| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 E?^A+)<"
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 %q5iy0~P
Z<~^(W7h
1）标量衍射理论设计 ("rIz8b
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Fwfe5`9'
jY8u1z
[attachment=115539] Rss=ihlM
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） gA~faje
:rX/I LAr
[attachment=115538] K}YOs.
（b）达曼光栅衍射效率 u9^R
?y
^bckl
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Bl8&g]dk
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 wA>bL PTw
5j BBk*/\
[attachment=115534] ^p !4`S
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） >6cENe_@t
y1zep\-D
[attachment=115535] ?$\y0lHw/7
（b）达曼光栅衍射效率 {r?qI
wfc[B;K\
3）rsoft仿真 ne\N1`AU
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） X>6VucH{\
u #m(Py
[attachment=115540] q'p >__Ox
（a）标量衍射结果结构图 L7qlvS Q
m ca 9 +v
[attachment=115541] L u?)Rya
（b）衍射效率 vXi}B
Q|W!m0XO
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 e{x|d?)8
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[attachment=115537] C JNz J(
（a）矢量衍射结果结构图 8!AMRE
j']Q-s(s
[attachment=115536] 07dUBoq
（b）衍射效率 oNV(C'A
(B zf~#]~
2、偶数型达曼光栅设计 pY 9>z;qD
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 <AB.`["
[attachment=115542] ^2PQ75V@.
（a）结构图 ^D0BG C&&
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[attachment=115543] ~- w
（b）衍射效率 XU#nqvS` .
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[attachment=115545] |V|)cPQ
（a）结构图 HG%H@uK
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[attachment=115544] (u
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（b）衍射效率
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