锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

建模任务

    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样 J#Bz)WmR
#kLM=a/_NO


某一位置的Talbot图样 Y8\Ms^rz
D@DK9?#

不同位置的Talbot图样 tHJ1MDw'
168U-<

不同位置的Talbot图样 :JW~$4
kwWO1=ikz@

沿Z轴的强度 KgAc0pz{7H
+Tq _n@

走进VirtualLab Fusion S'ikr
hH@018+


VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构


 通过参数运行计算不同位置的强度

VirtualLab Fusion技术 W_iP/xL
(\WePOy&

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