JCMSuite应用--线型光栅

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这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。
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光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。
S偏振照明的近场强度
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P偏振照明的近场强度 5$0@f`sj

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傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 L,V\g^4$K
|H 0+.f;
参数扫描 hu.c&Q>
wmdvAMN
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 msOk~ZPE6\
-S\74hA
它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度：
&S9Sl
i]!CH2\
在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。
CsG1HR@

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