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infotek 2022-10-20 09:11

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 St?vd+(>  
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建模任务 6(wpf^br2  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 4ed( DSN  
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某一位置的Talbot图样 9nB:=`T9  
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某一位置的Talbot图样 >XA#/K  
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不同位置的Talbot图样 n U/v(lN  
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不同位置的Talbot图样 B4I|"5G2y  
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沿Z轴的强度 kz+P?mopm  
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走进VirtualLab Fusion i_V~SC`  
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VirtualLab Fusion的工作流程 7kHEY5s "  
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 构建光栅结构 m"NZ;*d'  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 z6$W@-Vd  
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VirtualLab Fusion技术 EG2NE,,r  
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