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2022-09-06 11:15 |
基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
4QTHBT+2` 内容简介 W"GW[~
h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <f M}Kk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P%gA`j 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 @Z2np{X: >0W
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讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >7zC-3 目录 =/`]lY& Preface 1 t%%()!|)j 内容简介 2 @XXPJq;J 目录 i OF+4Mq 1 引言 1 JO+tY[q 2 光学薄膜基础 2 _+'!l'` 2.1 一般规则 2 &lLfVa-l 2.2 正交入射规则 3 0%dOi
ko 2.3 斜入射规则 6 `$S&:Q, 2.4 精确计算 7 >6HGh#0(p 2.5 相干性 8 b^Re947{g 2.6 参考文献 10 "ayV8{m^3 3 Essential Macleod的快速预览 10 mfN'+`r 4 Essential Macleod的特点 32 w.a9}GC 4.1 容量和局限性 33 cw{TS 4.2 程序在哪里? 33 7HBf^N. 4.3 数据文件 35 $`55 E( 4.4 设计规则 35 k$JOHru 4.5 材料数据库和资料库 37 849,1n^ 4.5.1材料损失 38 b&mA1w[W] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 PXkpttIE]M 4.5.2 材料库 41 O~6%Iz` 4.5.3导出材料数据 43 }b&lHr'Uw 4.6 常用单位 43 {MSE}|A\V 4.7 插值和外推法 46 _X~O6e-! 4.8 材料数据的平滑 50 V<J1.8H
4.9 更多光学常数模型 54 6UuN-7z!" 4.10 文档的一般编辑规则 55 CV.|~K0O 4.11 撤销和重做 56 oDMPYkpTu 4.12 设计文档 57 ^`'\eEa 4.10.1 公式 58 %DYh<U4N 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }!oEjcX' 4.10.3 沉积密度 59 ~x\uZ^: 4.10.4 平行和楔形介质 60 Syy{ ^Ae} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1o%#kf 4.10.4 性能 61 G
rp{
. 4.10.5 保存设计和性能 64 .R)P
|@z L 4.10.6 默认设计 64 9hfg/3t(' 4.11 图表 64 8 O9^g4? 4.11.1 合并曲线图 67 3NLn} 4.11.2 自适应绘制 68 Z%]K,9K 4.11.3 动态绘图 68 -smN}*3[ 4.11.4 3D绘图 69 )>:~XA|? 4.12 导入和导出 73 jRU:un4 4.12.1 剪贴板 73 1>j,v+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mi7?t/D1Z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Y~g{9 <! 4.13 背景 77 )|xu5.F 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 J
W@6m 4.15 生成Rugate 84 z7bJV/f 4.16 参考文献 91 9 A ?{}c 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5 ix*wu`, 5.1 Jobs 92 PJC(:R(j 5.2 创建一个新Job(工作) 93 BZ?3=S1* 5.3 输入材料 94 4 k<o 5.4 设计数据文件夹 95 $h{m")] 5.5 默认设计 95 4@@Sh`E: 6 细化和合成 97 ,r w4Lo 6.1 优化介绍 97 Hyy b0c^= 6.2 细化 (Refinement) 98 _w4G|j$C 6.3 合成 (Synthesis) 100 l5{60$g 6.4 目标和评价函数 101 ZyUcL_ 6.4.1 目标输入 102 sip4,>,E 6.4.2 目标 103 UJI2L-;Ul 6.4.3 特殊的评价函数 104 _M%S 6.5 层锁定和连接 104 z}!g2d 6.6 细化技术 104 Bdw33z*m 6.6.1 单纯形 105 O@T,!_Zf 6.6.1.1 单纯形参数 106 GpeW<%
\P 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 P[
:_"4U 6.6.2.1 Optimac参数 108 xR0T'@q 6.6.3 模拟退火算法 109 = UH3. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 kWXLncE 6.6.4 共轭梯度 111 eUA]OF@ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z!"vez 6.6.5 拟牛顿法 112 >>P5 4|& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S\).0goOW 6.6.6 针合成 113 U"k$qZ[ 6.6.6.1 针合成参数 114 lA5Dag' 6.6.7 差分进化 114 smf"F\Ws 6.6.8非局部细化 115 V%oZT>T3 6.6.8.1非局部细化参数 115 oZvG Kf 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q*3OWr 6.7.1 细化 116 ^z{szy?Fg 6.7.2 合成 117 ~(^P( 6.8 参考文献 117 xak)YOLRV 7 导纳图及其他工具 118 X/~uF9a'< 7.1 简介 118 +lx&$mr? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t@qf/1 7.2.1 四分之一波长规则 119 AEyvljv 7.2.2 导纳图 120 uAn}qrqE9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 8F}drK9>F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 z%wh|q 7.5 斜入射导纳图 141 Q1,sjLO-a 7.6 对称周期 141 bC<W7qf]} 7.7 参考文献 142 D<S C
` 8 典型的镀膜实例 143 @sXv5kZ: 8.1 单层抗反射薄膜 145 Y %"Ji[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Za:j;u
Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Y MX9Z|| 8.4 W-膜层 148 {~U3|_"[pX 8.5 V-膜层 149 bF"l0
jS 8.6 V-膜层高折射基底 150 :o'x?] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5RP kAC 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )E}v~GW.+ 8.9 四层抗反射薄膜 153 <CyU9`ye 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 q)k:pQ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 tk"+ u_u w 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1t
R^ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 '$9o(m# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :$WO"HfMSn 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |[*Bn3E: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $h#sb4ek 8.17 1/4波长堆栈 162 {X!OK3e 8.18 陷波滤波器 163 #a8kA"X 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 IzP,)!EE 8.20 褶皱 165 Ir9GgB 8.21 消偏振分光器1 169 IVR%H_uz 8.22 消偏振分光器2 171 1MN! 8.23 消偏振立体分光器 172 3^sbbm.8 8.24 消偏振截止滤光片 173 N,(! 8.25 立体偏振分束器1 174 q(KjhM 8.26 立方偏振分束器2 177 ]S6Gz/4aV+ 8.27 相位延迟器 178 /LD3Bb)O 8.28 红外截止器 179
I1Q!3P 8.29 21层长波带通滤波器 180 4>KF`?%4 8.30 49层长波带通滤波器 181 `/8@Fj 8.31 55层短波带通滤波器 182 ,d#*i 8.32 47 红外截止器 183 vF72#BNs 8.33 宽带通滤波器 184 SMN.AJ
J 8.34 诱导透射滤波器 186
~>u.d 8.35 诱导透射滤波器2 188 bZnOX*y] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |+#Zuq 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 6nx\|F 8.35 增益平坦滤波器 193 #D`@G8~( 8.38 啁啾反射镜 1 196 >US*7m } 8.39 啁啾反射镜2 198 N^L@MR- 8.40 啁啾反射镜3 199 Y}?8 8.41 带保护层的铝膜层 200 KkJqqO"EL 8.42 增加铝反射率膜 201 ]VI^ hhf 8.43 参考文献 202 Pe,>ny^J1 9 多层膜 204 TKDG+`TyZ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 g) X3:=[' 9.2 内部透过率 204 c!6D{(sfh 9.3 内部透射率数据 205 I
]m 9.4 实例 206 8w0~2-v.?V 9.5 实例2 210 o@:"3s 9.6 圆锥和带宽计算 212 ":!$Jnj, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 F? #3 10 光学薄膜的颜色 216 NoI|Dz 10.1 导言 216 *;<fh,wOk 10.2 色彩 216 yJA~4 10.3 主波长和纯度 220 <kn2 10.4 色相和纯度 221 pjeNBSu6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 `^M]|7 10.6 色差 226 ?
wS}' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 &o:5lxR{ 10.8 颜色渲染指数 234 R/hf"E1 10.9 色差计算 235 iU)I"#\l'k 10.10 参考文献 236 ?@64gdlwq 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \""^'pP@ 11.1 短脉冲 238 D!j/a!MaKk 11.2 群速度 239 8g#$Y2P 11.3 群速度色散 241 iJs~NLCgVu 11.4 啁啾(chirped) 245 .;? Bni 11.5 光学薄膜—相变 245 O. * 0;5 11.6 群延迟和延迟色散 246 i)i>Ulj*i 11.7 色度色散 246 i5e10@Q{ 11.8 色散补偿 249 R"nB4R0Uh 11.9 空间光线偏移 256 v">?`8V 11.10 参考文献 258 CoN[Yf3\ 12 公差与误差 260 X 4;U4pU# 12.1 蒙特卡罗模型 260 AWO)]rM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 u6|C3,!z" 12.2.1 误差工具 267 k8gH#ENNK 12.2.2 灵敏度工具 271 vq$6e*A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hRkCB 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J/1kJ@5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 IwyA4Ak Ru 12.3 参考文献 276 ]*0zir/ 13 Runsheet 与Simulator 277 QkrQM&Im 13.1 原理介绍 277 4_#$k{ 13.2 截止滤光片设计 277 |x}TpM;ni 14 光学常数提取 289 DUOoTlp 14.1 介绍 289 ?t/qaUXN 14.2 电介质薄膜 289 _>gz& 14.3 n 和k 的提取工具 295 3.&BhLT 14.4 基底的参数提取 302 6)INr,d 14.5 金属的参数提取 306 pc`P;Eui 14.6 不正确的模型 306 -E-#@s 14.7 参考文献 311 H%_^Gy8f 15 反演工程 313 g~U(w 15.1 随机性和系统性 313
[gW eD 15.2 常见的系统性问题 314 fNNl1Vls 15.3 单层膜 314 +gl\l?>sr 15.4 多层膜 314 dSDZMB sd 15.5 含义 319 w{ja*F6 15.6 反演工程实例 319 K+3-XhG 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 pW]j.JM 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KzHN|8$o 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 EC?5GNGT, 16.1 光学性质的热致偏移 329 (KQLh,h7 16.2 应力工具 335 -]3 K#M)s 16.3 均匀性误差 339 E$"NOR 16.3.1 圆锥工具 339 ?9 huuJs7 16.3.2 波前问题 341 /|EdpHx0 16.4 参考文献 343 {&1L &f< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Wa;N(zw0h 17.1 引言 345 [YvS#M3T 17.2 操作数 345 6h9(u7(-N 18 如何在Function中编写脚本 351 W;u.@I& 18.1 简介 351 J*@ pM 18.2 什么是脚本? 351 e@3SF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 =!TUf/O- 18.4 基础 352 "P !
.5B 18.4.1 Classes(类别) 352 geQ!}zXWi 18.4.2 对象 352 8h]
TI_ 18.4.3 信息(Messages) 352 yfl?\X{ 18.4.4 属性 352 ((M,6Q} 18.4.5 方法 353 d1~#@6CIz 18.4.6 变量声明 353 F^l1WX6 18.5 创建对象 354 \h
~_<) 18.5.1 创建对象函数 355 =,XCjiBeC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 XIcUoKg^ 18.5.3 丢弃对象 356 HLyAzB~r 18.5.4 总结 356 (\:Rnl 18.6 脚本中的表格 357 V]zZb-m= 18.6.1 方法1 357 -2hirA<^ 18.6.2 方法2 357 QK_5gD`$a, 18.7 2D Plots in Scripts 358 k_pv6YrE 18.8 3D Plots in Scripts 359 #:6-O 18.9 注释 360 [ycX)iM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 yZlT#^$\ 18.11 一个更高级的脚本 362 @a8lF$< 18.12 <esc>键 364 l7QxngWw 18.13 包含文件 365 juEPUsE 18.14 脚本被优化调用 366
'|H+5# 18.15 脚本中的对话框 368 }aWy#Oe 18.15.1 介绍 368 Q[OwP 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [8QK @5[ 18.15.3 输入框函数 370 hjL;B'IL 18.15.4 自定义对话框 371 VMah3T! 18.15.5 对话框编辑器 371 )^:H{1' 18.15.6 控制对话框 377 5]O{tSj 18.15.7 更高级的对话框 380 ::Zo` vP 18.16 Types语句 384 ~[CFs'`(2 18.17 打开文件 385 7xnj\9$m 18.18 Bags 387 5=o ^/Vkc 18.13 进一步研究 388 (Yewd/T 19 vStack 389 oN032o?S 19.1 vStack基本原理 389 5>}$]d/o 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Nh\vWAz9 19.3 五棱镜 393 5FZw
(E 19.4 光束距离 396 HXq']+iC 19.5 误差 399 |))NjM'ZBl 19.6 二向分色棱镜 399 TpU\IQ 19.7 偏振泄漏 404 [t4v/vQT 19.8 波前误差—相位 405 PVb[E 03 19.9 其它计算参数 405 W9SU1{*9 20 报表生成器 406 :T-DxP/ 20.1 入门 406 3)G~ud 20.2 指令(Instructions) 406 FWbp;v{ 20.3 页面布局指令 406 0B.Gt&Oal 20.4 常见的参数图和三维图 407 )oIh?-WL 20.5 表格中的常见参数 408 s#?ZwD,= 20.6 迭代指令 408 ]N'3jf`W 20.7 报表模版 408 zQ,rw[C"W 20.8 开始设计一个报表模版 409 UA<Fxt 21 一个新的project 413 kmC@\xTp 21.1 创建一个新Job 414 ggDT5hb 21.2 默认设计 415 }`qAb/Ov 21.3 薄膜设计 416 D4VDWv 21.4 误差的灵敏度计算 420 m. pm, 21.5 显色指数计算 422 N{%7OG 21.6 电场分布 424 @!`__>K 后记 426 5Zq
hyv= 有兴趣加微咨询[attachment=114284] |62` {+
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