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infotek 2022-10-20 09:12

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 BZJ\tPSR  
fL xGaOT  
h#hx(5"6  
9Wu c1#  
建模任务 Y"{L&H `  
Cs:?9G  
s=S9y7i(R  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Fb2,2Px  
     PL/g@a^tY  
某一位置的Talbot图样 ;C ^!T  
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   %wFz4 :  
某一位置的Talbot图样 R"wBDWs  
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不同位置的Talbot图样 -1_WE/Ps  
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不同位置的Talbot图样 -/V,<@@T  
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沿Z轴的强度 ^ABt g#  
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走进VirtualLab Fusion o5@d1A  
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VirtualLab Fusion的工作流程 "[QQ(]={  
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 构建光栅结构 *b}/fG)XZ  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 =dT  #x  
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VirtualLab Fusion技术 l\/uXP?  
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