基于激光干涉仪技术的精密线性测量系统
jk) V[7P
数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点，广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度，需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查，这样才能保证加工产品的质量。线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。 G4=%<+
~ EE*/vX
线性测量构建 @*A(#U8p3
进行线性测量需使用到“线性干涉镜”（由分光镜和角锥反射镜A组 成）和“线性反射镜”（角锥反射镜B）。激光从SJ6000主机（激光头）出射，通过分光 镜后将分成两束激光，一束激光为通过角锥反射镜A的参考光，另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光，通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。 )Ky 0q-W
[attachment=115716] {lx^57v
线性测量原理构建图 [attachment=115717] ~) sb\o
水平轴的线性测量示意图 [attachment=115718] Kgk9 p`C(
垂直轴的线性测量示意图 "AUY+ LN
|p .mA-81
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量，主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。[attachment=115719] Z+ I[
[attachment=115720] @ iao"&
数控机床的线性测量 [attachment=115721] 9~Q .[ A
数控机床倾斜轴的线性测量 qhL e[[>
EDL<J1%
线性测量步骤： f<0-'fGJd
1、设置激光器系统以执行线性测量； e,:@c3I
2、使激光束与机床的运动轴准直； e?RHf_d3T-
3、启动自动环境补偿功能，确保在软件中输入正确的材料膨胀系数； ?6t uo:gP
4、测量和记录机床的线性误差； JF24~ Q4P
5、分析数据。 GS< ,adD
lZ/Yp~2S
注意事项 Q9FY.KUM
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候，光路调节困难，这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。 vTP'\^;
2、使用光靶能简单准直激光束 RHVMlMX
3、在开始测量时，或者在返程测量时激光干涉仪不踩点，可能原因有： ]5uCs[
（1）光强太弱； \T<?=A
（2）当返回测量时，激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确，或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。 .VTHZvyn
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向，一定要正确组合线性反射镜组。 1 9;\:tN
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。 :N%]<Mq
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化，所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。 V&)-u(s_S/
7、测试工作完成后，应先将激光头电源关掉，关闭电脑。 IjJ3CJ<
|