二元光栅设计流程

>t, O2~   具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。 ^?sSx!:bZ   y^YVo^3   高效偏振无关透射光栅的分析与设计 &[)D]UL   [k~C+FI        zi_[V@Es/   我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元结构以获得高偏振无关的衍射效率。 hOn   r"[L0Cbb   倾斜光栅的参数优化与公差分析 "MTq{f2?   85Dm8~        qu!<lW~c   利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。

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