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danieltsai06	2022-10-13 11:29
為什麼SiO2開APC會吸收? 如題, 離子源氧氣開大也是會吸收, APC打開也會吸收, O2不是會降低吸收嗎?

tearzhou	2022-10-14 08:40
此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射 zII\|9y 另一个就是你氧气纯度

danieltsai06	2022-10-14 15:11
tearzhou:此吸收非吸收，气体太多，真空度变差会造成膜层不够致命，SIO2膜层不够致命造成的散射 Gi\|w}j_ 另一个就是你氧气纯度 (2022-10-14 08:40) 2G& a{ vFzRg5lH 謝謝，終於解惑了。

comebackz	2022-11-02 09:33
不错........

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