vl6  
结果：场追迹 <MhODC")  
O[1Q#  
 O>X!78]#K  
tJ d/u QJ  
结果：线性偏振光的场追迹 +BI%. A`2  
96F+I!qC  
2V9"{F?  
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