| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 D;V[9E=g/
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Z)W8Of_
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1）标量衍射理论设计 g) u%?T
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 q%d G>!
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[attachment=115539] +n;nvf} (
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） f( m, !
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[attachment=115538] Ur vUt$WO
（b）达曼光栅衍射效率 KN|<yF
m fQ#n!{ZH
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 xeU| 5-d'
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ~#* C,4m
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[attachment=115534] A%.mIc.
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） v&YeQC>
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[attachment=115535] 1^WGJ"1
（b）达曼光栅衍射效率 tf~B,?
w I_@
3）rsoft仿真 8~o']B;lJ
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） eTS} -
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[attachment=115540] H>EM3cFU
（a）标量衍射结果结构图 .Az36wD
U8Y% rFh1
[attachment=115541] z5fE<=<X_W
（b）衍射效率 Sr aZxuPg>
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 CjQO 5
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[attachment=115537] :x\[ aG9
（a）矢量衍射结果结构图 `-L?x2)U
q`<:CfCt
[attachment=115536] yV{B,T `W
（b）衍射效率 j~ qm$ 'H
o{s2T)2
2、偶数型达曼光栅设计 +NPL. b|
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 E Jk HPn
[attachment=115542] >D,Oa v
（a）结构图 RehmVkT
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[attachment=115543] R{#< NE
（b）衍射效率 t/i I!}
q3$8 "Q^
[attachment=115545] c|Iv et>3
（a）结构图 ;l@94)@0
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[attachment=115544] +94)BxrY
（b）衍射效率
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