薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 aWP9i&
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正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 {Q`Q2'@
)jjaY1E

正弦光栅—透射相位曲线 zyt >(A1
C~nL3w

正弦光栅—衍射效率 sheCwhV
; 3sjTqD

正弦光栅—效率与周期 Um*&S.y
t8.3

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ;hEeFJ=/G
K*p3#iB

闪耀光栅—效率与高度（TEA） Wdga(8t
O3#eQs

闪耀光栅—透射相位曲线 ^f,%dM=i=
l|;]"&|_]c

闪耀光栅—衍射效率 M~+DxnJ=
XK)0Mt\

闪耀光栅—效率与周期 Yn0iu$;n
}'n]C|gZ

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 yW"[}Lh4
>Pvz5Hf/wW

VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 5Yww,s
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