| yalx |
2022-12-03 16:22 |
达曼光栅设计
1、奇数型达曼光栅设计 O|A~dj `
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ;u4@iN}p
hY\Eh.
1）标量衍射理论设计 Jnh;;<
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 <~IH`
"Nk=g~|
[attachment=115539] /\IAr,w[
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） d
A_S"Zc
B:R7[G;1
[attachment=115538] @d8&3@{R^
（b）达曼光栅衍射效率 $ Uv<LVd(
9,Crmbw8
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 7I2a*4}
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 / K2.V@T
| TQedC
[attachment=115534] ,kG w;8X
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <> &e/
EOd.T yb!/
[attachment=115535] ];d5 X
（b）达曼光栅衍射效率 orcZ yYU
W TXD4}
3）rsoft仿真 }J'5EAp
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） f)u*Q!BDD
u8{@PlS
[attachment=115540] } kh/mq
（a）标量衍射结果结构图 (Fbm9(q$d
[0**&.obz
[attachment=115541] YW4b m
（b）衍射效率 d y8In%
~P"!DaAf
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 |p=.Gg=2
vV:M S O'r
[attachment=115537] o3\SO
（a）矢量衍射结果结构图 :*F3
~u~[E
[attachment=115536] Y*5@|Q
（b）衍射效率 ZF/J/;uI
( > +k 3
2、偶数型达曼光栅设计 N%n1>!X)!
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ..Uw8u/
[attachment=115542] ' 5OVs:)"^
（a）结构图 x[.z"$T @
}jyS\drJ
[attachment=115543] uV/HNzC
（b）衍射效率 ]"2 v 7)e
+s*l#'Q
[attachment=115545] " t%1@b*u
（a）结构图 \^; |S
Nak'g/uP>
[attachment=115544] Q'Q72Fg
（b）衍射效率
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