首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 锥形相位掩模的Talbot像 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2022-10-20 09:12

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ??tyz4$;  
.),%S}  
6||zwwk'.  
w5uOi}T\  
建模任务 yyZ}qnbx]  
OU+oS,  
<1#v}epD#  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) b5u_x_us|  
     G!},jO*"  
某一位置的Talbot图样 F#S^Q`  
-AwR$<q'  
 W70J2  
   Ql8E9~h  
某一位置的Talbot图样 u,<I%  
ct='Z E  
 r:.5O F}  
*yp}#\rk  
不同位置的Talbot图样 [OFg (R-  
OoOKr  
 G4g <PFx  
^)=c74;;  
不同位置的Talbot图样 \z!*)v/{-  
.&d]7@!qy  
 %jEdgD%xV  
S^|Uzc  
沿Z轴的强度 5P_%Vp`B2  
O)C y4[  
 rq'Cj<=Zj  
pQr `$:ga  
走进VirtualLab Fusion hU=n>g>nx  
.lrI|BH?z  
 '/+l\.z"&  
     Ys,}L.  
VirtualLab Fusion的工作流程 \eD#s  
.um]1_= \  
 构建光栅结构 lO},fM2j  
CU)'x E  
vU Bk oC2Q  
     :Bc)1^ I  
 通过参数运行计算不同位置的强度 zp[Uh]-dMK  
hKv3;jcd  
     >*rsRR  
vH_QSx;C#  
     ~6!{\un   
VirtualLab Fusion技术 Y%!3/3T  
D*3\4=6x  
查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计