OptiBPM：创建一个多模干涉星型耦合器

s~(`~Y4   在完成教程1、2和3后，你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序： eVMnI yr   • 生成材料 <nk/w5nKL   • 插入波导和输入平面 :## $-K*W"   • 编辑波导和输入平面的参数 oc-&}R4=   • 运行仿真 EVqqOp1$v4   • 选择输出数据文件 g51UIN]o-   • 运行仿真 X*7VDt=   • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 7fWZ/;p   vAG|Y'aO@%   教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上，对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息，可参阅之前课程中提供的操作。 'tMD=MH   'e<8j   本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2：创建一个简单多模干涉星型（下文简称为MMI）耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下： N6BOUU]   • 定义MMI星型耦合器的材料 yZ=O+H   • 定义布局设置 w#BT/6 W&G   • 创建MMI星形耦合器 D5Rp<PBq,   • 运行模拟 0 r$n   • 查看最大值 er BerbEEH   • 绘制输出波导 Zonn   • 为输出波导分配路径 j7I?K :op=   • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 j)ln"u0R^B   • 添加输出波导并查看新的仿真结果 (8ct'Q;   • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 ^pY8'LF6   1. 定义MMI星型耦合器的材料 73u97oe>1       要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 w?*79 u       步骤 操作 ep5`&g]3   1) 创建一个介电材料： SCn)j:gH;       名称：guide _@)-#7   相对折射率(Re)：3.3 S~m8j|3K       2) 创建第二个介电材料 p/LV^TQ       名称： cladding ^XYK }J   相对折射率(Re)：3.27 Ke#Rkt       3) 点击保存来存储材料 fO#nSB/ 8   4) 创建以下通道： ?c"iV       名称：channel ?%ltoezf   二维剖面定义材料: guide D8*6h)~       5 点击保存来存储材料。 qOQ8a:]?   |G/)<1P   2. 定义布局设置 T#Bj5 H       要定义布局设置，请执行以下步骤。 "Il)_Ui       步骤 操作 O\=Zo9(NHF   1) 键入以下设置。 ^HuB40   a. Waveguide属性： *(wxNsK       宽度：2.8 plr3&T~,&S   配置文件：channel e`JWY9%       b. Wafer尺寸： +_*iF5\       长度：1420 3;uLBuZOCN   宽度：60 64"DT3:       c. 2D晶圆属性： \v{HjqVkC       材质：cladding I;?PDhDb       2) 点击OK，将此设置应用到布局中。 =l] lwA-   /c!^(5K fT   3. 创建一个MMI星型耦合器 I 5ZDP|       由于MMI星形耦合器中有四个输出通道，因此需要找到在教程2(教程2：创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述，这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 nsq7dhq       要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度，请执行以下步骤。 V+U89j1g       步骤 操作 k%sxA   1) 绘制和编辑第一个波导 ApggTzh@   a. 起始偏移量： ,j(E>g3       水平：0 sUiO~<Ozpk   垂直：0 {7$jwk       b. 终止偏移： v/vPU       水平：100 Ui1s ]R   垂直：0 d|W=_7z       2) 绘制和编辑第二个波导 {C8IYBm   a. 起始偏移量： ,@M<O!%Cs       水平：100 5vS[{;<&   垂直：0 R S>qP;V*-       b. 终止偏移： qf@P9M       水平：1420 +.rOqkxJ   垂直：0 L0{[L       c. 宽：48 &?xtmg<d       3) 单击OK，应用这些设置。

/74h+.amg   7dE.\#6r   ?h|DeD!s   4. 插入输入平面        要插入输入平面，请执行以下步骤。 S {+Z.P           步骤 操作1) 从绘制菜单中选择输入平面。 i;Kax4k   2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。        输入平面出现。 (KPD`l8.   3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。        出现“输入平面属性”对话框（参见图1）。 GZuWAa   4) 确保在“全局数据”选项卡中，Z位置：偏移量，值为2.000。     图1.输入平面属性对话框 Vvfd?G"   #IDLfQ5g   5. 运行仿真        要运行仿真，请执行以下步骤。 zR/mz)6_           步骤 操作1) 从“模拟”菜单中，选择“计算2D各向同性仿真”。 tef>Py           将显示“模拟参数”对话框。2) 在“全局数据”选项卡上，在“显示数量”中键入250。 B:cQsaty   3) 单击2D选项卡，确保选择了以下设置（参见图3）。 )>"Ky   偏振：TE网格-点数= 600 NweGK           BPM求解器：Padé（1,1）        引擎：有限差分 LZ&I<ID`-           方案参数：0.5传播步长：1.55 +n%8 *F&   边界条件：TBC注意：有关仿真参数的更多信息，请参阅OptiBPM用户指南。