| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 + }1h
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 {,xI|u2R
Qf|x]x*5
1）标量衍射理论设计 uy'm2
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 {x_SnZz &
y.vYT{^
[attachment=115539] 6bPoC$<Z
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） qV]p\/a.
f4[fXP ;A
[attachment=115538] XK#~w:/fB
（b）达曼光栅衍射效率 ^#i3JMq
A.- j 5C4
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 3<F\ 5|
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 I
"Qf};n
<KY \sb9
[attachment=115534] y950Q%B]
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4f~ c# 0?
v\lhbpk
[attachment=115535] 8`g@
)]Iy
（b）达曼光栅衍射效率 6="Qwrk
n $Nb,/o
3）rsoft仿真 } SD*@w
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） >%6a$ r~@
vtx3a^
[attachment=115540] G42J
（a）标量衍射结果结构图 JJC Y M
"2'4b
[attachment=115541] 3(o}ulp
（b）衍射效率 oyw*Z_ 9~
)}!Z^ND*
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
]F 'o
1PG Y /c
[attachment=115537] Q+<{2oVz
（a）矢量衍射结果结构图 <[l0zE5Z8'
V8KdY=[
[attachment=115536] { 4]sJT
（b）衍射效率 2 eC `^
vM3 b\y p
2、偶数型达曼光栅设计 y V.E+~y
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 L/Tsq=
[attachment=115542] <ztcCRov
（a）结构图 xVnk]:c
reP)&Fo
[attachment=115543] >PbB /->
（b）衍射效率 Ty&O k*
g$/C-j4A[
[attachment=115545] I@/s&$ H`l
（a）结构图 gI T3A*x
`/"*_AKAI
[attachment=115544] /`kM0=MM a
（b）衍射效率
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