薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 cU\Er{ k
'I|A*rO

正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 Yk',a$.S
>sAZT:&gv

正弦光栅—透射相位曲线 G#.(%,
\Q.Qos

正弦光栅—衍射效率 Lq@pJ)a
DXPiC[g]

正弦光栅—效率与周期 TK.a6HJG
2.)@u~^Q

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 y=y=W5#;77
iTTe`Zr5y

闪耀光栅—效率与高度（TEA） 5p6Kq=jhb
wD>tR SW

闪耀光栅—透射相位曲线 XWvT(+J
4`@]jm

闪耀光栅—衍射效率 g]|K@sm
ZbTU1Y/'

闪耀光栅—效率与周期 zHi+I7
=jvM$

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 G)\s{qk
MdK!Y

VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 TkhbnO g6
5)4*J.

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