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infotek 2023-01-18 08:30

高NA物镜聚焦的分析

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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 o\`>c:.  
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q+a.G2S  
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建模任务 R 4wr  
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概观 O!Wd5Y  
H<ZU#U0FZf  
O}#yijU3e  
光线追迹仿真 ]Y.deVw3i  
Ze!92g  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 BwJuYH7QJ$  
m= b~i^@  
•点击Go! C2<CWPn<  
•获得3D光线追迹结果。 @("}]/O V:  
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光线追迹仿真 n+D#k 8{  
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2D([Z-<i  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ?A7Yk4Y.?N  
•单击Go! fw{,bJ(U  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 y~F<9;$=  
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hN(L@0)  
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场追迹仿真 L"rcv:QWZa  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 PM4>ThQ  
•单击Go! vZajT!h  
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场追迹结果(摄像机探测器) B; -2$ 77  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 RI@*O6\/I  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 3:|-#F*k{  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 '1]7zWbW  
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场追迹结果(电磁场探测器) ^t78jfl  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 :HW>9nD.  
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