| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 W -&5
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 1YL5 ![T
K(S/D(\
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1）标量衍射理论设计 c
@R 6p+
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 | &vuK9q
{c; 3$
[attachment=115539] Ymom 0g+ f
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） lX 3h' h
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[attachment=115538] *E'K{?-K
（b）达曼光栅衍射效率 X3yr6J[ ^
(=9&" UH
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
V ;jz 0B
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 g!ww;_
-&}E:zoe
[attachment=115534] ZbUf|#GTB
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 'o L8Z
^cm^JyS)
[attachment=115535] zdE^v{}|
（b）达曼光栅衍射效率 d 9"4m>ymS
Km7
3）rsoft仿真 {J$aA6t:"T
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ): 6d_g{2
wQT'~'kL
[attachment=115540] 1S.~-K*X
（a）标量衍射结果结构图 @AOiZOH
HenJlo
[attachment=115541] !=:c8V
（b）衍射效率 *b EsWeP
:F&WlU$L
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 /&yT2p
t=AR>M!w~
[attachment=115537] UZ#2*PH2E
（a）矢量衍射结果结构图 ;H lv
`Z-`-IL
[attachment=115536] @#apOoVW>
（b）衍射效率 %L 3 ]l
nP^$p C
2、偶数型达曼光栅设计 o6 /? WR 9
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 zKNk(/y
[attachment=115542] eORt
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（a）结构图 3nO|A: t
*C \O] r:'
[attachment=115543] '#PT C,0UJ
（b）衍射效率 N2>JG]G
U{EW +>
[attachment=115545] N!AFs WV
（a）结构图 '& d4x c
^ ;a[v^&9
[attachment=115544] :Lx]`dSk
（b）衍射效率
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