| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 n8u*JeN
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 7&+Ys
<2< 87 PU
1）标量衍射理论设计 QVtM.oi!Q
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 URw 5U1
OCK>%o$[
[attachment=115539] g_q<ze
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） E\$C/}T
2|{V,!/cvG
[attachment=115538] >emcJVYV`[
（b）达曼光栅衍射效率 ]tY:,Mfs
c 1%rV`)]
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 y LM"+.?pL
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 :(p )1=I
%| +E48
[attachment=115534] 5 <+K R.W
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 1mH\k5xu
Z<"K_bj
[attachment=115535] 4l @)K9F
（b）达曼光栅衍射效率 |/T43ADW
B42sb_
3）rsoft仿真 LM"y\q ]
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） CdZ BG
#/
"+
[attachment=115540] a$JLc a
（a）标量衍射结果结构图 79BaDB`{a
BX< dSK
[attachment=115541] E\ th%q,mG
（b）衍射效率 lZWX7FO'
L*]0" E
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 DtF}Qv A
PDP[5q r
[attachment=115537] ax|1b`XUr"
（a）矢量衍射结果结构图 FWY2s(5p
`78V%\
[attachment=115536] r;m`9,RW
（b）衍射效率 2Z/K(J"&J
2R.2D'4)`
2、偶数型达曼光栅设计 >M;u*Go`QO
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 I%lE;'x
[attachment=115542] + WDq =S
（a）结构图 i::\Z$L";i
.}`hCt08
[attachment=115543] #T3 h}=
（b）衍射效率 IL!=mZ>2O
`<fh+*
[attachment=115545] sl|_=oXT
（a）结构图 DQ XS$uBT
P Q U]l"A
[attachment=115544] 0q6I;$H
（b）衍射效率
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