| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 :W.H#@'(
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 O] @E8<?^
Y4rxnXGw
1）标量衍射理论设计 \ %Mcvb.?
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 %e~xO x
DpRMXo[
[attachment=115539] (/A.,8Ad
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "w:h
@7Ec(]yp
[attachment=115538] ^H x}.?1
（b）达曼光栅衍射效率 @IL04' \
(VeK7cU
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 -8 uS#
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 " `qk}n-
$9 4lF~
[attachment=115534] B4y _ {V
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 2FMmANH0ev
0t7N yKU
[attachment=115535] i!a!qE. 1
（b）达曼光栅衍射效率 Z[#8F&QV!m
G"/;Cq=t
3）rsoft仿真 eC-& .Fl
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） p:~#(/GWf
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[attachment=115540] YK/? mj1x
（a）标量衍射结果结构图 =t,oj6P~
}b4 56J
[attachment=115541] A %^?z.
（b）衍射效率 *j3 U+H V
jr` swyg
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 RN`TUCQL
I): c#
[attachment=115537] 1S?~ c25=h
（a）矢量衍射结果结构图 jwI2T$
{y"K n'1
[attachment=115536] Nw"df=,{
（b）衍射效率 ^(q .f=I!a
k6#$Nb606
2、偶数型达曼光栅设计 && ]ix3
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 1)~ |{X+~
[attachment=115542] }ILBX4c
（a）结构图 b$@I(.X:
e)}E&D;${
[attachment=115543] |>ztx}\
（b）衍射效率 ja9u?UbW
q]4h#?.-1v
[attachment=115545] ef'kG"1
（a）结构图 H,D5 )1Uu
X5o*8Bg4M
[attachment=115544] "mn?*
（b）衍射效率
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