| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 ;^
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 MmPU7Nl%X
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1）标量衍射理论设计 EqiFy"H
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ,y` CRlr:
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[attachment=115539] @K223?c8l
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） cHA7Kg !
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[attachment=115538] PupM/?57
（b）达曼光栅衍射效率 6dH }]~a
Jo(`zuLJ
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 s1Ok |31|
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 `cz2DR-"
A$0H
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[attachment=115534] (;x3} ]
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） IH48|sa
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[attachment=115535] Ok5<TZ6t4k
（b）达曼光栅衍射效率 a ?}
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3）rsoft仿真 FLal}80.o:
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） l5%G'1w#,j
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[attachment=115540] CQ7{1,?2
（a）标量衍射结果结构图 A61^[Y,dX_
X5fmz%VK@
[attachment=115541] ( m\$hX
（b）衍射效率 +;BAV
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 cEW0;\$
vr#+0:|
[attachment=115537] e+ v({^k
（a）矢量衍射结果结构图 q/3ziVd7p
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[attachment=115536] &wd;EGGT!q
（b）衍射效率 j.~!dh$mg
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2、偶数型达曼光栅设计 jdKO b
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 /[:d p<
[attachment=115542] /-zXM;h
（a）结构图 rrg96WD
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[attachment=115543] v}@xlB=
（b）衍射效率 7*j
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[attachment=115545] 6-`|:[Q~
（a）结构图 HS'Vi9
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[attachment=115544] 4v
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（b）衍射效率
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