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2023-01-30 08:51 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
jb3.W 内容简介 TPK@*9rI Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 tW(+xu36 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 m^A]+G#/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 i~8DSshA U`1l8'W}:#
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 "5|\X<f 目录 BKZ v9 Preface 1 vgo{]:Aj{ 内容简介 2 ?K<ZkYw? 目录 i ^aptLJF 1 引言 1 w[sR7T9* 2 光学薄膜基础 2 ytz8=\p_b 2.1 一般规则 2 4>_d3_1sn 2.2 正交入射规则 3 f~*K {7 2.3 斜入射规则 6 x.\XUJ4x 2.4 精确计算 7 3agNB F2 2.5 相干性 8 n ,1tD 2.6 参考文献 10 6|oWaA\gI 3 Essential Macleod的快速预览 10 :t5uDKZ_j) 4 Essential Macleod的特点 32 $',3Pv 4.1 容量和局限性 33 !sG"n&uZq 4.2 程序在哪里? 33 {+\'bIV[ 4.3 数据文件 35 2&x7W* 4.4 设计规则 35 W>:kq_gT 4.5 材料数据库和资料库 37 nuxd S, 4.5.1材料损失 38 4 l1 i>_R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {_7Hz,2U 4.5.2 材料库 41 A8!Ed$@ 4.5.3导出材料数据 43 :d({dF_k;p 4.6 常用单位 43 IfB/O.;Kz 4.7 插值和外推法 46 eE9|F/-L 4.8 材料数据的平滑 50 ^W}MM8
' 4.9 更多光学常数模型 54 AsAFUuI 4.10 文档的一般编辑规则 55 H/`G 4.11 撤销和重做 56 E*^9|Y[ 4.12 设计文档 57 >b43%^yii 4.10.1 公式 58 e`AUYli" 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 IXJ6PpQLv 4.10.3 沉积密度 59 B.6`cM^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 *:j-zrwu& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 M5 `m.n< 4.10.4 性能 61 LfllO 4.10.5 保存设计和性能 64 +;6) 4.10.6 默认设计 64
QP V@'.2m 4.11 图表 64 \gd6Yx^[ 4.11.1 合并曲线图 67 jE*Ff&]%m 4.11.2 自适应绘制 68 pw;r 25 4.11.3 动态绘图 68 */Cj$KY70 4.11.4 3D绘图 69 OM{Dq| 4.12 导入和导出 73 O4N-_Kfp/ 4.12.1 剪贴板 73 0 {,h.: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 FT4l$g7" 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 FF3&Y^+^" 4.13 背景 77 JaFUcpZk$ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 yl]UUBcQ 4.15 生成Rugate 84 !%wdn33" 4.16 参考文献 91 ?rQc<;b 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _ .!aBy%xf 5.1 Jobs 92 Oj-r;Tt_G} 5.2 创建一个新Job(工作) 93 n.I2$._(b 5.3 输入材料 94 p;e$kg1 5.4 设计数据文件夹 95 Q ]0r:i=
. 5.5 默认设计 95 /4-}k 6 细化和合成 97 yXrd2?Rq@ 6.1 优化介绍 97 >fg4x+0 % 6.2 细化 (Refinement) 98 C/y(E|zC$ 6.3 合成 (Synthesis) 100 %i3{TL 6.4 目标和评价函数 101 uR^. 6.4.1 目标输入 102 7dHIW!OA 6.4.2 目标 103 Hh@2 m\HA 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?CFoe$M 6.5 层锁定和连接 104 H@4/#V|Uy 6.6 细化技术 104 -tMA 6.6.1 单纯形 105 "]UIz_^'`U 6.6.1.1 单纯形参数 106 DU`v J2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >"b[r 6.6.2.1 Optimac参数 108 3u4:l 6.6.3 模拟退火算法 109 M2L0c? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 'mUI-1GkT 6.6.4 共轭梯度 111 V $>"f( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <uC<GDO 6.6.5 拟牛顿法 112 8
#Fh> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 %b9fW 6.6.6 针合成 113 a-:pJE.'p 6.6.6.1 针合成参数 114 ozuIwzi7N 6.6.7 差分进化 114 EzUPah 6.6.8非局部细化 115 A-;^~I 6.6.8.1非局部细化参数 115 U&s(1~e\ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 H<XlUCr_~+ 6.7.1 细化 116 8lpzSJP4k 6.7.2 合成 117 YLigP"*~^ 6.8 参考文献 117 3r`<(%\ 7 导纳图及其他工具 118 6$DG.p 7.1 简介 118 aTX]+tBoe 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ^7<[}u;qF 7.2.1 四分之一波长规则 119 !YIb 7.2.2 导纳图 120 ij!*CTG 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 g&XhQ.aa 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {n6\g]p3 7.5 斜入射导纳图 141 OFQ{9 7.6 对称周期 141 TRo4I{L6S 7.7 参考文献 142 @EYK(QS- 8 典型的镀膜实例 143 tbY SK 8.1 单层抗反射薄膜 145 [{?;c+[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j $KM9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Z+Xc1W^ 8.4 W-膜层 148 F46O!xb% 8.5 V-膜层 149 \1~I04'= 8.6 V-膜层高折射基底 150 N:d
D*[QZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 .1 Vu-@ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @
E >eq.m 8.9 四层抗反射薄膜 153 dbg|VoNf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 5"[yFmP* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9X.gg$P 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 _m" ^lo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Na-q%ru 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 )S#j.8P'B 8.15十五层宽带抗反射膜 159 yTP[,bM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y5Ft96o))x 8.17 1/4波长堆栈 162 u^!&{ q 8.18 陷波滤波器 163 >d'EInSF 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 UJ
O]sD`i 8.20 褶皱 165 A7.JFf> 8.21 消偏振分光器1 169
KzIt 8.22 消偏振分光器2 171 o%$<LaQG5 8.23 消偏振立体分光器 172 ]S*E 8.24 消偏振截止滤光片 173 8Er[M 8.25 立体偏振分束器1 174 6NU8HJp 8.26 立方偏振分束器2 177 2YaTT& J 8.27 相位延迟器 178 0@:Y>qVa 8.28 红外截止器 179 P"2Q&M_/ 8.29 21层长波带通滤波器 180 2n _T2{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 G[y&`Qc)G 8.31 55层短波带通滤波器 182 N"&$b_u[ 8.32 47 红外截止器 183 G#^m<G^M 8.33 宽带通滤波器 184 DS.39NY 8.34 诱导透射滤波器 186 ,.J<.#D3J 8.35 诱导透射滤波器2 188 C:WtCAm( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 )`e^F9L 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $>nkGb%Kp 8.35 增益平坦滤波器 193 M^Q&A R'F 8.38 啁啾反射镜 1 196 h5<T.vV 8.39 啁啾反射镜2 198 =%:JjgKc*t 8.40 啁啾反射镜3 199 $,p.=j;P 8.41 带保护层的铝膜层 200 f2BS[$oV4 8.42 增加铝反射率膜 201 ;L#LDk{Za 8.43 参考文献 202 R (t!xf 9 多层膜 204 V+P8P7y37B 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Z3LQl( 9.2 内部透过率 204 5?<|3 9.3 内部透射率数据 205 rE!G,^_{ 9.4 实例 206 S(@*3]!q 9.5 实例2 210 ru#T^AI*^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 *2w_oKE'+5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i!s~kk 10 光学薄膜的颜色 216 Lw!?T(SK 10.1 导言 216 i=,B88ko 10.2 色彩 216 o'9OPoof:. 10.3 主波长和纯度 220 FSI]k: 10.4 色相和纯度 221 ~)WfJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;5,`Jpca 10.6 色差 226 2&zn^\%" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?6_"nT*} 10.8 颜色渲染指数 234 Dwm@E\^ihm 10.9 色差计算 235 5<'n 10.10 参考文献 236 H>gWxJ
5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 :Vu7,o 11.1 短脉冲 238 *[XN.sb8E 11.2 群速度 239 +&&MUT{
3 11.3 群速度色散 241 KZ367&>b7 11.4 啁啾(chirped) 245 ]1YYrgi7 11.5 光学薄膜—相变 245 SSSDl$}'t 11.6 群延迟和延迟色散 246 X}n&`y{/ 11.7 色度色散 246 J)#59a 11.8 色散补偿 249 LAu+{'O\ 11.9 空间光线偏移 256 nR=2eBNf 11.10 参考文献 258 +An![1N, 12 公差与误差 260 gxBl1 12.1 蒙特卡罗模型 260 =B3!jir 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Res"0Q 12.2.1 误差工具 267 9RCB$Ka6X 12.2.2 灵敏度工具 271 *il]$i 12.2.2.1 独立灵敏度 271 . }-@;:yh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 f 4
Sw,A 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 es*_Oo1 12.3 参考文献 276 e+d6R[`M 13 Runsheet 与Simulator 277 J
pCZq
# 13.1 原理介绍 277 Z
L6~Eut 13.2 截止滤光片设计 277 p``;!3~~ 14 光学常数提取 289 :$X4#k< 14.1 介绍 289 A~yw8v5UF 14.2 电介质薄膜 289 i;uG:,ro 14.3 n 和k 的提取工具 295 5VoOJ_hq 14.4 基底的参数提取 302 E9 80yXJR 14.5 金属的参数提取 306 {Q#Fen
;y| 14.6 不正确的模型 306 4N%2w(,+8 14.7 参考文献 311 h0Sy']3m 15 反演工程 313 zBrWm_R5T 15.1 随机性和系统性 313 2F*Dkv 15.2 常见的系统性问题 314 ZmR[5 mv@ 15.3 单层膜 314 &t9XK 8S 15.4 多层膜 314 l1iF}>F2 15.5 含义 319 sJjl)Qs)T 15.6 反演工程实例 319 /pSUn"3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 RT_Pd\(qD 15.6.2 反演工程提取折射率 327 "0!eb3n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 hK9t}NE.O 16.1 光学性质的热致偏移 329 Xdp`Z'g 16.2 应力工具 335 qMW%$L\HA 16.3 均匀性误差 339 8g2-8pa{ 16.3.1 圆锥工具 339 6\S$I5 16.3.2 波前问题 341 R;Gl{ 16.4 参考文献 343 r-\T}e2Gz 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 X T)hPwg. 17.1 引言 345 ;'WzfJ!q 17.2 操作数 345 zDGg\cPj9 18 如何在Function中编写脚本 351 4LB9w21 18.1 简介 351 &d|VH y+ 18.2 什么是脚本? 351 0[$Mo3c+' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6{Cu~G{]N 18.4 基础 352 >w]k3MC 18.4.1 Classes(类别) 352 >1)@n3. <O 18.4.2 对象 352 ,N@Icl 18.4.3 信息(Messages) 352 YVg}q#
18.4.4 属性 352 +(h6{e%) 18.4.5 方法 353 0u&?Zy9& 18.4.6 变量声明 353 G+QNg.pH 18.5 创建对象 354 1l`s1C 18.5.1 创建对象函数 355 ;]#4p8lh+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 n\8[G[M 18.5.3 丢弃对象 356 xjn8)C 18.5.4 总结 356 f)s_e 18.6 脚本中的表格 357 ^1FZ`2u; 18.6.1 方法1 357 ]rX?n 18.6.2 方法2 357 coP$7Q . 18.7 2D Plots in Scripts 358 /NN[gz 18.8 3D Plots in Scripts 359 $M3A+6["H 18.9 注释 360 w]5f3CIm 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 gkq RO19 18.11 一个更高级的脚本 362 xfF&$K" 18.12 <esc>键 364 /x8C70W^ 18.13 包含文件 365 @ !O&b%8X% 18.14 脚本被优化调用 366 51;%\@= 18.15 脚本中的对话框 368 _%p9B#X<> 18.15.1 介绍 368 JjTzq2'% 18.15.2 消息框-MsgBox 368 J-%PyvK$? 18.15.3 输入框函数 370 Z :i"|; 18.15.4 自定义对话框 371 r|H!s, 18.15.5 对话框编辑器 371 XX5(/# 18.15.6 控制对话框 377 'N5r2JL[w 18.15.7 更高级的对话框 380 d&R\7)0 18.16 Types语句 384 ADl>~3b 18.17 打开文件 385 mX_Uhpw?t 18.18 Bags 387 Y*X6lo 18.13 进一步研究 388 bHo?Rw!. 19 vStack 389 u1|Y;* 19.1 vStack基本原理 389 Z We$(? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 d8q$&(]< 19.3 五棱镜 393 ]H9HO2wGQ 19.4 光束距离 396 g:e8i~ 19.5 误差 399 @LMV ? 19.6 二向分色棱镜 399 9(evHR7 19.7 偏振泄漏 404 *[5#g3 19.8 波前误差—相位 405
T9;o.f S 19.9 其它计算参数 405 _itN.^ 20 报表生成器 406 T+{'W 20.1 入门 406 XxU}|jTO# 20.2 指令(Instructions) 406 P}u<NPy3Q 20.3 页面布局指令 406 6Q?6-,?_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 x)sDf!d4bi 20.5 表格中的常见参数 408 5xV/&N 20.6 迭代指令 408 !I+u/f?TO7 20.7 报表模版 408 j9fL0$+FI 20.8 开始设计一个报表模版 409 6!=9V0G~ 21 一个新的project 413 cFNtY~(b 21.1 创建一个新Job 414 E2/U']R 21.2 默认设计 415 ?[fl$EG 21.3 薄膜设计 416 S5 oHe4#89 21.4 误差的灵敏度计算 420 gR6T]v 21.5 显色指数计算 422 o;-!?uJ 21.6 电场分布 424 !-o||rt 后记 426 =,;3z/k% 有兴趣扫码加微联系[attachment=116079] ,&l | |