薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 -O\fy!
dL~^C I

正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 vl~HV8MAv
w'9!%mr

正弦光栅—透射相位曲线 RKZBI?@4
1je/l9L

正弦光栅—衍射效率 %K,cGgp^)
;p7R~17

正弦光栅—效率与周期 YP[8d,
.<Ays?

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ttls.~DG
-3 Sb%V\

闪耀光栅—效率与高度（TEA） `q`ah_
>cpv4Pgm

闪耀光栅—透射相位曲线 *U}-Y*
X(BX+)YR

闪耀光栅—衍射效率 L2_[M'
_BONN6=*y

闪耀光栅—效率与周期 HCCq9us
#;5Qd'

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 +SE\c
7yXJ\(6R_

VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构

• 分析光栅衍射效率

• 通过参数运行检查不同参数的影响

VirtualLab Fusion技术 TvS<;0~K
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